化学量传感器

<正> (一)离子敏场效应晶体管发展的历史概况 离子敏场效应晶体管是七十年代初出现并迅速发展起来的一种微型化学敏感器件,是电化学与微电子学相结合的产物。它既具有离子选择电极的功能,又具有场效应晶体管的特性,是一种与传统的离子选择电极截然不同的新型离子敏感器件。     

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<正> 三、pH-ISFET的设计与制作 (一)pH-ISFET的设计原则 pH-ISFET的设计原则与普通MOS-FET基本相同,后者已是较为普及的知识,故此处着重讨论pH-ISFET设计中需特殊考虑的问题。 1.材料选择 材料选择包括材料的导电类型、电阻率、晶向等方面。器件电学参数的要求则是选择的依据。