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高纯气体洁净度的控制标准 总被引:1,自引:0,他引:1
微电子技术已成为当前世界上各项尖端技术和新兴产业发展的前导与基础,只有微电子技术的超前发展,才能更好地推动各生产部门的前进和提高其生产水平,也才有可能使我们的工业生产、科学技术跨入世界先进行列。众所周知,广播、通迅卫星、资源卫星、气象卫星,以及电子对抗系统、宇航系统和空间实验站等,都离不开高度可靠、 相似文献
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总结了气体标准物质的研制及使用过程中应注意的问题 ,有利于研制出精确度高的标准物质 ,并在使用过程中进行准确的量值传递。 相似文献
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氦中氙、六氟化硫气体标准物质研制 总被引:1,自引:0,他引:1
论述了氦中氙、六氟化硫气体标准物质的制备方法、稳定性参考值、不确定度计算方法,证明达到国家二级气体标准物质要求。该研制方法可行,最值准确可靠。 相似文献
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论述了氩中氢、甲烷气体标准物质的制备方法、稳定性参考值、不确定度计算,证明达到国家二级气体标准物质要求。研制方法可行,量值准确可靠。 相似文献
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介绍了重量法研制高纯氦气中微量氢气、氖气、氧气、氩气、氮气、甲烷、一氧化碳和二氧化碳8种杂质标准物质的过程,包括重量法制备技术、稀释气中相关杂质的定量及稳定性考察等。研制的8种微量气体标准物质的种类和摩尔分数参照国标GB/T 4844-2011中对高纯氦气的规定,摩尔分数范围在0.5~4.0μmol/mol之间,扩展不确定度为1%~3%(k=2)。通过参加CCQM相关国际关键比对,验证了标准物质量值的准确度。与现有的国家二级标准物质相比,研制的标准物质在种类和不确定度方面都已达到了较高水平。 相似文献
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本文主要叙述了汽车工况排放气体标准物质研制的背景、研制过程和研制方法,以及该类标准物质的应用场所和应用前景. 相似文献
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论述了氦中氪、四氟化碳气体标准物质的制备方法、稳定性参考值、不确定度计算,证明达到国家二级气体标准物质要求。研制方法可行,量值准确可靠。 相似文献
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介绍了甲烷中微量氧、氮、乙烷气体标准物质的制备过程,建立了杂质组分的分析方法,对该标准物质性能进行了分析与考察,分析和评定了标准物质的不确定度. 相似文献
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以高纯硫化氢和高纯甲烷为原料,采用称重法制备甲烷中硫化氢气体标准物质。采用气相色谱法(FPD)进行均匀性、稳定性考察。结果表明用称量法制备的浓度为10μmol/mol的甲烷中硫化氢气体标准物质均匀性良好,稳定性可靠,符合气体标准物质制备的要求。该气体标准物质相对扩展不确定度Urel=2%,k=2。 相似文献
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本文介绍了氮中乙烷气体标准物质制备的原理和过程,运用气相色谱仪对该气体标准物质进行比较法定值,同时对研制气体标准物质的压力变化均匀性以及储存时间稳定性考察,以及对引入的不确定度进行计算评估.试验结果表明研制的气体标准物质量值准确可靠,在浓度范围内具备良好的均匀性和稳定性,技术指标达到了项目预期目标. 相似文献
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半导体、集成电路是项更新换代十分迅速的产业。在六十年代中,电路的集成度每年翻一番,七十年代,平均每三年增加四倍。进入八十年代后,仍将以每二年翻一番的速度增加。伴随这种发展,要求与使用的气体品种、质量和数量也急剧增加和提高。关于国外气体的质量标准已有详细综述,本文仅限于述评近年来高纯气体方面的特点和常用工业气体的供气方式。 相似文献
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在气体标准物质研制过程中,对制备混合气体的一致性考察一直没有统一的方法.本文中提出一种简单考察一致性的方法,并通过举例进行了说明.此外,还对在一致性方面可能遇到的问题进行了简单阐述和分析,并提出了解决办法. 相似文献
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