MEMS智能传感器技术的新进展

CMOS和MEMS结合所产生的MEMS智能传感器技术已成为智能传感器发展的主流,目前智能时代的开启已带动MEMS智能传感器技术进入快速发展阶段。综述了惯性、压力、温度和生化等典型的MEMS智能传感器,展现了MEMS智能传感器的应用需求、技术特点、传感器新材料和新结构、电子学新架构、设计拓扑、关键技术突破和测试结果。同时也对MEMS智能传感器的工艺和封装技术的最新进展进行了陈述。从设计、工艺和封装等方面分析了当前MEMS智能传感器总的发展趋势,并提取了主要技术创新亮点。     

MEMS传感器现状及应用

MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。     

MEMS遇见传感器，改变生活就此开始

通过分析MEMS和传感器技术融合的最新进展,介绍最新的MEMS传感器技术的应用及为智能设备带来的全新应用体验。本文网络版地址：http：//www.eepw.com.cn/article/170153.htm     

MEMS磁场传感器的研究进展

磁场检测在工农业生产和人们日常生活中非常普遍。随着微电子机械（MEMS）的发展，用MEMS技术研制磁场传感器正获得越来越多的研究。基于MEMS磁场传感器的原理，对各类磁场传感器做了简要介绍，评述了各种MEMS磁场传感器的加工工艺及工作原理，并对MEMS磁场传感器的发展进行了展望。     

MEMS传感器标准质量评定方法探讨

随着MEMS技术的发展,MEMS传感器的应用越来越广泛,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。针对MEMS传感器特点,研究了标准质量评定方法,在电子元器件质量评定方法基础上,提出了我国MEMS传感器的质量评定控制建议。     

加速度传感器QMA5981

加速度传感器QMA5981产品具有小尺寸、低功耗、高精度的优异特点,并内置智能体感算法,更适用于智能可穿戴领域。矽睿科技和华虹宏力共同创导的中国创造与中国制造逐渐显现其技术和资本优势,满足客户对于低成本和高性能MEMS传感器日益增长的需求。     

智能传感器技术发展综述

从智能传感器的概念和架构出发,研究了MEMS、CMOS、光谱学等主流技术智能传感器的基本发展情况。探讨了智能传感器的实现途径。列举了军用智能传感器的重点应用领域和技术。结合国内实际情况,提出关于智能传感器的发展建议。     

传感器标准体系现状分析及发展建议

针对传感器标准目前存在更新缓慢、覆盖范围不全等问题,通过跟踪国内外传感器技术与产品的最新进展,分析标准化组织及标准现状,梳理传感器技术与产品,构建传感器标准体系图,开展标准现状分析,提出重点发展基础标准、应用标准,以及加强新兴产业如生物传感器标准、复合传感器标准、智能传感器标准、MEMS传感器标准的建设。     

MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用

MEMS技术是在微电子和半导体技术及超精密机械加工技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。基于MEMS技术制造的传感器具有高集成度、高灵敏度、高分辨率、智能化、低功耗、低成本等优点,为海洋观测技术的智能化、网络化、小型化提供了技术支持和发展方向。从MEMS传感器的基本原理出发,介绍了MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用。     

士兰微电子再创MEMS传感器新品

士兰微电子早在三年前开始进行MEMS传感器技术和产品的研发,并在MEMS传感器件的设计、信号处理芯片的设计、MEMS芯片工艺制造技术、MEMS封装技术、传感器测试技术等领域投入了全方位的研发资源,并于近期取得实质性进展,推出了三轴加速度传感器SC7A30和三轴磁传感器SC7M30。     

MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究

随着全球跨入万物互联时代,传感器产业迎来爆发式增长。MEMS传感器因其体积小、灵敏度高、可靠性强的优势逐渐占据主流。当前,我国在MEMS传感器设计、制造、封装、测试等关键产业链环节均取得了长足的进步,但与国际先进水平相比,仍存在诸多差距与短板。根据当前产业发展现状,建议我国在关键技术攻关、产业协同发展以及加大政策支持等方面发力,进一步带动我国MEMS传感器产业全面提升。     

光纤传感器的研究及应用

介绍了光纤传感器与其他传感器相比的优点,还介绍了传感型光纤传感器与传光型光纤传感器的基本原理.同时,文章阐述了强度调制型光纤传感器、干涉型光纤传感器、光纤光栅和光纤声发射传感器的应用.文章最后提出了我国光纤传感技术存在的问题以及发展方向.     

MEMS惯性传感器技术的误差补偿及可靠性研究

文章基于MEMS惯性传感器中加速度计与陀螺仪的基本工作原理,采用建立误差模型的方法,对MEMS惯性待感器的系统误差和随机误差进行误差补偿方法的相关研究;根据涵盖了绝大部分针对环境失效机理的可靠性试验项目MIL-STD-883进行MEMS惯性传感器的可靠性研究,同时总结相应的可靠性试验研究方法,并对未来的发展趋势提出几点浅见。     

低功耗电阻型MEMS半导体气体传感器研究进展北大核心

电阻型MEMS半导体气体传感器在环境空气质量监测和有毒有害气体检测等领域得到了广泛应用，但是受限于功耗较高的原因，这类传感器难以广泛应用于便携式气体检测系统。文章综述了近年来低功耗电阻型MEMS半导体气体传感器的研究进展，分别从气敏材料、传感器结构和传感器模组的集成电路等方面探讨如何实现低功耗的电阻型MEMS半导体气体传感器的制备，并展望低功耗的电阻型MEMS半导体气体传感器未来的发展方向。     

A novel change-detection scheduler for a network of depth sensors

In many monitoring applications such as smart home and surveillance, deployment of multiple depth sensors increases monitoring area and offers better occlusion handling which is not sensitive to illumination condition in comparison with RGB sensors. However, multiple sensors also increase the volume of data associated with signal processing alongside the associated computational complexity and power consumption. In order to address these drawbacks, this paper proposes a novel change detection algorithm that can be used as a part of a sensor scheduler in a centralized (e.g. star) network configuration. Initially, each sensor in the network performs a unique single scan of the common environment in order to detect any incremental changes in the sensed depth signal. This initial change detection is then used as a basis for several follow-up tasks such as foreground segmentation, background detection, target detection, and tracking for monitoring tasks. Here, instead of processing a complete depth frame, we proposed to utilize a collection of 1D scans of the depth frames. A confidence function is defined that can be used to estimate the reliability of the detected changes in each sensor and to reduce any false positive events which can be triggered by the noise and outliers. Analysis of the proposed confidence function is carried out through performance analysis in the presence of sensor noise and other parameters which can affect the reliability of the sensed data of each sensor. Finally, a score function is defined based on the confidence of the detected parameters and sensor resolution in order to rank and match sensors with the associated objects to be tracked. It results in tracking target(s) by a sensor (or sensors) that offer a high tracking score. This approach offers many advantages such as decreasing the overall system power consumption by placing the sensors with a low confidence value on standby mode and reducing the overall computational overheads.     

埋入式无线MEMS 应变片系数的标定

本文研究了一种埋入式MEMS（微电子机械系统）无线应变片性能的实验标定方法，通过引入一个当量应变片，遵照标准应变片的标定规定，本文设计了实用有效的实际标定步骤，分别对标准应变片和MEMS试样进行完全相同的拉伸实验，从而得到埋入MEMS应变片的应变片系数（灵敏度）为13，同时获得在实验试样的制作条件下，测量应变与实际应变之比为2。     

In the flow with MEMS

Presents an overview of MEMS technology where we look at the different micromachining techniques and the CMOS fabrication process. Next we provide general information about flow sensors, including common applications. We will then analyze the structures used for MEMS flow sensors along with their associated CMOS circuits which can integrate the flow sensor into a smart flow-sensor system     

MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究

MEMS电容式传感器的迅速发展为后续集成化读出电路的设计提出了巨大挑战.系统地分析了制约微传感器高精度电容读出电路设计的主要因素,回顾了目前主要的几种读出电路结构,阐述了这些电路的基本原理,并对影响电路分辨率的主要设计参数进行了分析和对比,最后探讨了电容式读出电路设计的发展趋势.