双维精密定位工件台数控系统的研究

X-Y两维精密定位工件台是以光栅干涉仪为位置检测元件的精密定位系统,其数控系统是以8031单片机作为位置控制的闭环系统。本文在对系统深入分析的基础上,设计了数控系统的硬件,用Turbo C、8088汇编语言及Mcs51汇编语言编制了相应的软件,采用细分方法提高了系统的分辨率,并对如何提高系统精度做了详细的讨论。结果表明,数控系统达到了预定的精度.     

基于USB接口的单频激光干涉仪计数卡设计

介绍了一种基于USB总线的单频激光计数卡。重点阐述了该数据采集卡的总体设计与实现,讨论了四倍频细分辨向电路、锁存电路以及USB接口电路的设计原理与实现方案,给出了电路的仿真波形。通过测试及用户实际使用证明,该计数卡稳定性好,抗干扰能力强。     

激光干涉仪技术及发展

由于激光具有极好的时间相干性 ,其相干距离可以达到数公里 ,所以自激光问世以来 ,以激光为光源的激光干涉仪一直被人们所关注 ,其应用范围不断扩展 ,激光干涉仪技术也不断发展 ,出现了各种形式的激光干涉仪。　　1　单频激光干涉仪和外差激光干涉仪尽管存在各种形式的激光干涉仪 ,但从原理上讲 ,可以归结为单频激光干涉仪和外差激光干涉仪两种基本类型。通常用于长度测量的激光干涉仪采用Machel son干涉仪系统 ,图 1为单频激光干涉仪原理示意图 ,分光器BS将激光分为 2束 ,一束射向定镜R ,另一束射向动镜M ,当动镜M移动时 ,经R和M的反射…     

双频激光干涉仪高精度测量大型工件内外径系统的研制

本文提出了一种利用激光准直仪出射光线瞄准大型工作内外径测量点的新方法。详细介绍了由双频激光干涉仪和激光准直仪构成的大直径测量系统的测量原理及系统的软硬件设计，给出了１０００ｍｍ量块和Φ５００ｍｍ工件对比实验结果，测量１００ｍｍ直径时测量系统的误差〈１０μｍ。     

单频激光干涉仪正交信号的高精度处理

为了提高单频激光干涉仪正交信号相位细分辨向的可靠性与重复性,本文在正交信号Heydemann误差模型和数字信号处理技术的基础上,提出一种结合误差修正和相位细分辨向技术的正交信号高精度误差补偿算法。该算法采用基于最小二乘法的矩阵运算计算正交误差补偿参数初值,通过迭代运算进一步提高补偿精度,并对修正后的信号构建了基于相位的细分辨向算法。最后通过MATLAB软件对该算法进行了验证。实验结果表明,上述算法可实现对正交信号误差的精确补偿,使测量精度可达亚纳米甚至皮米数量级,从而有效提高测量信号的解调精度。     

超精密机床定位测量技术

分析了国内外超精密机床及其测量系统的发展，并在我国首次提出将双路双频激光测量系统用于超精密机床的在线测量，经过稳频，信频和空气参数的补偿使测量系统达到０．０１μｍ的高分辩率。该系统数据采集快，结构紧凑，通过性好，为超精密机床的研制奠定了基础。     

基于反射式激光莫尔信号的精密定位控制

介绍了反射式激光莫尔信号特性和差动式精密定位方法，用实验验证了反射式激光莫尔信号特性的实验测定结果与理论计算结果的一致性。给出了差动式精密定位控制方法的高精度定位实验结果。     

用激光干涉仪实现高精度定位

主轴头和控制系统补偿的位置误差方面,大型加工中心的定位精度要求为数百分之一毫米。采用ML10激光干涉仪就能达到要求。     

利用激光干涉仪修正仪器定位误差的方法

介绍了一种利用激光干涉仪修正测控仪器运动轴定位误差的方法,着重从误差数据采集、误差数据处理和误差修正软件的编写3个方面,阐述了误差修正方法的具体设计和实施过程。     

激光干涉仪的基本类型——激光干涉仪技术系列综述之一

分析了几种典型的激光干涉仪系统的原理和特点,介绍了基于双折射—塞曼双频激光器,输出频差在3-40MHz范围,是外差激光干涉仪最合适的使用频段,具有很好的应用前景。     

激光角度干涉仪测量精度的几个影响因素

激光角度干涉仪是高精度的角度测量仪器,但是其测量精度受到诸多因素的影响。本文讨论了激光角度干涉仪的一些误差来源并介绍了减小这些误差影响的方法。     

双频激光干涉仪在机床检定中的应用

介绍了双频激光干涉仪胡机床检定中检定数控机床位置精度，检定直线度，垂直度和平面度的方法，还介绍了影响测量精度的因素。     

基于激光干涉仪的直线度误差测量

机床导轨直线度误差的测量方法有很多种,其中最常用的是水平仪法、自准直仪法和平尺法。主要介绍的是用激光干涉仪测量直线度误差的方法、原理及误差分析,并提出为减少测量误差在测量过程中应注意的几个问题。     

简化光路的激光干涉仪及其应用

文中论述了简化光路激光干涉仪的原理,并对该仪器的测试精度和在机械工程中的应用进行了详尽分析。     

基于双频激光干涉仪的DM1007数控铣床几何误差辨识的实验研究

对DM1007数控铣床几何误差进行了描述,采用九线辨识法对其进行误差辨识,并使用英国Ren-ishaw公司生产的ML10Gold型激光干涉仪进行了误差辨识试验,证实了该方法的简单快捷且具有较高的辨识精度。     

双频激光合成波长干涉仪的精确定位方法研究

本文构筑了一种在同一干涉仪中可同时实现大范围和高精度纳米测量的双频激光合成波长干涉仪;针对该干涉仪的光路结构特点,提出一种新的粗精定位相结合的干涉信号同相位检测方法,实现了对不同频率干涉信号的同相位检测;实验测量结果表明该定位方法能够实现0.41nm的定位精度.     

HP5528A双频激光干涉仪动态误差补偿

建立了ＨＰ５５２８Ａ双频激光干涉仪的动态误差模型,根据模型可补偿动态误差,使ＨＰ５５２８Ａ双频激光干涉仪可用于测量高速运动物体的位移。     

精密工作台定位控制系统的设计与研究

研制了一种大行程精密工作台定位控制系统。提出用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法来完成对工作台的定位控制，利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检测，最后由计算机完成系统总体控制。本系统工作行程 ５０ｍｍ，定位精度±０． １μｍ。     

采用法布里-珀罗干涉仪测量激光线宽的卷积分析

本文讨论一个基本的光学问题。采用法布里——珀罗干涉仪透射函数的卷积方程详细分析了法布里——珀罗干涉仪在入射激光存在一定线宽的条件下透射函数的特性。由于仪器函数的自身线宽及其周期性的加宽作用结果,导致透射函数的半峰值线宽受到加宽,可见度下降。因而采用透射函数的半峰值线宽测量入射激光线宽的方法是不严格的,仅在一定的条件下才适用。本文给出了采用透射函数的半峰值线宽测量入射激光线宽的方法所应满足的约束条件     

光刻机模拟工作台的精密隔振系统方案设计研究

提出了高精密设备光刻机模拟工作平台隔振系统的设计方法和系统结构;根据国内外现行的减振方法,建立了整个模拟工作台的结构模型;根据减振要求,选择了适当的减振器.由于光刻机所处激励环境的复杂性和系统内部存在的非线性,采用了主动控制方法BP神经网络 PID控制的主动控制方法来控制整个减振系统.