未来环境管理与新一代半导体工厂

在International Symposium on Semiconductor Manufacturing'96会议上,曾对新一代半导体工厂和未来环境管理问题展开讨论,现将其主要内容摘编如下。 新一代半导体工厂和设备 1.21世纪半导体工厂形象     

环境半导体的研究动向

1　前言　　“环境半导体”这个词听起来还不太习惯。其用法与环境激素完全不同 ,是以对地球环境比较友好的半导体材料定义的。最近 ,我们经常可以从报纸和电视等媒体上看到有关地球暖化、二口恶烷、铀燃料事故等方面的话题。作为主宰 2 1世纪的我们 ,当然要把地球环境问题当作自己的事情 ,认真对待。回顾半导体材料技术的发展历史 ,展现的似乎是功能第一主义 ,一方面在搞周期律表 ,同时又提出了各种材料的最高性能。其结果 ,就搞成了现在这种能量、资源大量消耗型半导体产业结构。例如 ,制作多晶硅膜和硅氮化物等介质薄膜或化合物半导体薄…     

四级微型半导体制冷器的环境实验

通过对我们研制的四级微型半导体制冷器所做环境实验结果,初步确定了该器件所能承受严酷环境的程度,证明了它是一种能够在许多恶劣环境下工作的半导体器件,从而为半导体制冷器在红外及其他许多领域的应用提供了实验依据。     

半导体制作中的生产系统和CIM

一、前言半导体生产系统的开发等同产品开发，是半导体产业基本战略的关键。必须引入能预测市场动向及未来技术动向，以开拓产业为基础的系统。同时，这种系统最重要的是力求以最高生产率使系统运转的高度操作技术，尽早收回昂贵的设备投资、达到高生产性能。半导体生产系统是随市场环境和技术环境变化而变更的。现在，从周围发生的环境变化看，有如下几方面。①ASIC化扩大（多品种、小批量产品定货增加）；②定货期短（交货快）的情况增加；③由于市场环境剧变而造成畅销产品变化；④高性能、高功能、高集成化使微细加工发展；＠销售价格…     

生产外包推动半导体产业复苏

半导体业正在走出严冬,但行业的恢复也会带来一系列新的问题。长远来看,生产外包将是半导体产业发展方向。     

半导体集成电路的柔性生产技术

半导体集成电路的柔性生产技术华晶中央研究所（无锡２１４０３５）罗浩平１概述随着微电子技术的迅速发展，半导体ＩＣ的器件容量每三年增加一倍，而位单价每三年减低一半。目前，１６兆位的动态随机存储器（ＤＲＡＭ）及０．５微米的工艺线已商用化。预计１９９６年６４...     

展望21世纪半导体生产设备和材料市场

1998年度,由于半导体产品单价下滑,生产厂家的设备投资热情大减,半导体生产设备和材料市场都出现大幅度的负增长。1999年度,终于从阴沉的天空中透出一丝阳光,接受订货情况开始好转。果真今后情况会持续好转吗?半导体生产设备和材料市场能够恢复往     

半导体制造中的先进生产计划方法

半导体制造业中产品种类繁多，工序复杂，对设备的利用率要求较高，因而相对于其它制造也来说，生产计划的优化也较为复杂。本文讨论了目前半导体行业中常用的启发算法和基于线性规划的优化方法。     

柔性生产环境中的自控成本问题

自控成本（ＣＯＯ）分析法，作为一种对所购设备进行潜在成本一效益平衡评价的工具，已开始为半导体产业界所接受。但是，该方法仅被优化用于传统的大规模硅片制造厂。而且标准的ＣＯＯ分析模型通常应用于单道工序（即，单台设备的替换比较）。本文旨在揭示柔性生产对采用现行ＣＯＯ模型的各种分析方法的影响。同时探讨ＣＯＯ分析方法的延伸，以更好地处理柔性生产环境中的成本效益问题。柔性生产环境可加快生产周期，提高设备的再利     

我国半导体市场产品的环境简析

2005年我国半导体分立器件市场外资、合资企业占我国分立器件市场的64．9％的份额（图1、图2）。其主要外资、合资企业有：TOSHIBA（东芝）、RENASAS（瑞萨）、Rohm（罗姆）、Matsushita（松下）、Sanyo（三洋）、NEC、FUJJITSU（富士通）、Fuii、Electric（富士电子）、Sanken（三肯）、On Semiconductor（安森美）、Fairchild Semiconductor（飞兆半导体）、International Rectifier（国际整流器）、Vishay（威旭半导体）、Philips Semiconductor（飞利浦）、Infineon （英飞凌）、ST Microeletorics（意法）、KEC、LITEON Group（宝光）（中国台湾省）。     

世界半导体生产漫笔

据WSTS报道,世界半导体市场2007年的销售值达2572亿美元,其中以亚太市场占最大份额,占48%,随后依次为日本占18.9%,美国16.6%,欧洲16%.进入21世纪以来,亚太地区,特别是金砖四国(BRICS),主要是中国和印度,牵引着世界半导体业的发展.据赛迪顾问公司资料,2007年中国IC市场规模为5623.7亿元人民币(约合803.3亿美元),即占世界市场31.2%,无可争辩地已是世界第一市场,对世界半导体业影响很大.     

半导体生产设备商看好台湾市场

尽管半导体价格在全球范围内急剧下跌,但半导体产业在台湾却前景乐观。半导体制造设备厂商及相关的国际咨询机构对台湾半导体市场看好。在1996年9月举行的台湾国际半导体设备及材料展览会(SEMICON Taiwan'96)上,与会的许多海内外半导体制造设备商及有关咨询机构曾明确指出台湾市场前景乐观。 据SEMI市场统计,1996年全世界半导体制造设备销售额增长了22％,总金额高达293亿元(参见图1)其中,29.2亿美元是在台湾成交的。与19     

半导体研究与生产中砷烷和磷烷气体的环境浓度监测及泄漏报警

本文对半导体研究与生产中常用的剧毒砷烷的磷烷气体的环境浓度测量原理进行了简单综述，并结合一些典型的测量地其功能特点 性能指标等作了介绍。     

使用在线RGA的先进半导体生产

Role of Automated RGA in AEC, APC,and FDCAutomated RGA can provide detailed informa-tion on the behavior of the process tool and process.Specifically, this data can provide insight into thechemistries of a process step, and into unexpectedor expected changes in the process chemistries. Byconverting raw bits of data into information, thiscan greatly reduce the data crunching for the AEC,APC, and FDC programs. In addition, automatedRGAs can provide real-time process control by alert…     

半导体生产用高纯气体供应系统

本文简介半导体用高纯气的种类，品质要求和供应系统，对以超大规模集成电路为代表的半导体高纯气的制取、纯化和高纯气配管技术进行了介绍，可供从事高纯气供气系统设计，施工和运营人员参考。