压电石英晶体线加速度计

加速度计是惯性制导和惯性导航等应用中重要的传感器之一,其原理和结构多种多样.本文详细介绍了新近研制的悬臂梁式压电石英晶体线加速度传感器.实验表明:分辨率优于10~(-2)m/s~2,非线性度低于1%,测量上限可达1000m/s~2.     

压电石英晶体加工过程中的化学问题

压电石英晶体厂的技术人员多为电子和机械专业的人才构成，对工作中所遇到的化学问题颇感棘手，本文对石英晶体加工过程的纯水制备，研磨，腐蚀，清洗等工序中的化学问题作了扼要而实用的论述，可用作晶体加工行业技术人员工作中参考。     

三角弹性托架抗高冲击石英晶体振荡器

抗高冲击石英晶体振荡器一直是我国军事通信的弱点.该文主要介绍了面向精确打击和导弹目标跟踪中使用的抗高冲击石英晶体元件的研发过程,分析了3～50 MHz频率段抗冲击力在2 000～20 000 g系列石英晶体振荡器的研制过程.结果表明,成功地研制出了高性能的抗高冲击石英晶体振荡器,为我国该类产品的小型化、频率点扩展、生产批量化奠定了基础.     

双重掩蔽层实现石英晶体高深宽比刻蚀

由于石英晶体的刻蚀速率小,要实现石英晶体的高深宽比刻蚀,常用的光刻胶或金属掩膜不能满足工艺要求。提出使用双重掩蔽层的方法实现石英晶体的高深宽比刻蚀,即石英晶体和单晶硅键合,然后在单晶硅表面生长二氧化硅,二氧化硅作为刻蚀单晶硅的掩蔽层,单晶硅作为刻蚀石英晶体的掩蔽层。ICP刻蚀过程使用SF6作为刻蚀气体、C4H8作为钝化气体、He作为冷却气体。控制好气体的流量和配比,选择合适的射频功率,能刻蚀出深度为30μm,宽度为50μm的深槽。该工艺对开发新型石英晶体器件有积极的意义。     

石英晶体微天平快速检测精液品质研究

人工授精是提高畜产动物生产率的重要工具,猪精液冷冻保存技术已成为当前的研究焦点,冷冻保存后的猪精液品质优劣判断,是依据样本中精子的数量与活力。为在农场工作环境中快速可靠地检测猪精液品质,文中设计了一款以石英晶体微天平和通用频数转换器(UFDC-1)为核心的低成本、可重复使用的精液样本筛选系统。对于同一样本,通过使用文中系统与商用频率计分别测量,对比结果表明,文中系统同样适合对精液样本筛选检测,且低成本更低。     

高质量人造石英晶体的生产（I）

评述了高质量人造石英晶体生产的动态以及晶体中的缺陷，如籽晶罩、包裹体、位错、腐蚀隧道及杂质等。电清洗技术能有效地排除杂质和减少腐蚀隧道密度。简要介绍了人造石英晶体的应用。     

计算机辅助设计石英谐振器

通过对AT切型石英谐振器研制工艺的分析,介绍了利用计算机辅助设计AT切型石英谐振器,以及科学制订生产工艺的设计方案。从优化设计、提高工效、降低成本及提高产品性能考虑,介绍了计算机在AT切型圆片石英谐振器研制中的应用。     

多通道石英微天平振动耦合分析

应用明德林的二维压电板理论，用有限元方法求解并分析了两圆形石英晶体微天平(MQCM)的设计参数对频率耦合的影响。通过选取合适的尺寸设计参数，可有效地使两圆形石英晶体微天平(QCM)的耦合减少到最小，指出振动耦合现象的产生是由一谐振元的基模能与另一谐振元的泛音模发生强烈耦合引起的；提出了优化设计MQCM的建议。     

肝癌细胞黏附的压电石英谐振器实验研究

肿瘤细胞与细胞外基质(ECM)的粘附特性与肿瘤的侵袭转移密切相关,利用压电石英谐振器(QCR)实时监测HepG2肝癌细胞与ECM的黏附过程,得到频率变化(Δf)和耗散因子变化(ΔD)的响应曲线。结果表明,HepG2细胞在QCR表面经黏附、延展等行为,与ECM相互作用,此作用引起谐振晶体表面质量和粘弹性发生相应变化,Δf=(740±10)Hz,与此同时,ΔD≤5×10-5,可以认为未引起耗散因子变化,说明ECM具有刚性特征。     

压电石英加速度传感器稳定性研究

分析了加速度传感器的量程、分辨率及晶体相关参数与传感器输出稳定性的关系,测试了不同环境状态下石英晶体谐振器的频率稳定性和加速度传感器的稳定性。试验结果表明,环境因素对石英晶体频率稳定性和石英加速度传感器稳定性有不同程度的影响,传感器稳定性的理论计算值与实测结果一致。     

不同表面处理对石英晶体传感器频移响应的影响

液相环境下振荡的压电石英晶体传感器的谐振频移主要受液体性质和表面质量负载的影响。通过压电石英晶体传感器在液体粘度测量中，对不同表面粗糙度和亲和性的晶体谐振频移的实验。结果表明，晶体的不同表面性质对传感器的频移响应存在较大的影响。就液体粘度测量的灵敏度和准确性而言，经紫外照射处理的聚苯乙烯涂层石英晶体的传感器性能最佳。     

压电石英体声波器件的应用特点及发展趋势

压电石英晶体具有高Q值和高稳定的性能,用它作成的体声波谱振器件有十分优良的稳定频率、选择频率和传感的功能,具有损耗低、体积小、寿命长和可靠性高的特点.广泛地应用于军、民用的各种电子装置中,是现代电子工程中不可缺少的关键元器件.文章综述性地介绍了各种体声波器件的应用特点及现代电子工程对其提出越来越高的要求;对当前国内外的技术水平、发展趋势及采用新技术的途径等均分别作了叙述.