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沉积在Si(100)基片上的CNx膜是用微波等离子体化学气相沉积法(MWPCVD)制备的,本文着重探讨了CH4,N2的流量比对CNx膜的Raman谱的影响,并采用X-射线光电子能谱(XPS)方法分析了CNx膜的化学状态。 相似文献
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沉积在Si(100)基片上的CNx膜是用微波等离子体化学气相沉积法(MWPCVD)制备的。本文着重探讨了CH4、N2的流量比对CNx膜的Raman谱的影响,并采用了X-射线光电子能谱(XPS)方法分析了CNx膜的化学状态。 相似文献
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有机及有机金属化合物薄膜电开关特性 总被引:5,自引:0,他引:5
综述了在电场下由绝缘态到导电态的电开关记忆特性的几类化合物薄膜,包括聚苯乙烯及其衍生物的辉光放电聚合膜,酞菁铅和TCNQ及其衍生物的电荷转移复合物的真空蒸发膜,乙酰丙酮铜的弧光放电等离子体聚合膜,1,3-二硫杂环戊烯-乙硫醇类过渡金属配合物的电沉积膜,含大共轭II链有机化合物及偶氮化合物怀TCNQ的电荷转移复合物的Langmuir-Blodgett(LB)膜,以及用离子团束-飞行时间质谱仪制备的C 相似文献
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《化工新型材料》2002,(4)
发明名称公开号公开日申请人电子器件和介电陶瓷组合物以及其制备方法CN_1 30 2 0 70A 2 0 0 1 0 70 4TDK株式会社有机离子选择性膜CN_1 30 2 2 2 3A 2 0 0 1 0 70 4马丁·J·帕特科低K介电无机 /有机复合薄膜及其制造方法CN_1 30 2 2 54A 2 0 0 1 0 70 4硅谷集团热系统责任有限公司丙烯酸酯类预混料、丙烯酸酯类人造大理石及其制备方法CN_1 30 2 2 81A 2 0 0 1 0 70 4三菱丽阳株式会社有机金属配合物分子及使用该配合物分子的有机电致发光器件CN_1 30 2 30 2A 2 0 0 1 0 70 4LG化学株式会社聚合物、粘结剂树脂… 相似文献
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金刚石薄膜与基材之间过渡层技术的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
通过TEM观察发现在金刚石膜与单晶硅片,金刚石膜与AlN陶瓷之间存在一层过渡层,过渡层的存在为金刚石的形核及生长提供了有利的条件,受此启发,为了改善金刚民基材的结合强度,采用磁控溅射,空心离子镀,真空蒸镀等方法在Mo片上沉积TiC,TiCN(C/N=1/2)TiCN(C/N=1/10)等薄膜,研究了它们对金刚石膜与基材的结合强度的影响。 相似文献
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低电阻ITO透明导电膜的制备和应用 总被引:3,自引:0,他引:3
锡掺杂的铟锡氧化物透明导电膜(简称膜ITO)是一种面电阻率低,透光率高,导电性能好的膜层,近年来在国内外发展较快,其制备方法较多。本文就采用磁控溅射法制备ITO 膜的设备及成膜过程中的若干工艺问题进行了探讨。 相似文献
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报道对氧的促进输送膜的研制和膜的性能测定工作。以Co(3FSalen)为氧载体,用简便的方法制备了聚砜-硅橡胶-氧载体复合膜;研究了制备方法和制备条件对膜渗透和分离性能的影响。实验结果表明,促进输送膜能有效地在提高氧氮分离系数α0/N的同时,也提高膜对氧的透气速率P0,采用混合固体氧载体的制膜方法也有独特的优点。 相似文献
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低成本YSZ电解质膜管的制备和性能研究 总被引:3,自引:0,他引:3
用真空注浆法制备出膜厚为0.2mm的8mol%YSZ电解质膜管,用排水法、SEM和复阻抗等分析手段研究了YSZ电解质膜管烧结密度、表面形貌及其电导性能,确定了可使YSZ电解质膜管获得最佳烧结性能的烧结温度。研究结果表明,真空注浆法是一种制备高烧结性能YSZ电解质膜管的简单方法。用这一方法已制备出相对密度为98.1%、长度为254mm的致密YSZ电解质膜管,其烧结温度范围比传统注浆法制备YSZ电解质管降低了190~200℃。研究还表明,随烧结温度升高,样品致密度增大,导电性能也逐渐提高。经1600℃烧结2h样品的烧结密度和导电性能均达到最佳值;进一步提高烧结温度,样品的致密度和电学性能均有所下降。 相似文献
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多弧法沉积Ti(C,N)膜中的CN相 总被引:4,自引:0,他引:4
在高速钢基片和〈100〉单晶硅片上,用多弧法在C2H2,N2,Ar的气氛中电弧蒸发Ti靶来制备沉积Ti(C,N)膜。总气压在1.2Pa内,起始镀膜温度为260℃。Ti(C,N)膜的晶格取向以除了〈111〉,〈200〉,〈220〉外,还出现一些新的衍射峰,配合XPS成份分析,本文认为Ti(C,N)膜中有CN结构相存在。随着C2H2/N2流量比的增加,膜中增加了TiC、CN结构超硬相和石墨相,从而导致 相似文献
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聚氨酯分离膜的研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
从制备方法、结构与性能等几个方面阐述了聚氨酯分离膜的研究及开发应用现状,指出和讨论了聚氨酯分离膜在开发应用中存在的问题及研究与发展趋势. 相似文献
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用TDI交联剂交联的方法,进行了聚丙烯酸/聚砜交联复合膜的制备,研究了交联剂,添加剂对膜性能的影响,并通过扫描电镜观察了膜的截面结构,研究了该膜对多种有机物水溶液的分离性能。 相似文献
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新型超硬材料——“BCN”研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了当前国际上制备石墨结构“BCN”的方法和符合实验事实的类石墨结构“BCN”的层内原子排布模型及其理化性质,综述了“BCN”由类石墨结构向类金刚石转化的进展。 相似文献