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相似文献
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1.
报道了在钼衬底上利用微波等离子体化学气相淀积技术制备金刚石镶嵌非晶碳膜,在硅衬底上用脉冲激光淀积技术(pulsedLaserDeposition)制备类金刚石薄膜,并对其场发射特性和机理进行了进一步的研究。用金刚石镶嵌非晶碳膜作阴极,在2.1V/μm的场强下便有电子发射,最大发射电流密度为4mA/cm2。实验表明,金刚石镶嵌非晶碳膜是制做场效发射冷阴极的合适材料。  相似文献   

2.
张兰  马会中  姚宁  胡欢陵  张兵临 《中国激光》2002,29(12):1110-1112
利用脉冲激光沉积 (PLD)技术在镀钛的陶瓷衬底上制备出了非晶态氮化硼薄膜 ,借助于X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜 (SEM )及Raman光谱分析了该薄膜的结构 ,并研究了薄膜场致电子发射特性 ,阈值电场为4 6V μm ,当电场为 9V μm时 ,电流密度为 5 0 μA cm2 。  相似文献   

3.
李运钧  姚宁 《光电子.激光》1997,8(5):358-361,376
利用脉冲激光沉积技术(Pulsed Laser Deposition)首次制备出非晶碳-聚酰亚胺复合薄膜,用其做为冷阴极,观察到其场致电子发射的预击穿现象,预击穿后阈值场强为7V/μm,最大发射电流密度为1.2mA/cm^2。利用透明导电薄膜阳技术可观察到电子在薄膜阴极表明的发射区域。用扫描电子显微镜(SEM)观察了预击穿后发射区域的表面形貌的变化,并对复合薄膜的预击穿现象的场电子发射机理进行了探  相似文献   

4.
场致电子发射技术分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文介绍了发射的机理致发射的几种不同类型的阴极,叙述了类金刚石薄膜作为场致发射阴极的优点,最后对场致发射的应用进行了分析。  相似文献   

5.
利用脉冲激光沉积技术制备出非晶碳-聚酰亚胺复合薄膜,并观察到其场发射阈值场强(4V/μm)比类金刚石薄膜(>12V/μm)有较大的降低,最大发射电流密度为1.2mA/cm~2.利用透明导电薄膜阳极技术可观察电子在薄膜阴极表面的发射位置.并对该复合薄膜的场电子发射机理进行了初步探讨.实验表明该复合薄膜有可能作为一种新型的场发射冷阴极材料.在平面显示器件中得到应用.  相似文献   

6.
带有Mo尖锥的薄膜场致发射冷阴极,是基于场致发射理论,在高纯Si衬底上采用半导体微细加工技术制作而成的.本文简述该阴极的工作原理、制作工艺、目前的研究动态和应用前景.  相似文献   

7.
用微波方法在钼衬底上沉积出金刚石镶嵌非晶碳薄膜,对其场致电子发射特性和机理进行了研究,使该薄膜的场致发射电子激光发荧光屏,并观察到发光。  相似文献   

8.
利用 Kr F准分子激光器及聚酰亚胺靶在硅衬底上沉积出了类石墨薄膜。借助于 X射线光电子谱及 Raman光谱手段对薄膜微结构进行了分析。并用该薄膜作阴极 ,研究了其场发射特性。实验结果显示出该薄膜具有较好的场电子发射性能 ,发射点密度高达 1× 1 0 5 / cm2 以上。有可能作为一种新型的冷阴极电子源  相似文献   

9.
姚宁  李运钧 《电光系统》1997,(1):30-31,29
从场致发射实验中发现一种较适合于场电子发射的金刚石薄膜表面微结构。胜表面为这种微结构的金刚石薄膜作阴极制做的简单平板显示器件具有起始发射场强低,发光强度大的特点,且重复性较好。  相似文献   

10.
平面薄膜场致发射的模型分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
该文系统地讨论宽带隙平面薄膜的场致电子发射(FEE)的机理。基本的理论模型是电子对表面势垒的隧穿效应,同时考虑到晶格的散射和薄膜势垒中微细贯穿通道的电子发射作用。分析结果表明,宽带隙平面薄膜结构用作场致电子发射阴极,具有发射电压的阈值低,发射电子的能量分布范围小等优点。另外这种结构制作简单、材料选择范围宽、理化稳定性好,是一种理想的场致发射电子源。  相似文献   

11.
研究了接触电阻和薄膜体电阻对场发射的影响,计算机仿真和场发射实验表明电阻的大小直接影响强电场下的场发射而对开启电场基本没有影响,随着电阻的增大场发射逐渐偏离Fowler-Nordheim特性而向线性变化过渡.在场发射模型分析的基础上,给出了平面碳基薄膜阴极的等效电路发射模型,分析表明接触电阻的大小严重影响发射的均匀性,因此优化碳膜的制备条件,保证碳膜与金属电极的良好电接触对提高发射性能、改善发射均匀性有重要的意义.  相似文献   

12.
激光烧蚀金属Al产生电子和离子发射的研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
通过测定脉冲Nd:YAG激光烧蚀金属Al过程中,在烧蚀靶和收集板上电荷时间分辨的测量,研究了激光烧蚀金属Al产生的电子和离子发射过程,以及烧蚀环境气压对电子和离子发射过程的影响。结果表明,在激光烧蚀过程中,靶上生成电子和离子,而电子较离子先从靶面出射,随着烧蚀环境气压的增高,饶蚀靶和收集板上的电荷量都迅速减少。  相似文献   

13.
多脉冲飞秒激光烧蚀金属箔的热电子发射数值分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过双温模型(TTM)结合Richardson-Dushman方程对多脉冲飞秒激光烧蚀铜箔的热电子发射以及温度场进行了数值模拟。在模拟的过程中充分考虑了随着飞秒激光脉冲个数的改变,铜箔对飞秒激光的反射率、表面吸收率和表面吸收系数的变化等因素,部分改写了飞秒激光光源项,从而实现了多脉冲飞秒激光烧蚀铜箔的热电子发射和温度场的动态数值模拟。数值模拟发现,随着脉冲个数的增加和脉冲间隔的减小,铜箔表面的反射率和表面吸收系数将明显减小,表面吸收率将明显增大,这一变化对铜箔的电子发射以及多脉冲飞秒激光照射下铜箔的温度场具有重要影响;而随着距铜箔表面深度的增加,这些影响将逐渐减小。  相似文献   

14.
Patterned porous silicon (PS) films were synthesised by using bydrogen ion implantation technique and typical electrochemical anodic etching method.The surface morphology and characteristics of the PS films were characterized by scanning electron microscopy (SEM),X-ray diffraction(XRD),and atomic force microscopy (AFM).The efficient electron field emission with low turn-on field of about 3.5V/μm was obtained at current density of 0.1μA/cm^2.The electron field emission current density from the patterned PS films reached 1mA/cm^2 under and applied field of about 12.5V/μm.The experimental results show that the patterned PS films are of certain practical significance and are valuable for flat panel displays.  相似文献   

15.
简要介绍了一般FED(场发射显示器)的工作原理,研究了非晶金刚石薄膜低场发射特点,讨论了金刚石薄膜制做场发射器的可行性;指出利用金刚石薄膜和阳极选择的方法可对Spindt FED进行改进,从而使平面FED更容易实现。  相似文献   

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