激光定位工件台

本文叙述了可变矩形电子束曝光机激光定位工件台的结构特点及所达到的各项指标。     

激光定位工件台电机伺服系统

一、问题的提出本系统为激光定位工件台的伺服系统驱动及驱动控制部份。根据激光定位工件台任务书,本系统的研制要求为:1、最大负载转矩:1.5公斤/厘米;2、最大运行速度:3毫米/秒;3、低速运行乎稳性能好;4、为了调机方便,具有手动和自动,以及用锁紧机构和不用锁紧机构两种功     

激光定位工件台激光稳频系统

一、问题的提出精密定位工件台 x、y 行程为100×100毫米,定位重复精度为0.04微米(2σ)。用激光波长作为计量基准。为满足上述精度,其频率稳定度至少应优于10~(-7),而国产激光管不加任何频率稳定措施时其频率稳定度只有10~(-5)至10~(-6)数量;而且输出光强随温度变化比较强烈。所以未加频率稳定器的激光,其波长不能作为如此精密测量之基准。因此频     

激光定位工件台系统的研制

一、引言电子束曝光是近代微电子技术中最引入注目的一门新技术,它为制作大规模,超大规模集成电路以及声表面波、光集成、磁泡等器件提供了一项全新的微细加工技术。早在六十年代美日等国就在扫描电镜的基础上开展了电子束曝光的研究,至七十年代由于     

激光定位工件台系统检测报告

由中国计量科学研究院王正强(工程师,工程测试室副主任)、陈永江(助理工程师),中国科学院电工研究所朱琪(副研究员,研究室副主任),中国科学院光电技术研究所陆德基(副研究员),龚幼蓉(工程师)等五位同志组成了检测小组,组长为王正强同志。检测小组自1982年4月16日至23日对激光定位工件台系统的鉴定项目及检测项目进行了讨论和测定。     

激光定位工件台系统电控系统

本文总结了用于可变矩形电子束曝光机激光定位工件台电控系统的研制及实验经验。探讨并解决了高速运行工件台的精确定位问题。本电控系统由微机控制,双频激光测量,运行造度快、定位精度高、效率高、稳定可靠,操作方便,灵活。     

激光定位工件台系统干涉仪设计

本干涉仪是电子束曝光机之激光定位工件台的重要组成部分,它提供了 X—Y方向100×100毫米位置测量。为实现干涉系统的0.04微米测量精度,对其结构设计严格要求。本设计解决了干涉仪温度变形,长期稳定性,光学系统间几何位置精确调整及调后位置保持不变等问题。     

激光定位工件台零件退磁处理

电子束曝光是近代微电子技术中最引人注目的一项新技术。我所按照科学院指示,开展了为电子束曝光机用的精密工件台系统的研制工作。在研制中涉及到其中一些钢件的退磁问题。电子束曝光是将电子枪发出的高速电子通过电磁透镜聚焦成细电子束,在涂有光致抗蚀剂(光刻胶)的铬(或氧化铁)版上逐点扫描曝光来制作掩模版或直接在涂有光致抗蚀剂(光刻胶)的硅片上进行光刻的。因     

激光定位工件台系统鉴定意见

鉴定会审查了光电所提供的激光定位工件台系统实物与研制报告,以及中国计量科学研究院、科学院电工所、科学院光电所等三个单位组成的检测组提供的《激光定位工件台系统检测报告》等技术资料,认为技术资料和图纸齐备,检测组的检测结果是可信的。与会代表同意检测组的检测报告。     

激光定位工件台干涉仪装校

一、概述和技术要求在电子束曝光机中,激光干涉仪测量工件台的位置精度是获得高精度掩模版图形的重要环节。因此对激光定位干涉系统不仅要 1、组合干涉分光镜与长条直角反射镜相对位置的正确,即使组合干涉分光镜的棱线垂直于长条直角反射镜镜面棱线,不垂直度小于30角秒,以保证干涉圈的质量。     

电子束曝光机用激光定位工件台交付使用

中国科学院光电技术研究所研制成功的激光定位工件台系统,已于1982年10月从四川成都运抵中国科学院北京电工所与电子束曝光机其他部分相配。经光电所、电工所同志的共同努力,仅仅用了一个月时间即安装、调试、检测完毕。检测结果略优于鉴定     

激光定位工件台系统脱机手动控制

文中主要介绍了利用单板机TP801编制的控制输片系统动作及测量工件台定位精度的软件。     

分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究

介绍了“１．５－２微米实用型分步重复投影光刻机”用的精密快速定位工台的设计，结构特点，精度分析，检测及使用情况。工件台由大行程Ｘ－Ｙ工件台，微动台和调平微转台组成。同时该工件台利用大行程Ｘ－６工件台粗动兼微动与调平微转台的组合完成了“１０：１分步重复投影光刻机”的研制。     

电子束曝光精密X—Y工件台研制

一、前言X—Y 精密工件台是电子束曝光机中的重要组成部分。为了研制能刻划微米级线条的电子束曝光机,工件台主要是要解决运动精度。有高精度的运动精度才能保证测量精度。此外在工件台移动时,不能有磁场的变化影响电子束正确偏转。电子束曝光是在真空中进行的,本工件台是专为电子束曝光使     

可变矩形电子束曝光机激光定位工件台系统

文中概述了系统结构设计的误差分析,阐明了主要设计思想和结构特点,介绍了整机概况和操作控制原理。最后列出了所达到的各项主要技术指标。即工件台行程X·Y分别为135×110毫米,激光干涉仪分辩率为0.02微米,工件台定位精度±1微米,最大速度20毫米/秒,步进速度0.11秒/2毫米,真空度达到2×10~(-5)托。     

激光定位工件台位置测量及电气控制系统

作为电子束曝光机的激光定位精密工件台的位置测量和控制电路。本电路将电子束曝光机的大脑——电子计算机与工件台连接起来。而且由于计算机容量有限,对工件台的控制工作很多都要由本电路完成。总的来说,它可完成四种功能:1、平面座标系上的位置测量,为计算机随时提供工件台的准确位置代码;2、根据拼接图形的要求。将工件台平稳地停在预定座标位置上;3、在工     

亚微米i线投影曝光机三维精密定位工件台控制系统研究

主要介绍一种采用双单片机控制的三维精密工件台快速超精定位系统的工作原理及结构组成，并对系统进行理论和实验分析。为了实现高精度的快速定位，本系统采用了独立伺服控制技术以及变结构的ＰＩＤ自适应控制算法，使定位精度达到±０．０８μｍ（３σ）     

TP86A单板机在激光定位工件台系统模拟控制和检测中的应用

本文介绍了TP86A单板机在可变矩形电子束曝光机工件台系统中的应用。其中包括接口部份的硬件以及对工件台运动的控制,调试和定位精度检测用的软件包设计。     

用于激光功率和能量测试的网孔式衰减器

本文向大家介绍一种在镍片上穿有许多密集小孔的网孔式衰减器。它具有良好的中性和均匀性、承受激光辐射功率能力强,而且使用方便。它不仅可在激光功率与能量测试中使用,还可用于扩大激光功率和能量计的量程范围,尤其是对红外激光尚无理想衰减手段的情况下,采用这种衰减器可收到良好的效果。     

激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量

激光光纤测振仪将直径小于200μm的激光光斑会聚于Si微悬臂梁和AFM探针上，分别由静电场和PZT进行激振，实现了激光微结构振动特性非接触测量，并给出了测量结果。