高亮度紫外准分子激光器

短波长稀有气体卤化物准分子激光系统的峰值功率迄今远低于固体激光系统，但由于准分子激光短波长和气体介质光学畸变较少，被认为是产生高强度（Ｉ≥１０＾２０Ｗ／ｃｍ＾２）激光的最佳侯选者。当短波长聚焦光学系统经过改进，且提高准分子激光的提取效率后，以上目标更容易达到，本文介绍一些新技术，包括空间包络调制脉冲放大、非轴向放大和相干多角路放大，且报道一些获得桌面高亮度准分子系统的考虑。     

紫外超短脉冲的准分子激光放大技术

由于具有波长短、聚焦特性好、峰值功率高等优势,紫外超短脉冲在超快科学、强场物理等领域具有重要的应用价值。准分子激光工作气体作为增益介质在放大紫外超短脉冲方面具有独特的优势,利用准分子激光放大紫外超短脉冲获得高强度的激光输出为紫外激光的应用提供了新的可能性。概括介绍了准分子激光放大的特点,进而基于准分子的放大特性分单元介绍了紫外超短准分子激光放大技术,并对深紫外超短脉冲脉宽的测量进行了简单阐述。     

准分子激光对光学薄膜的损伤

本文报道了XeCl准分子激光对光学薄膜的损伤阈值、损伤形貌和多脉冲激光的损伤。研究了激光预辐照处理对薄膜损伤的影响。     

准分子激光的材料表面改性

本文对准分子激光表面改性工程的研究进展进行了综合评述。着重评述了准分子激光重熔、合金化及其沉积。最后指出其发展趋势。     

准分子激光照射人正常主动脉的组织效应

本文应用XeCl准分子激光,在不同单脉冲能量和不同重复频率下,照射人尸正常主动脉,在不同的表面介质条件下观察它们的组织学变化。     

Noise investigation of ultraviolet laser induced grain structure in polyimide films

The ultraviolet laser treatment of polyimide films can lead to the formation of conductive area. The conductive layers show a carbon-rich grain structure. The heat treatment was carried out in air and nitrogen atmosphere. Morphology of conductive layers was investigated by scanning electron microscopy and transmission electron microscopy. On laser induced conductive layer, electrical noise investigation was carried out. Our investigation shows that laser induced layers have 1/f noise spectra. According to our results, conductive layers prepared in nitrogen atmosphere have better stability than those prepared in air.     

光刻用准分子激光器能量稳定性影响因素分析

以Cymer公司为例归纳总结了ArF准分子激光器双腔放大结构及相应的脉冲能量稳定性的发展历程,讨论了双腔能量放大机制对脉冲能量稳定性的影响,重点分析了MOPRA结构较MOPA结构在能量稳定性方面的优缺点.着重阐述了放电腔内工作气体成分、配比、电极间流速对脉冲能量稳定性的影响以及相应的改善措施,并结合影响脉冲能量稳定性的因素简述能量控制系统在稳定脉冲能量上的应用.     

准分子激光直刻横向影响区实验研究

采用248nmKrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区。将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系。在实验结果的基础上,提出了减小横向影响区的措施和方法。     

小型化准分子激光器的实验研究

准分子激光器由于具有工作波长短、脉宽窄及峰值功率高等特点,已经在工业、军事和科研等领域得到了广泛的应用,并成为紫外波段研究领域的主要激光光源。随着许多新型产业发展的需要,易于集成、方便维护、长寿命、高重复频率及低成本的紧凑小型化准分子激光器拥有了广阔的应用前景。本文首先简单介绍了小型准分子激光特点及应用,然后详细讨论了自行研制的小型准分子激光器的物理结构和设计参数,并在此基础上完成了相关激光性能的实验研究,并对所得到的实验结果进行了分析和讨论,为国内小型准分子激光器件的商品化提供了可靠的研究基础。     

倍压磁脉冲开关在准分子激光器中的应用

本文提出了将磁脉冲压缩开关结合LC反转倍压电路应用于高重复率紧凑型准分子激光器的技术。对磁脉冲压缩开关应用的原理及结合LC倍压方法在准分子激光器高压快放电激励电路中的工作过程进行了分析 ,并给出了一种实用型的准分子激光器电源放电电路     

VISX20/20B准分子激光治疗仪激光腔压力与激光强度的关系

目的:探讨Visx20/20B准分子激光治疗系统激光腔压力与发射激光强度的关系,提出保证激光强度的最佳激光腔压力。方法:保证其它条件不变,改变激光腔压力,观察激光强度随压力的变化情况。结果:激光强度随激光腔压力增大而增加,但其激光强度增加幅度随压力的增加而逐渐减小。结论:最佳激光腔压力应在0.26MPa-0.27MPa之间,这样既节约成本,又保证足够的激光强度。     

作用在工件表面上脉冲激光能量的自动调节

研究了作用在工件表面上脉冲激光能量的稳定性因素。提出了脉冲激光能量自动调节系统的原理和评价。试验结果表明:系统的稳定性为99％,系统的精度为94.2％。     

准分子激光光刻的发展状况

本文综述了准分子激光光刻的发展,着重讨论准分子激光光刻的优点及其在提高分辨率方面的进展,并讨论了今后的动向。