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本文回顾了目前用于极紫外、软X射线和X射线光学仪器的几项技术的研究进展情况。这些新概念的应用包括:高能等离子体的诊断、多电荷离子束和物质(原子、分子、离子、微结构、表面、固体)相互作用的光谱测量研究和生物医学X射线显微术等。各组件的 相似文献
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测量了用6-15J钕玻璃激光横向泵浦的18.2nm小型软X射线激光器的增益,在此系统中用固体材料壁代替原磁场来限制等离子体,等离子体通过绝热膨胀和中Z离子的辐射来冷却。还设计了一种新的预期能获务交高稳定增益的双靶系统,在此系统中将采用一种新技术对准过程中的小增益。 相似文献
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在硬X射线区(10~100keV),单层反射镜的总外反射对掠入射光学件不再有用,而多层的布拉格反射在此区域则较有利。最近有一台用多层反射镜制造的硬X射线望远镜在进行试验,拟实用于24~36keV区。其聚焦像用新研制的位置敏感CdZnTe固体探测器测量。硬X射线光学系统的进一步发展正在进行,以便将能量范围扩展至100eV,并改进图像分辨率。这些发展可能在硬X射线区打开新的研究领域。 相似文献
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软X射线波段的光学薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
由于正入射X光光学发展的迫切需要及超精细拋光与超薄多层膜制备技术的成就,适用于软X射线波段的光学薄膜已获得飞速发展并趋于成熟、走向市场。这一波段的光学薄膜具有十分重要面广阔的应用前景,它已成为整个光学薄膜领域中一个令人瞩目的新分支。本文介绍了这些光学薄膜的成膜与监控工艺及对其特性的测试技术,并对我国在这方面的工作进展作一个概要的回顾与展望。 相似文献
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以聚焦型X射线反射镜的镍磷合金芯模为研究对象, 研究了单点金刚石超精密车削的切削深度、主轴转速、进给量等工艺参数对表面粗糙度的影响关系。结果表明,进给量对加工表面粗糙度影响相对最大,主轴转速、切削深度的影响呈弱相关关系。开展了NiP合金超精密车削工艺试验,得到切削深度、主轴转速、进给量的优化工艺参数,并初步建立了表面粗糙度预测模型。在此基础上,对Φ110 mm×140 mm的X射线反射镜镍磷合金芯模进行加工验证,获得了PV61.37~83.47 nm、RMS7.952~10.326 nm、Ra6.379~8.332 nm的表面粗糙度,圆度误差0.39 μm、斜率误差均方根值0.42 μm,满足X射线反射镜对芯模超精密车削需求,为后续大规格X射线反射镜超精密制造奠定了技术基础。 相似文献