微纳力值计量标准的研究和溯源体系的建立

微牛、纳牛范围力值计量研究是目前国际计量领域的重要研究发展方向。总结了美国标准技术研究院、英国国家物理实验室、德国物理技术研究院、韩国标准和科学研究院等研究机构近年来研制的可溯源到SI的微纳力值标准装置、微纳力值传感器、参考悬臂梁以及微纳力值溯源方法。提出了微纳力值溯源体系的框架,为新材料、生物、微电子等各应用领域微纳力学特性计量量值溯源提供了技术保证。     

低频纳伏电压标准装置溯源方法研究

低频交流微弱电压因受噪声和干扰的影响,计量测试非常困难,其量值溯源更难.本文介绍了一种纳伏电压标准装置,对影响微弱电压测量与量值溯源的噪声与干扰进行了分析研究,采取了抑制噪声和抗干扰措施,提出了衰减末端定标和比对验证进行微弱电压量值溯源的方法,给出了实验数据,并进行了结果分析.     

氧化铝微纳结构材料的研究进展

氧化铝微纳结构材料由于具有特殊的形貌、高比表面积、高介电常数、高的热和化学稳定性等特性,以及可以作为构筑单元,采用自下而上的方法合成各种超级结构材料,从而使其在吸收剂、催化剂裁体、陶瓷材料、耐磨材料和新结构材料合成等诸多领域得到重要应用,已成为当前纳米材料科学领域的前沿和热点.结合近年来国内外的最新研究进展对氧化铝微纳结构材料的制备方法、表征和物性研究等进行了综述,并对其发展趋势和前景进行了展望.     

微纳技术在泡沫混凝土中的应用进展

微纳技术可从多方面提升泡沫混凝土的性能,使二者性能达到完美结合。从泡沫混凝土气孔结构、泡沫混凝土强度、发泡催化剂以及泡沫混凝土电磁屏蔽效应4个方面综述了近年来微纳技术在泡沫混凝土中的应用,分析并展望了泡沫混凝土的前沿技术。     

基于时域相移技术的结构光三维微纳形貌检测方法

针对微纳器件三维形貌快速检测及重构中的高精度和高速度难以兼得的技术难题,本文提出一种基于时域相移技术的结构光检测方法,通过空间光调制器对测量光进行调制,结合时域相移技术实现微纳器件三维形貌检测和重构.相比传统的结构光检测方法,本技术在样片轴向扫描的同时,利用空间光调制器进行相移测量,保证测量精度的同时提高测量的效率.通...     

大口径供水计量流量计的管理与溯源问题研究

大口径供水计量的起点和关键点是源水计量和出厂水计量。通过对电磁流量计及超声流量计的计量性能进行分析和比较,对流量计的合理选型、正确安装和使用做出了详细的说明,对影响大口径供水计量准确度的诸多因素进行了研究,着重指出了做好流量计日常科学管理工作,定期检查,按期检定、校准,是保证流量计计量准确的关键所在,并针对大口径供水流量计的量值溯源及在线校准问题进行了详细的阐述。     

微纳连接技术研究进展

近年来,集成电路不断向短小轻薄的高集成方向发展,推动着器件封装尺寸不断缩小,也使器件封装结构发生着改变.同时,作为信息革命的重要组成部分,集成电路技术往往涉及到多个领域的交叉和相互渗透,如微机电系统、精密仪表以及柔性器件等,而作为电子元器件封装中的关键技术,微纳连接技术的发展直接关系到电子工业中新型封装结构的研发与技术革新.因此,集成电路中微纳连接技术的发展也与多个技术领域密切相关.本文针对电子组装中微连接技术进行归纳和总结,并阐述纳米连接技术所取得的最新研究进展.通过总结微纳连接技术在不同互联尺度下的研究与应用现状,明确了微纳连接技术在电子工业领域中的重要作用,也为目前和未来的相关研究工作提供参考方向.     

微纳马达行为控制与驱动燃料研究

人造微米马达是一种通过特定工艺制备而成的微米尺寸器件,在特定刺激下,能够实现各种各样的机械运动。微纳马达发展至今,取得了很多重大的突破和进展,科学家们通过多种材料制备了能在不同化学燃料中运动的微纳马达。主要对微纳马达行为控制与驱动燃料进行研究。     

液压式万能材料试验机在力值计量中的调整方法

一、零位的调整零位,是指试验机在操作前回油阀关闭、进油阀开启、指针回零,它是在检测材料中避免示值误差的关键。一般造成指针回零不好的原因有:(1)油路系统堵塞或导向滚轮靠大立柱过紧,引起带针,零位变动;(2)摆杆主轴不灵敏;(3)测力活塞的尖角处碰伤;(4)齿杆与铜齿轮的装配关系过紧或过松,或铜齿轮     

光学经纬仪计量溯源检定技术研究

经纬仪是测量特定条件下的角值仪器：在水准面上测量水平角；在重力面上测量相抑角；设置一条空间直线“零”角值。根据经纬仪应用功能由三方面：“零”角值直线；微小角角值；全圆角度盘分庭溯源到角值单位定义，与长度“ｍ”建立溯源关系。保证所测角值量准确。文中研究检定装置、检测方法及结果处理。     

微纳结构超疏水材料制备技术的研究进展

综述了超疏水材料制备技术的研究进展,总结了聚合物和金属基两类主要超疏水材料的制备工艺以及国内外研究现状,指出制备具有各种特殊功能性的超疏水材料如定向疏水材料、超双疏材料等将是今后重要的研究万向.     

基于光学光刻技术的PDMS微纳敏感结构薄膜加工工艺研究

利用光学光刻技术进行多种形状规格聚二甲基硅氧烷(PDMS)微纳敏感结构的并行加工。研究了基于光学光刻技术的PDMS微纳敏感结构薄膜加工工艺,并加工出不同形状、、不同大小的PDMS微纳敏感结构。此外,对加工后的PDMS微纳敏感结构薄膜进行表征,观察了不同形状、不同大小的PDMS微纳敏感结构的形貌特征。结果表明:基于光学光刻技术的PDMS微纳敏感结构薄膜加工工艺具有加工效率高,加工过程中不需要刻蚀、激光加工等复杂工艺和昂贵设备的特点,并且实现了大批量PDMS微纳敏感结构的并行加工。同时,掩模板上的微纳图案较好地转移到PDMS薄膜上,具有较好的图案曝光成像和图形转移效果。此外,制备的PDMS微纳敏感结构形状较规则、排列整齐,并且不同形状,不同大小的PDMS微纳敏感结构都具有高度一致性较好,侧面轮廓分明,侧壁角接近90°的特征。     

计量器具溯源周期的确定方法

计量器具的准确与否是决定测量结果准确度和可靠性的重要基础。计量器具只有定期的通过检定或校准的方式进行溯源才能及时掌握计量器具的准确程度,以判定计量器具是否满足继续使用的要求。计量器具依据法制管理的要求可分为强制检定计量器具和非强制检定计量器具。强制检定的计量器具必须依据计量检定规程定期进行检定,非强制检定的计量器具溯源周期需要通过合理的评判标准来确定,同时根据计量器具的使用状态,使用年限及时调整溯源周期,实现对计量器具溯源周期的动态管理,在节约溯源成本的同时,保证计量器具的准确度和可靠性。     

微纳晶体材料体膨胀系数测定和计算方法

为解决微纳尺度晶体材料膨胀系数无法直接测量的现状,文章提出一种适用的测试思路及计算方法.该方法基于材料在不同温度下的XRD衍射图谱获得晶胞晶格常数,通过"晶格常数-温度"拟合,计算各个物相晶轴的线膨胀系数,进一步计算获得材料的体膨胀系数.采用该方法对单相高锡焊料及多相PbSn合金焊球进行测试,获取其体膨胀系数,证实方法...     

静电力非线性对双检测微陀螺谐振频率及灵敏度稳定性的影响

为探究如何避免静电力非线性的影响或利用高电压下的静电力非线性和微梁几何非线性对冲以实现高稳定性和高灵敏度微陀螺的设计。考虑边缘效应下的静电力非线性和刚度立方非线性同时存在时,结构参数对双检测微陀螺动力学性能的影响规律;研究表明,梳齿未交叠长度越小,直流偏置电压越大,则共振频率偏移量越大,静电力的软化效果也越显著;梳齿未交叠长度存在一阀值,大于此值时静电力非线性弱化为零且对幅值的影响存在饱和现象,利用此特性可保持灵敏度的稳定性。通过微梁几何非线性的设计和控制调节驱动刚度非线性导致的硬化特性来平衡静电力带来的软化特征,使幅频曲线呈现理想的线性状态,避免了因硬化、软化特性造成的频率失稳和振幅跳跃现象的发生,同时也获得了较高的灵敏度和稳定性。     

基于同步辐射光刻的多层微纳结构制造

高分子材料，如甲基丙烯酸甲酯（polymethyl methacrylate，PMMA），由于其价格相对低廉和容易加工，在集成电路和MEMS研究中受到广泛的关注．本文提出了一种基于PMMA基板的多层同步辐射光刻技术，用于制作微驱动器等有移动部件的设备．设计的多层结构包括140个单元的叉指平行电容器，每个电容器的间隔是2μm，最小尺寸是4μm，厚度是200μm，故深宽比达到50：1．该制造方法具有高深宽比、高产出率及成本低等优点．     

聚焦离子束技术及其在微纳加工技术中的应用

聚焦离子束（FIB）技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。它突破了只能对表层成像和分析的局限，可以对样品进行三维的、表面下的观察和分析，也可以对样品材料进行切割研磨和沉积特定材料，用它可以获得以前无法得到的样品信息。从而为研究人员和制造人员提供了一种对多种样品在纳米尺度进行修改、制作和分析的有效工具。     

微区分析技术电子探针的原理应用与溯源

本文介绍了在微区可直接观察被测对象并可获得分析结果的电子探针分析技术,以及原理应用、量值溯源方面的现状。     

对法定计量技术机构计量器具溯源方式的思考

检测市场的开放,使得部分法定计量技术机构对其标准器的溯源方式存在一定的误解,本文通过对相关法律规范和考核办法的学习,对法定计量技术机构计量器具的溯源方式进行确认。