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本文首次报道了利用微透镜阵列来提高YBCO高Tc超导薄膜红外探测器的光响应特性,介绍了利用光刻/离子束刻蚀的方法制作单片线列石英微透阵列的工艺以及制备线列YBCO高Tc超导薄膜红外探测器的方法,并将所制的石英微透镜阵列应用于YBCO超导器件。 相似文献
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一、引言 众所周知,红外探测器的性能可以利用光学浸没得到改善,但到目前仅应用于单元探测器或小的探测器阵列中在通常的光学浸没中,探测器放置在折射率为n的半球中心,当透过半球观察时,探测器的尺寸被放大了n倍,即表观面积增加了n~2倍。 相似文献
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针对温度冲击下红外探测器芯片的高碎裂几率问题,借助ANSYS分析软件,对背向集成微透镜阵列锑化铟探测器热应力随阵列规模的演变规律、以及64×64大面阵探测器热应力及其分布进行了研究.首先针对8×8小面阵背向集成微透镜阵列锑化铟红外探测器进行热应力分析,得到芯片上最大应力值达到最小时探测器的结构参数.以此为探测器典型结构参数,使阵列规模从8×8倍增到64×64,从而在较短的时间内得到温度冲击下探测器中热应力随阵列规模的演变规律,以及64×64探测器的热应力值及其分布.结果表明:背向集成微透镜阵列锑化铟红外探测器最大应力值出现在锑化铟芯片上,并随阵列规模的增大近似呈线性增加,显示出热应力与阵列规模的相关性.在64×64红外探测器中,锑化铟芯片上表面热应力明显集中在微透镜边缘区域,铟柱阵列上表面热应力分布呈现出由外至内的环状梯度分布,而其它接触面上的热应力分布则呈现出明显的均匀性、集中性. 相似文献
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面阵红外焦平面结构由于具有体积小、重量轻、功耗低、噪声小、灵敏度和可靠性高等特点而在军事及民用领域获得了应用,国外已有文献报道填充系数为40%左右的面阵红外焦平面凝视阵列的情况,国内也已制成了填充系数为35%的面阵肖特基势垒红外焦平面阵列。红外焦平面阵列的红外响应均匀性及空间分辨率和灵敏度是衡量其性能优劣的几项重要指标。通常情况下,空间分辨率的提高可以采取缩小像素面积,增大阵列规模来实现,但像素的 相似文献
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3通道短波红外光谱可识别列阵探测器的研制 总被引:2,自引:0,他引:2
用掩模分离方法或薄膜刻蚀方法制作出多波段微型滤光片列阵,交过类微型焦平面色散元件与列阵探测器结合,构成光谱可识别列阵探测器,报道了3通道短波红外滤光片列阵的设计和制作,以及4元3通道光谱可识别探测器的研制。 相似文献
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利用渐变特性对覆盖列阵探测器光敏元区域的渐变滤光片的透射率进行了数值模拟,并对探测某一波段光谱信息的多通道渐变滤光片进行了分析和设计。 相似文献
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室温型热释电红外探测器焦平面列阵新进展 总被引:4,自引:0,他引:4
文中介绍了目前室温工作的热释电红外探测器焦平面列阵的国外进展,混合型铁电陶瓷焦平面列阵已进入批量生产阶段,这类焦平面列阵制作的热像仪已于1995年进入商品市场,而单片式铁电薄膜红外探测器焦平面列阵还处在实验室研究阶段。 相似文献
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根据超导测辐射热计的理论,以YBCO为材料,制备的高温超导薄膜型红外测辐射热计,黑体响应度Rv>104V/W,D*>1010cmHz1/2W-1,NEP≈10-14WHz-1/2。测量和分析了器件的频率响应、噪声特性和其对1~15μm波段及118.8μm,337μm,570.5μm,699μm,1009.4μm等波长的光谱响应。测量结果表明,高温超导红外测辐射热计对整个红外波谱都有响应,但其性能在远红外波段衰减很厉害,因此,对器件的表面处理应是提高其长波性能的一个关键。 相似文献
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给出了一种椭圆偏振光谱的快速测量方法,并使得实验系统的结构更为紧凑和小型化,减轻了重量,研究中采用了由面阵型CCD探测器和平面多光栅组成的光谱仪,无需光栅扫描,就能够在很短时间内对光谱进行快速准确的数字凝视式成像,光谱分辨精度优于1.0mm,显著提高了系统工作的可靠性和效率,系统采取了将CCD光谱仪后置的方式,研究并解决了从物理光学原理,器件设计和加工、系统调试和定标、软件编制以及到光谱测量和数据分析等一系列问题,实验中对典型贵金属Au的光学常数谱进行了测量,获得了满意的结果。 相似文献