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日本日立制作所在山梨县甲府制造本部约投资 10 0亿日元建设系统生产线—Kb线。净化厂房为 3层建筑 ,第一层 60 0 0m2 ,开设第二层和第三层分别为 15 0 0m2 。从 2 0 0 1年开始批量生产 ,生产能力为 30 0 0枚 月日立制作所投资100亿日元建设新系统LSI@一凡 相似文献
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三菱电机开发了世界最小、最薄的E -CSP (EnviromentaUy ConsideredChipScalePackage)晶体管封装。目前 ,批量、规格化的最小引线型封装为SC 75A (长 1 6mm×宽 1 6mm×薄 0 6mm~ 0 95mm)。但E CSP外形尺寸为 0 8mm× 0 6mm× 0 4 8mm。与相当于SC - 75A本公司原制品 (SMCP)相较 ,其组装面积约为其 1 5 ,厚度约为 2 3,达到了小型、轻量要求。实现了世界上最小、最薄。重量与本公司原制品 3mg相对 ,约为其 1 4 ,达到了大幅度减重。另外 ,确立了在晶体管组… 相似文献
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日本三菱电机公司引入10英寸型 TFT(薄膜晶体管)液晶显示器的生产线。该公司10英寸的 TFT 处于实验室开发阶段,引入理想的生产线,目标在于确立批量生产技术。1990年内最早把大型画板制造装置引入该公司的工厂内。引入装置的投资约为100亿日元。 相似文献
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据报道,日本NEC公司在英国建造64MDRAM的新工厂。新工厂建在英国苏格兰的NEC半导体UK的场地内。1995年4月开始动工,将于1996年3月峻工,并从1996年10月开始运行。生产线采用200mm0.35Pm工艺技术。200。m硅片的月生产能力为1万片,根据市场需求,约在2年内月产将达2万片。第一期工程投资80O亿日元,其中建房投资200亿日元,设备投资600亿日元,要达到月产1万片的能力需投资500亿日元,月产提高到2万片,投资追加300亿日元。生产品种以64MDRAM为主,但若市场需要也生产16MDRAM和微型计算机及ASIC。第二期工程投资将考虑引入0.… 相似文献
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日本三洋电机公司为了增加生产快闪EZPROM,在生产分公司约投资150亿日元,使目前400万个的生产能力扩大二倍。由于数字摄像机等新型设备的需要增加,生产能力的成倍增加是必要的。新增新泻三洋电子的H条生产线。1997年的半导体设备投资为630亿日元。三洋投资150亿日元生产快闪 相似文献
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《电子工业专用设备》2000,29(1):47
近年来 ,由于半导体制造技术不断向微细化、高速、高密度方向发展 ,适用于平坦化工艺的CMP技术得以飞速发展 ,CMP设备市场从 1 994年初具规模到目前迅速地增大。其推进情况如下 :1 994年 6 0 0 0亿日元 ;1 995年 1 5 0 0 0亿日元 ;1 996年 40 0 0 0亿日元 ;1 997年 6 5 0 0 0亿日元 ;1 998年 6 2 0 0 0亿日元 ;1 999年 96 0 0 0亿日元。从 1 998年世界CMP设备市场的分布情况看 ,美国为 39% ,日本为 30 % ,台湾地区为1 6 % ,欧洲为 8% ,韩国为 4% ,其它亚太地区占 3%。从 1 998年CMP设备生产商所占世界市场份额来看 ,日本的荏原… 相似文献
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韩国LGSemicon1995年LSI的投资额超过1000亿日元。该公司在产值约为2000亿日元(1兆4000亿韩元)的1994年的投资700亿日元,产值与投资额的比例超过30%。1995年产值约为2500亿日元(2兆1000记韩元),投资的比例提高到40%。该公司若要维持这样高的比例,今后就需考虑稳定的增长率。根据上述投资情况,1996年的产值与1995年相比,增加40%,为3500亿~4000亿日元(约3兆韩元)。韩国LG Semicon1995年LSI的投资超过1000亿日元@一凡 相似文献
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三菱电机、松下电器工业、松下电子工业等三家公司开发出了用于携带图像装置的超高集成、低功耗混装DRAM核。从 1998年 12月开始 ,在有效运用DRAM混装技术和高速逻辑技术的基础上 ,三家公司对第 2代系统LSI技术进行了共同开发。在开发产品中 ,实现了世界上最小尺寸的混装DRAM核 18 9mm2 (约 32Mb) ,并且也实现了采用 0 13μm高集成逻辑、 1 0V电源电压下 ,2 30MHz的低电压、高性能。另外 ,还成功地使峰值时的功耗降到了 198mW (约 32Mb)。超高集成、低功耗的DRAM@晶… 相似文献
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《电子工业专用设备》2001,30(1)
据美国市场调查数据公司 (Dataquest)对 1 999— 2 0 0 2年设备部分复合年均增长率的市场预测表明 ,2 0 0 1年片子制造设备费用由 2 0 0 0年的 30 0亿美元增长到 390亿美元 ,芯片的基本费用将增长 2 5 %~ 30 %。Dataquest分析家指出 ,2 0 0 1年将有大量的生产线破土兴建。截止去年7月 ,已有 2 4条生产线破土动工或拟定在年底动工。根据业界宣布的消息 ,如果半导体产业要满足期望的要求 ,在今年和明年间还将宣布 2 0多条生产线。在2 0 0mm圆片加工技术继续大量供应半导体产业的同时 ,30 0mm圆片加工技术正加快进… 相似文献
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日本三菱电机公司增强MSE(MitsubishiSemicomductorEurope),开始批量生产16MbDRAM。MSE1989年11月在德国阿尔斯特尔布市设立该公司欧州的半导体生产点,目前,承担组装4MbDRAM并进行测试的任务。1994年,随着微机ASIC工业的发展,在MES中也设立了微机设计技术点。ig95年设备费用的投资约为300亿日元。由于引入前道工序,开始批量生产。另外,作为产品的重点是批量生产16MbDRAM。生产线采用ZO3mm片子,日产量为15O万块(同时还有4MbDRAM,日产100万块)。1995年2月开工,预计从1997年第一季度开始进行。现在,由于欧州市… 相似文献
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日本佳能最近开发了“FPA - 5 0 0 0ESz” 2 5 6MDRAM和下一代MPU等批量生产用KrF准分子激光扫描步进光刻机。本机用于采用 30 0mm圆片的正规批量生产线。它采用边移动对准线侧和圆片侧的双方工作台、边曝光的扫描方式。依靠搭载新开发的 1/ 4缩小投影光学系统 ,在 2 6mm× 33mm口大画面下 ,实现了NA为 0 6 8。以 0 18μm条宽超高分辨率鲜明地将电路图形复印在园片。另外 ,驱动对准线、圆片等两个工作台是采用高速新型马达 ;此外 ,还采用了使投影棱镜和圆片工作台分离的VIS方式。由于工作台材料轻 ,减少了… 相似文献
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《光电子技术》1995,(4)
NEC计划从1996年下半年起规模生产彩色PDP,用于挂壁式TV和多媒体市场。该公司从1992年起研究彩色PDP,并已成立了彩色PDP事业发展总部。该公司预测彩色PDP市场规模1998年为1100亿日元,2000年为2600亿日元,2002年可增长为7600亿日元。其根据是挂壁式TV需求的扩大和全球性多媒体新市场的开辟。其发展目标是50cm~150cm的大尺寸PDP以及与LCD相对应的30cm,33cm的中、小尺寸PDP.今年在川崎投资50亿日元的月产1000块的生产线已开始建设,1996年计划投产.1997年计划再投产100亿日元建设月产1万块的生产线。到2000年计划投资为850… 相似文献