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本文介绍了采用CO_2激光光声光谱检测硅烷、磷烷及硼烷的意义、测试装置及方法,为采用TEACO_2激光器提纯硅烷提供了必要的光谱数据。 硅烷作为太阳能电池的原料,它含有Ⅲ族和Ⅴ族元素的挥发物质磷烷、砷烷及硼烷等。要提高太阳能电池的效率或使大多数半导体器件的制作获得成功,就需要超高纯度的原料。采用常规的方法,需要对提纯的物质都要经过同样的程序,而激光提纯的方法其独特之处就在于激光只作用于杂质上,而留下所需要的硅烷事实上不发生变化。当前,国外大多采用紫外ArF激光器对硅烷进行提纯,尚未见到利用CO_2激光器进行提纯的报导。但是,由于CO_2激光器具有功率大、性能稳定及容易制造等特点,因此,采用CO_2激光器提纯硅烷将具有更大的意义。 相似文献
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自六十年代末,TEA CO_2激光器由加拿大的Defence Reserach Establishment发明以来,1969年通过政府将此技术提供给了工业界,1970年在握太华成立了Lumonics Rese-arch公司,致力于这种器件的工程化发展,1971年向市场投放了科研用TEA CO_2激光器,1976年推出了商标名Laser Mark的TEACO_2激光标记机,可在电子、饮料、药物、汽车、航空、半导体及消费品包装业的产品上打上日期、批号或条码等标记,经数年不断改 相似文献
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本文介绍了苏联的高功率CO_2激光器及苏联的激光加工概况。关于高功率CO_2激光器,主要描述了多管式纵流CO_2激光器及横向流动CO_2激光器,并给出了这些激光器的主要技术参数。关于激光加工情况,主要介绍了苏联的激光热处理,激光焊接。最 相似文献
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用涨落理论对TEACO_2激光器被动锁模过程进行了数值模拟计算,解释了被动锁模低锁模几率的成因,并指出存在最佳增益及最佳初始透过率.实验结果证实了模拟计算的正确性,得到了最佳充气气压比例,获得了脉宽为2ns,功率约0.5MW的TEACO_2激光超短脉冲列. 相似文献
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众所周知,TEACO_2激光器可以在高气压下产生大体积均匀辉光放电,从而获得很大的脉冲输出能量和很高的峰值功率.但是,正是由于TEACO_2激光器工作在高气压下,因此不可避免地使激光介质的增益线型被气压大大地展宽,其增益线宽可达4千兆赫/大气压.如果这样的增益介质放在一个2米长的光学谐振腔(其纵模间隔为75兆赫)中,计算表明有20多个不同频率的纵模的增益系数之差小于5%,这样就可以有很多不同频率的纵模同时振荡,它们还会产生拍频,使TEACO_2激光器的脉冲输出呈现很强的调制.这在诸如脉冲激光雷达、光泵远红外激光器的光泵源、激光同位素分离、非线性光学等很多重要的领域都是不希望的. 相似文献
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选频激光器是激光技术中很重要的一类。小功率激光器选频的色散元件,一般采用玻璃基底的刻划或复制衍射光栅。但是,在红外大功率激光器(如CO_2激光器)情况下,由于光功率密度较大,采用玻璃基底光栅选频,则会发生表面局部剧烈的变形,膜层烧融,甚至产生基底炸裂等情况。最近上海光学仪器研究所研制成功了不锈钢基底的红外刻划光栅,适合大功率激光器选频用。目前已有一批光栅在一些实验室使用,并获得了良好的效果。例如中国科学院物理所,在CO_2激光器使用这种光栅,输出功率大于20瓦,性能稳定,未发现光栅面畸变、反射率下降和表面烧伤等现象;上海光机所在TEACO_2激光器选支,应用一块每毫米刻线数100条,刻划面积60×50毫米~2金属光栅,获得8焦耳/脉冲,已工作400次未见损坏。 相似文献
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CO_2激光器是气体激光器中功率较大、效率较高的一种器件,是一种分子激光器。其振荡谱线是CO_2分子的振动一转动动能谱线,主要波长为10.6微米的红外线。一般气体激光器的效率(激光输出功率/激励功率)都比较低,多数在1%以下,而CO_2激光器的实际效率通常可达百分之几到百分之十几。目前以CO_2作为工作物质的激光器种类很多,如纵向放电激光器;横向大气压脉冲激光器,气体流动激光器;气动激光器等。我厂生产的CO_2激光 相似文献
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文中概述国内在激光加工领域常用的几种激光器;纵向快速流动CO_2激光器;横向CO_2激光器;200~400WYAG激光器等。着重介绍用激光热处理时对横向CO_2激光器的技术要求。由于激光处理目前除相变硬化外还要求激光表面熔覆、合金化、微凸体处理,甚至还要求大工件的激光焊接等,所以要求大功率低阶模输出。此外由于连续生产的要求(1)要求自动充排气系统。 相似文献
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本文介绍了我国高功率CO_2激光器发展的三个阶段;讨论了激光光束质量对激光材料加工发展的重要影响;最后对高功率CO_2激光器进一步的发展提出了几点看法。 相似文献
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频率可调CO_2波导激光器是一种高增益可调谐激光器,在激光通讯、光雷达、污染探测以及光谱学等应用方面十分引人注目,因此近几年来发展较快。 一般低气压CO_2激光器的调谐范围受到CO_2激光跃迂的多普勒宽度(约为53兆赫的限制,自1964年美国贝尔电话实验室的Marcatili和Schmeltger提出空心介质波导激光器的设想以及由Smith于1971年首先制成He—Ne波导激光器以来,人们采用减小放电管直径,增大气体压强,使激光器的谱线压力展宽,制成了高气压可调谐CO_2波导激光器。获得了千 相似文献