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相似文献
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1.
金刚石镶嵌非晶碳膜表面微尖对场致发射的增强作用   总被引:1,自引:0,他引:1  
用微波等离子体化学气相沉积设备,在金属钼衬底上沉积出了表面存在大量微尖的金刚石镶嵌非晶碳膜,分别用扫描电子显微镜(SEM)、金相显微镜和X射线衍射谱(XRD)及Ram an谱对样品进行了分析测试,并研究了各样品的场致电子发射特性。结果发现:在笔者的实验范围内,金刚石薄膜表面微尖对场致电子发射具有增强作用,且薄膜表面微尖数目越多,场发射电流密度和发射点密度越高,场发射的发射阈值越低。最后建立了一个二次场增强模型对实验结果进行了解释  相似文献   

2.
采用微波等离子体化学气相沉积方法(MWPCVD),以C60膜作为过渡层,在石英(SiO2)衬底表面,首次在等离子体预处理中,无衬底负偏压条件下,生长出金刚石晶粒。通过扫描电镜(SEM)观察到金刚石晶粒呈菜花状,生长表面为(100)晶面。  相似文献   

3.
本文讨论了金刚石薄膜应用于光学领域所遇到的问题,研究了热丝CVD(HFCVD)方法生长应用于光学膜的金刚石薄膜过程中,衬底表面的预处理和沉积条件如碳源浓度、衬底温度等对制备腹晶粒尺度和晶粒间界以及膜表面形貌的影响.  相似文献   

4.
Co/Ti/Si三元固相反应外延生长CoSi2薄膜   总被引:4,自引:3,他引:1  
刘平  周祖尧 《半导体学报》1994,15(4):235-242,T001
研究采用Co/Ti/Si三元固相反应的方法生长外延CoSi2薄膜。通过选择适当的热处理条件,采用步退火,在Si(100)和Si(111)衬底上均成功获得外延CoSi2薄膜。实验用XRD.TEM、RBS/channeling等测试技术分析CoSi2薄膜外延特性,得到的CoSi2/Si薄膜的RBS/channeling最低产额Xmin达到10-14%,实验时CoSi2/Si(111)样品,分别沿Si衬  相似文献   

5.
研究采用Co/Ti/Si三元固相反应的方法生长外延CoSi2薄膜.通过选择适当的热处理条件,采用多步退火,在Si(100)和Si(111)衬底上均成功获得外延CoSi2薄膜.实验用XRD、TEM、RBS/channeling等测试技术分析CoSi2薄膜外延特性,得到的CoSi2薄膜的RBS/chnneling最低产额Xmin达到10-14%.实验对CoSi2/Si(111)样品,分别沿Si衬底的<110>和<114>晶向进行背散射沟道测量.结果发现,沿Si<110>晶向得到的CoSi2背散射沟道产额显著高  相似文献   

6.
用微波方法在钼衬底上沉积出金刚石镶嵌非晶碳薄膜,对其场致电子发射特性和机理进行了研究,使该薄膜的场致发射电子激光发荧光屏,并观察到发光。  相似文献   

7.
脉冲准分子激光PZT薄膜的制备   总被引:5,自引:0,他引:5  
本实验采用脉冲准分子激光沉积(PLD)法,在193nm波长,5Hz频率,4J/cm2能量密度条件下,分别在Si(100)和SiO2/Si衬底上成功地沉积Pb(Zr,Ti)O3(PZT)薄膜,并在不同的条件下对PZT薄膜进行退火处理。用XRD,RBS,ASR等方法分别测量了薄膜的结构、组份和厚度。  相似文献   

8.
用SEM和XRD研究了金刚石薄膜与双层金属之间的接触及界面性质,采用微波等离子体CVD方法在Si(111)基片上沉积了掺硼金刚石薄膜,然后蒸发上Ti/Au金属层,在氮保护气氛下700℃热处理50min后获得一个线性的电流-电压特性,经SEM和XRD实验结果表明,Ti/Au金属与金刚石薄膜之间优良的接触性能的获得,显然是由于大金刚石膜-Ti/Tu界面处产生了TiC新相以及TiC的浸润性质的缘故。  相似文献   

9.
用过滤式电弧沉积系统制备类金刚石薄膜   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍一种可用于沉积类金刚石薄膜的过滤式真空电弧沉积系统,研究了利用该系统制备的类金刚石薄膜的Raman光谱测试结果。实验表明,所设计的系统能可靠地触发并运行100A的碳电弧,电弧连续稳定燃烧的时间长于10min。在Si(001)、硬质合金和不锈钢等衬底上成功地制备出DLC薄膜,沉积速度约为60nm/min。Raman光谱表明,所制备的DLC涂层具有非晶结构,且sp3含量比脉冲激光沉积的类金刚石薄膜高。  相似文献   

10.
电子束辅助热丝CVD法在Si(100)衬底上织构生长金刚石薄膜傅广生,王晓辉,于威,韩理(河北大学物理系保定071002)织构生长的金刚石薄膜以其优异的光学、半导体和电学性能而具广泛的应用前景,它一直受到众多研究者的关注。由于金刚石与所用的衬底材料(...  相似文献   

11.
赫芝(Hertz)于1887年发现光电发射效应,为了纪念光电发射效应发现100周年,本文对实用光阴极的发展历史作一简单的回顾,并对其现况作扼要的评述。  相似文献   

12.
利用灯丝热解化学汽相沉积技术在硅基底的边缘、角域处及条形基底上生长出金刚石晶体和薄膜,研究了基底几何尺寸对金刚石沉积过程的影响,探讨了金刚石成核和生长的机理。  相似文献   

13.
碲化物薄膜的附着牢固度与其显微结构的关系   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
用X射线衍射(XRD)和透射电镜术(TEM)观察Si和Ge基板上PbTe、CdTe及PbGeTe单层薄膜及其与ZnS组合的多层薄膜的显微结构,给出了薄膜附着牢固度与薄膜显微结构的关系  相似文献   

14.
针对NRD波导中不同半径的弯波导之间的耦合特性,提出了一种新的通用的分析方法,当耦合结构分别简化为非对称结构(即直波导与弯波导耦合)和对称结构(即两个半径相同的弯波导的耦合)时,该方法也可相应简化,与已有的分析结果完全一致。本文还就不同半径的弯波导构成的耦合器的频率响应和带宽特笥,在60GHz时给出实验验证,证实了本文所提方法的通用性和有效性。  相似文献   

15.
电突触前膜在高于阈值的刺激下,产生一个大小不变的动作电位,突触后细胞可直接被突触前轴突中伴随动作电位产生的电紧张所激活,突触膜相当于整流器,电流只能从突触前神经元流向突触后神经元。电流流过神经元之间结合部时,连结电导将随时间变化。  相似文献   

16.
电磁型微电机定子绕组的研制   总被引:6,自引:0,他引:6  
本文主要阐述应用微细加工技术研究和开发电磁型微电机定子绕组的制备工艺,重点介绍制备定子绕组所涉及到的各种材料及其用途。采用掩模电镀技术解决了平面工艺难以解决的线圈绕组。本研究结果为双层十七圈三对六组绕组系统。最小线宽为3μm,微电机直径为2m,最大工作电流120mA,电阻值在24-25Ω之间。输出力矩为1.5μNM,转子转速每分钟可达500转。  相似文献   

17.
对精细水煤浆的导热系数及测量方法进行了研究,给出了用热线法测量精细水煤浆导热系数的公式,并对精细水煤浆的导热系数进行了有效测量,测试结果的累计总误差小于±3%。  相似文献   

18.
通过对α-Fe_2O_3球状和园柱状超细微粒的红外透射光谱测量,发现形状不同导致表面声子吸收的明显差异,并对实验结果进行了讨论和分析。  相似文献   

19.
The mechanism and properties of infrared absorption of α-helix protein molecules are studied by a theory of bio-energy transport established on the basis of molecular structure. From the vibrational energy-spectra of molecules obtained from this theory we know that the infrared lights with wavelengths of 2 µm ?7 µm can be absorbed by α-helix protein molecules. This is basically consistent with experimental data of infrared absorption of collagen and hemoglobin and bivine serum albumen (BSA) proteins with α-helix structure. From these results we account further for the mechanism and properties of biological effect of infrared lights absorbed by the living systems, i.e., the energy of infrared lights is directly absorbed by the amide-Is in amino acid residues in the protein molecules, which results in vibration of amide-1 and change of conformation of proteins and transport of bio-energy from one place to other along the protein molecular chains in human beings and animals. This is a kind of non-thermally biological effect.  相似文献   

20.
本文介绍了相干反斯托克斯喇曼散射(CASRS)光谱测量推进剂火焰温度和浓度的原理,给出了实验原理图,表明了CASRS技术在推进剂火焰温度和浓度测量中具有明显的优越性和实际意义。  相似文献   

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