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相似文献
 共查询到18条相似文献,搜索用时 125 毫秒
1.
在金属氧化物TiO2中,掺入另一种金属氧化物Nb2O5,使得原响应三甲胺(TMA)气体灵敏度和降低器件阻值等方面,均有突破性进展.  相似文献   

2.
气体传感器具有选择性、稳定性、高灵敏度和防潮性,在检测有毒有害气体方面有着许多的应用。本文以Ag@C核壳纳米球为模板,通过陈化及后续工艺成功制备了Ag-In2O3空心纳米球(Ag-In2O3 HNSs),并采用场发射扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射仪(XRD)、紫外-吸收光谱(UV)、拉曼光谱(Raman)、能谱面扫(EDX)、X射线光电子能谱仪(XPS)对样品的晶体结构、形貌及化学组成进行表征。研究了Ag-In2O3 HNSs基气体传感器对三乙胺(TEA)蒸汽的气敏传感性能,结果显示与氧化铟空心纳米球(In2O3 HNSs)相比,基于Ag-In2O3 HNSs的传感器具有更高的灵敏度。在最佳温度(220℃)下,Ag-In2O3 HNSs基气体传感器对200 ppm的TEA气体的响应值高达276,是In2O3 HNSs气体传感器对其响应值的20倍以上。对Ag-In2O3 HNSs基传感器的研究,可能为金属氧化物半导体气体传感器的制备提供思路。  相似文献   

3.
TiO_2/V_2O_5双层薄膜的TMA气敏特性研究   总被引:8,自引:0,他引:8  
报道了以TiCl4 和V2 O5为源 ,采用等离子增强化学气相沉积 (PECVD)和溶胶 -凝胶 (sol-gel)技术制备了TiO2 /V2 O5双层薄膜 ,将该薄膜沉积在带有金梳状电极的陶瓷管和硅片上 ,进行了X射线衍射(XRD)分析 ,并且测量其对三甲基胺 (TMA)的气敏特性。结果发现该双层薄膜对TMA具有高灵敏度、良好的选择特性和快速的响应恢复特性。  相似文献   

4.
摘 要:本文采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备出氧化铁-氧化铟复合材料,利用提拉法将复合材料固定在锡掺杂玻璃光波导表面研究出能够检测二甲苯气体的Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件。将气敏元件固定在气体检测系统中对挥发性有机气体进行检测。实验结果表明,Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件对二甲苯气体具有较好的响应,其响应浓度范围为1×10-3~1×10-5(V/V)。在常温下该敏感元件对于浓度为1×10-5(V/V)的二甲苯蒸汽有比较明显响应,其响应和恢复时间分别为5s和20s。Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件具有灵敏度高、响应速度快、制作工艺简单和可逆性好等特点。  相似文献   

5.
以半导体氧化物SnO2为基体材料加入40%的活性La2O3材料,制备出了对CO2具有敏感性的气体敏感材料,其检测体积分数范围为(0~5000) ×10-6.实验结果表明:在SnO2-La2O3敏感材料的基础上掺杂适量CeO2,Ag2O,SiO2等氧化物,不仅提高了其对CO2气体的灵敏度,而且可以提高其稳定性,从而大大改...  相似文献   

6.
采用室温固相合成法制备了不同含量的Cr2O3-Al2O3系列敏感材料,试验研究了Cr2O3催化剂含量和焙烧温度对甲烷气体催化活性的影响,并考察了甲烷传感器灵敏度大小和敏感材料的长期稳定性。结果表明:该法制备的Cr2O3-Al2O3系列敏感材料具有较好的低温催化活性,且随Cr2O3含量的增加,催化剂的低温活性增强。综合考虑敏感材料的催化活性、灵敏度和稳定性,400℃焙烧制备的Cr2O3含量为30%的Cr2O3-Al2O3敏感材料对甲烷低温催化燃烧有较好的催化性能。  相似文献   

7.
以Fe2O3和ZnO为原料,直接混合烧结制得7种不同烧结温度和原料配比的Fe2O3/ZnO复合氧化物元件,并对其进行气敏性能测试,结果发现:不同烧结温度和原料配比的Fe2O3/ZnO复合氧化物元件对不同的气体有不同的气敏性,烧结温度为800℃,Fe2O3∶ZnO摩尔比为0.5∶1的气敏元件对硫化氢具有较好的气敏综合性能.  相似文献   

8.
In_2O_3基气体传感器研究现状   总被引:8,自引:0,他引:8  
氧化铟作为一种新的气敏材料,有望在一定程度上解决现有气体传感器中存在的选择性差和工作温度高等问题。因此,按照被检测气体的种类,从In2O3的气敏材料制备及气敏性能两方面对现有性能较好的In2O3气体传感器进行了评述,并指出了In2O3基半导体气体传感器的发展方向。  相似文献   

9.
阐述了一种基于Fe2O3系列气体传感器阵列的电子鼻系统硬件实现方法及其系统的一般组成,介绍了Fe2O3系列气体传感器和传感器的加热电路。该系统以MSP430F149单片机为核心,实现对检测气体的自动数据采集、脱机和联机识别。利用该系统对甲烷、氢气和液化石油气进行检测,结果表明:该电子鼻系统能有效地对这3种气体进行定性识别,识别率接近100%。  相似文献   

10.
杨光  苟君  李伟  袁凯 《微处理机》2012,33(3):1-3,6
采用CHF3、CF4、CHF3+CF4、CHF3+O2和CF4+O2五种工艺气体体系对二氧化硅(SiO2)作反应离子刻蚀实验,在确定最优刻蚀气体基础上,研究射频功率和气体流量配比对刻蚀速率、均匀性和选择比等主要刻蚀参数的影响。通过对实验结果比较分析,确定了刻蚀速率79nm/min、非均匀性4%、对光刻胶的选择比0.81的优化工艺。  相似文献   

11.
Nb2O5对TiO2响应TMA气敏特性的改善   总被引:4,自引:0,他引:4  
在金属氧化物TiO_2中,掺入另一种金属氧化物Nb_2O_5,使得原响应三甲胺(TMA)气体灵敏度和降低器件阻值等方面,均有突破性进展.  相似文献   

12.
A thin film SnO2-based trimethylamine (TMA) gas sensor has been developed by using metallorganic chemical vapor deposition (MOCVD) technique. The effects of temperature and thorium dopant on the sensitivity of the sensor have been studied. The peak sensitivity of the sensor to TMA was found at 290°C. Thorium was an excellent sensitizer, which could increase the sensitivity to 300 ppm TMA from 5.9 to 142. The MOCVD-SnO2 element was capable of detecting TMA gas in a level of 10 ppm with short response time (16 s) with little interference of NH3.  相似文献   

13.
掺杂α—Fe_2O_3的气敏材料特性   总被引:6,自引:0,他引:6  
报道了在SnO_2、ZnSnO_3基体材料中掺有α—Fe_2O_3金属氧化物作催化剂的半导体气敏材料的性能。实验表明,在不同基体材料中掺入不同比例的α—Fe_2O_3后,元件静态电阻R_0及元件对甲烷(CH_4)、丁烷、乙醇等气体性能随掺杂比例不同而改善,而对一氧化碳(CO)、汽油等气体性能改善不大。此外,α—Fe_2O_3掺杂使元件的可靠性、长期稳定性得到明显提高。  相似文献   

14.
超细MgFe_2O_4复合氧化物的气敏性能研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
以FeSO4·7H2O和MgCl2·6H2O为材料,用新型化学共沉淀法制备了纳米尺寸的复合金属氧化物MgFe2O4粉体。将样品做成厚膜型气敏元件,测定了其对乙醇、甲醛、丙酮、甲苯、苯氨气、石油醚等还原(可燃)性气体的气敏特性。测试显示:700℃下,热处理1h,所得纳米微粉制作的元件在300℃工作温度下对丙酮有较高灵敏度和良好的选择性,并对气敏机理给予了解释。  相似文献   

15.
设计了一套用于测量汽车尾气排放的氮氧化物(NO与NO2)的车用传感器的检测装置。该装置能真实模拟汽车尾气的环境,测试了尾气温度、尾气流量、尾气中的O2浓度、NO浓度、NO2浓度等因素列代表NOx实际浓度的传感器极限电流IP2的影响,并对响应曲线进行了分析。该测试系统对所制作的NOx传感器内部结构及各电极的成分的改进具有重要的意义。  相似文献   

16.
基于神经网络的火电厂烟气含氧量软测量   总被引:25,自引:0,他引:25  
介绍了测量仪表及过程控制中的软测量技术. 讨论了软测量技术的有关问题和开发策略.提出了基于一种复合型神经网络的火电厂烟气含 氧量软测量模型,并且用它对火电厂烟气含氧量的软测量进行了建模仿真验证,现场不同负荷 下的实测数据仿真验证结果表明了软测量方法的有效性.最后给出了应用前景展望.  相似文献   

17.
催化反应转化率与催化剂组分含量的关系式   总被引:1,自引:0,他引:1  
针对三种不同物料连续流动催化反应系统:(1)MoVTeNbO/SiO2用于丙烷选择氧化制丙烯醛反应;(2)KMoNi/SiO2用于高硫合成气制甲硫醇反应;(3)MoNiP/Al2O3用于噻吩加氢脱硫反应.在各自的固定反应条件下,研究催化反应转化率与催化剂组分含量的关系,提出半经验表达式:xA=1-exp[-G(wi)],G(wi)=6∑l=0n∑j=1j≠in∑i=1 bijlwiwlj.利用此式拟合上述3个催化反应系统的实验数据,平均相对偏差分别为1.97%,1.54%和1.42%,拟合精度较高,证明所提出的关系式是合理的,而且颇有普适性,可用于优化设计催化剂组分的含量.  相似文献   

18.
Cu~(2+)掺杂对In_2O_3电导和气敏性能的影响   总被引:2,自引:0,他引:2  
为寻求新型气敏材料,用化学共沉淀法制备了Cu2+掺杂In2O3,研究了其相结构、电导和气敏性能。结果表明:900℃热处理4h所得掺2%Cu2+的In2O3微粉制作的元件对C2H5OH有较高的灵敏度和较好的选择性,有良好的应用前景。  相似文献   

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