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《真空科学与技术学报》2020,(9)
扫描电子显微镜在科研和实际工作中扮演着越来越重要的角色,在集成电路行业常常被用来测量器件的关键尺寸。集成电路器件在进行表征时容易形成电荷积累,电荷积累会严重干扰检测系统的图像质量而影响测量器件尺寸的精度。使用荷电控制电子枪是一种常见且有效消除电荷积累的方式,荷电控制电子枪的特性直接影响着成像质量和检测效率。目前国内缺少有效针对荷电控制电子枪性能评价的研究,本文提出了一种法拉第杯小孔扫描测量方法并搭建了一套测试平台,在该平台上对自主研制的电子枪进行了束斑大小、束流密度分布和发散角等电子束特性测量,这将为对荷电控制电子枪的优化设计和安装调试起到了指导作用。 相似文献
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压力-电荷放大传感器是把高灵敏度的压电传感部分与电荷放大部分结合成一个整体的传感器(如图1所示)。因而噪声小、温度稳定性好、输出阻抗低,有利于低频、低振级振动的测量。 DYG-1型低频压电加速度计是压电-电荷放大传感器。它主要由压电部分(包括质量块、芯柱、压电陶瓷)和电荷放大部分组成,两部分密封在同一外壳内(见图2)。它的结构简单、坚实牢靠、防潮性能好,而且能方便地进行较远距离(约100米)的垂直与水平分量的测量。 相似文献
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赵明 《中国新技术新产品》2013,(12)
现主要对传感器以及室内空气质量检测的概念和作用作了相关介绍,然后就传感器在室内空气质量检测中的应用作了详细的分析,并针对当前利用气体传感器来检测室内空气质量的前景进行了展望,以供同行参考借鉴。 相似文献
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电荷放大器是接压电传感器的一种前置放大器,其广泛地应用于振动、力、压力、声学等非电量电测技术中。电荷放大器的工作性能直接影响传感器的测试精度,为保证传感器测试量值的统一与准确可靠,电荷放大器测量结果的不确定度就显得尤为重要。本文对电荷放大器测量结果的不确定度进行评定与表示,以便使用者可以正确的利用测量结果。 相似文献
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体积小、频响宽、造价低的微机械三维加速度传感器能够适应一些领域三维加速度测试的需要,并已开展了广泛的研究.本文综合国内外研究情况,介绍了几种微机械三维加速度传感器的结构,包括单质量块-弹性梁结构、双质量块六梁结构、四质量块结构、梳齿式结构,并对每种结构传感器的工作原理进行了分析. 相似文献
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CCD结构的离散性对成象质量的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出用调制传递函数MTF评价电荷耦合器件CCD图象传感器成象质量的方法,给出计算CCD图象传感器MTF的公式,并着重分析讨论了CCD图象传感器的离散性对成象质量的影响,为精确进行CCD及其它离散器件的系统设计提供了理论依据。 相似文献
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针对声学靶装置中采用的一种激波传感器.设计了相应的传感器输出信号转换、处理电路,该信号处理电路由电荷放大电路和滤波电路组成。采用运算放大器OPA604设计了电荷放大电路,信号滤波电路采用集成有源滤波器UAF42进行设计。经实弹测试验证,利用该信号处理电路,得到了较好的弹丸激波压力波形。 相似文献
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为了满足线激光位移传感器的应用测试需求,提出一种基于高度块的线激光位移传感器像素当量的现场标定方法。其中,高度方向上的像素当量利用台阶高度进行标定,以修正厂家设定的像素当量的线性误差;宽度方向上的像素当量则利用台阶块结合传感器的横向移动位移的计算方法得到。考虑到线激光位移传感器可能存在安装倾斜误差,利用台阶块宽度在不同位置的高度差对倾斜角进行了标定,并修正了由倾斜角引入的高度测量误差。经实验证明,本文提出的方法很好地解决了线激光位移传感器在多位置测量时轮廓不连续的问题。 相似文献
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近年来,聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜传感器因可无源供电而得到广泛研究。PVDF压电薄膜传感器在使用时会进行封装,聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜是常用的封装材料。为了探究封装材料厚度和封装位置对传感器响应电荷量的影响,设计了6种封装厚度和封装位置不同的传感器,在不同频率下测定其产生的电荷量。结果表明:在0~20Hz和80~100Hz范围内,选择100μm或125μm的封装厚度可得到更多的电荷量;封装位置同样会影响电荷量的产生。同时分析了封装位置影响传感器产生电荷的机理。 相似文献
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以16 m跨径空心板单梁为研究对象,研究基于附加质量块的质量归一化方法和模态柔度法测试预测桥梁模态挠度的准确性和工程可行性。基于环境激励测试16 m单梁在施加质量块前后的模态参数,提出包含相对频率改变平方项的振型质量归一化计算方法,预测单梁在多级竖向静力荷载作用下的模态挠度,将模态挠度与实测静挠度进行比较,研究8种附加质量工况下单梁模态挠度的测试预测精度,分析附加质量占比以及质量块的数量对预测精度的影响,分析传感器数量对模态挠度预测精度的影响。结果表明,在环境激励下,5个传感器与8个传感器模态挠度预测精度基本一致,满足工程精度要求;基于附加质量块预测的模态挠度可代替实测弹性静挠度,进而评估桥梁的实际刚度状态;附加质量块质量占梁体总质量约10%时,模态挠度的预测相对误差小于8%,预测精度较高。在实际工程应用中,可适用于其他跨径桥梁;在附加质量块占比相同的情况下,多个小质量快的模态挠度预测精度优于大质量块;仅利用单梁前两阶竖向模态即可获得较精确的模态挠度。 相似文献
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设计了一种基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器,采用动态波长调谐原理.加速度传感单元由二氧化硅支撑梁与中心质量块组成,在质量块底部与衬底层硅基凹槽内,利用薄膜沉积技术制备分布式布拉格反射镜(DBR)构成F-P光学微腔.设计了新型折叠支撑梁和维持器件可靠性的限位块结构.研究给出质量块位移引起腔长变化,... 相似文献