SPC在半导体晶圆制造厂的应用(下)

由于半导体制造工艺过程的复杂性,一般很难建立其制造模型,不能对工艺过程状态作有效的监控,所以迫切需要先进的半导体过程控制技术来严格监控工艺过程状态,而SPC就是其中最重要的一种技术.本文着重论述了半导体晶圆厂的SPC与传统行业的不同之处.     

SPC在小批量生产中的应用

统计过程控制(SPC)是获得合格产品质量的有效工具,它是过程性能监视和过程故障诊断的基础,控制图是SPC的核心工具。文中通过选取正确的SPC模型、数据采集、绘制控制图和数据分析,实现了对小批量生产过程的有效监控。     

SPC技术及应用

介绍了SPC《统计过程控制》技术的技术流程、应用软件和具体实施方法。详细叙述了SPC技术的核心工具控制图技术及其在微电路生产中的应用。     

统计过程控制(SPC)的具体应用

本文简述统计过程控制之理论及在我司之具体运用。     

半导体工艺线CAM及SPC的应用

探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法。作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序——WI系统,用于工艺的指导和记录、生产的安排和监控以及数据的记录和提取。利用SPC方法对由WI提取的数据进行统计分析处理,做出控制图,对各种工艺异常进行分析判断进而做出工艺调整,以实现有效的工艺监控,逐步提高工艺加工能力和稳定性。该生产控制方法的应用为工艺线产品的研制和生产提供了有力保证。     

SPC(统计过程控制)在液晶显示器制造中的应用

在LCD制造工艺日益成熟以及生产线自动化程度逐渐提高的情况下,如何有效、及时地发现制造过程中存在地细小变异,是LCD制造技术取得进一步突破、产品质量更上一台阶地关键所在.而在制造过程中,如何获取有效地数据,以及如何对这些数据进行分析,从而获得发现变异的信息,SPC是非常重要的工具之一     

SPC统计过程控制在质量管理中的应用

本文分析研究了SPC的统计原理以及使用方法,结合本公司的产品-高精度SMC卫星天线反射面的尺寸管控,着重介绍了生产过程中尺寸(-R Chart)控制图的建立技术,阐述了SPC统计过程在质量管控中的作用.     

SPC技术在厚膜混合集成电路工艺中的应用

本文较为系统地介绍了SPC技术的基本概念，SPC控制图的选用方法，SPC技术在厚膜混合集成电路（简称HIC）工艺中的应用方法，它包括：确定主要工艺技术参数；HIC加工过程中的数据采集，控制图制作，及对应过程质量控制；过程稳态条件下CPK值的计算，实现与参数化控制相对应的质量评价方式。     

SPC技术在中小型微电子企业中的应用

本文对SPC技术作了简单描述，着重介绍了SPC技术在香港兴华半导体工业有限公司的实际应用及其成果。     

SPC的典型控制图的应用范围

研究了统计过程控制技术中的常规控制图、通用控制图、小波动控制图、多元控制图、选择控制图及其应用范围。     

SPC在多品种小批量生产线的应用研究

统计过程控制(SPC)是一种有效的质量管理工具,但由于半导体制造工艺过程的复杂性,常规的SPC模型已经不能对工艺过程状态进行有效的监控。着重论述了SPC在多品种、小批量半导体生产线上的实际应用;根据工艺特点,选取正确的SPC模型,通过采集数据、绘制控制图和数据分析,对图中异常点采用5M1E进行分析,既可及时发现工艺异常并进行纠正,又可排除非工艺原因造成的异常。该方法对提高工艺稳定性和产品质量有着非常重要的意义。     

半导体封装领域的晶圆激光划片概述

介绍了半导体行业的发展,晶圆激光划片技术的特点、激光划片系统的组成与其在实际过程中应用。     

SPC技术在荧光灯阴极电子粉涂覆工艺中的应用

如何控制灯管的电子粉含量是荧光灯制造的关键问题,利用SPC技术,在实际生产中灵活应用,可以提高灯管的品质和产品的一致性     

SPC技术在电子元器件生产中的应用

对统计过程控制（SPC）技术做了简要介绍；对我国电子元器件制造方在应用SPC过程中出现的一些问题和解决方案进行了讨论。     

邯钢程控测试系统改造

为了满足测试设备集中管理的要求,提高电讯维护管理工作的自动化水平,开发了测试联网系统。该系统投入使用后,不仅大大提高了测量的工作效率,而且极大地减轻了线路维护人员的劳动强度。     

SPC在微电路生产中腐蚀工序的应用

文章介绍了统计过程控制(SPC)的基本概念和基本原理,以及在微电路生产中腐蚀工序的应用。详细介绍潜在工序能力指数和实际工序能力指数的区别以及双侧规格下的常规计算方法,给出实际生产中工序能力指数的判断准则。研究SPC在腐蚀工序中在线设备运转状态和产品的关键工艺参数的监控内容及方式。讨论SPC实施过程中控制图的建立过程、参数数据的采集、控制图的选用、常用的判异准则以及如何进行工序能力评价。结合实例,论证腐蚀工艺控制过程中出现失控点时的分析思路和处理方法。     

基于MES的实时智能过程质量监控系统研发

介绍了一种基于MES的质量监控系统的结构组成以及较件模型设计,能够实现数据采集、统计过程分析、质量诊断并给出质量改进意见。传统的SPC应用系统产生的分析结果必须由质量专家来解释,但基于MES的无人的先进制造环境要求实现解释过程的自动化。该系统能够帮助选择和设计各种基于规则或者启发式模型的质量控翻图,并通过配置和运用规则集合来提供专家解释。同时,当生产过程出现异常现象时,质量专家系统会提供适当的改进措施。