QGG405型光电圆刻线机的检验

近年来,由于国防工业、精密机械以及仪器议表制造业的发展,对精密圆刻线机的刻划精度要求很高,用途要求很广:要既能刻码盘、光栅盘,又能刻度盘;既能光刻,又能刀刻。按照设计要求,QGG405型光电圆刻线机刻出的盘子(包括光刻光栅盘和刀刻度盘),其直径全中误差应小于±0.2秒。因此,QGG405型光电圆刻线机的总精度检验工作,就相当于0.2秒光栅盘和光学度盘直径误差的检验工作。现简单叙述如下。一、检验方法对刻线机刻出的盘子的精度检验,我们用定角法观测,按海佛林克法的公式进行计算。这种方法是以直径全中误差为指标来评定度盘质量的。这和     

常角法检测圆分度刻划误差谐量失真的研究

经典的常角法测量圆分度件分度误差的分析中没有提及谐量失真的问题。自从高效率的光电检验仪问世以后 ,发现光电定角比相法存在误差的谐量失真 ,经分析是常角法自身引起的。显然 ,误差谐量失真会影响常角法测量圆分度件刻划误差的测量准确性。合理摆置常角 ,用直径全中误差表征刻划误差 ,采用长、中周期误差分项测量等措施可减小谐量失真的影响。     

精度为0.2秒的光电圆刻线机

在毛主席无产阶级革命路线指引下,中国人民解放军沈字619部队、总字820部队、6569工程和昆明机床厂三单位的革命职工,认真贯彻执行毛主席独立自主、自力更生的方针,充分发挥工人、干部、技术人员与科研、生产、使用单位三结合的大协作精神,于1974年底试制成 QGG405光电圆刻线机。QGG405光电圆刻线机采用了高精度精密轴系、光栅定位和集成电路控制等新技术。它能刻制码盘、光栅盘和光学度盘;既可光刻,也可刀刻;既能连续刻,也能间歇刻;既能刻玻璃件,也能刻金属件。刻划效率较高,用连续光刻法刻制一块三万多条线的光栅盘只需     

用超微粒乳胶光刻高密度圆光栅

对超微粒乳胶的基本性质、涂布工艺、光刻实验等进行了讨论。用超微粒乳胶光刻出直径为５０ｍｍ、刻线数３２７６８线对的小型高密度圆光栅。     

GFP自动调焦光栅动态光刻头系统

本文论述首次在光栅刻划机中,应用自动调焦传感技术的光栅动态光刻头系统(获得国家发明专利)。它具有调焦精度高,范围大,适用于研制生产高精度的光栅母尺以及高精度大尺寸的光栅尺。从而为刻划高分辨率、大量程的优质光栅尺找出了新途径。文章对动态光刻头系统设计参数的选择,主要技术途径及研制结果作了介绍。     

等径共轭调焦凸轮机构的精度分析及优化设计

为保证航空遥感器的成像质量,对遥感器偏移的焦平面进行校正,设计了等径共轭凸轮调焦机构.研究了影响凸轮机构精度的因素,分析了滚子径向跳动误差、凸轮加工误差、基圆半径对机构位移正确度的影响,并提出了一种基于最小二乘法,保证凸轮共轭等径、消除机构空回误差及防止机构卡死的优化方法.优化设计了某等径共轭调焦凸轮机构并对其进行了精度分析.结果表明,等径共轭凸轮机构的最大位移误差为主±4.7μm,最大空回误差为4.8μm,机构运行稳定可靠.     

用直径全中误差表征圆分度件的刻划误差

直径误差是衡量线纹圆分度元件分度误差的指标。在评定此项指标的方法上，有采用最或然影响原则，或最大影响原则。本文用实验数据分三种情况说明采用最或然影响原则，即直径全中误差较为合理。     

含有中周期误差的圆分度件刻划误差的评定方法

本文阐述了圆分度件中周期误差产生的主要原因，在其检测方法的基础上介绍了含有中周期误差的圆分度件刻划误差的两种评定方法。     

超微粒乳胶的感光特性及其应用

本文对用于计量圆光栅的超微粒乳胶感光特性进行了讨论。其结果表明:要获得理想的高反差光栅盘或其它光学元件,必须合理地选择光刻时的曝光量、曝光时间、显影液及显影时间。本文对提高计量光栅的刻划精度及表面质量,有一定的实际意义。     

中阶梯光栅刻划误差要求分析

中阶梯光栅作为高色散和高分辨率光学器件,已经广泛的应用于大型光谱仪器之中。在中阶梯光栅的刻划过程中,存在刻划误差,这将严重影响光栅衍射性能,最终使得衍射效果产生缺陷。针对此情况,定量分析了中阶梯光栅的刻划误差对衍射光谱、衍射级次、波前误差、鬼线强度、杂散光强度的影响以及提出了一种从衍射效率角度分析刻划误差的方法。在满足一定条件下,求得上述因素对应的刻划误差分别为:1 265.8 nm、352 nm、37 nm、112 nm、3.4 nm。这对光栅刻划时限定刻划机的刻划精度提供了直接和重要的参考。     

基于极坐标测量的圆度误差评定算法

提出一种利用极坐标测量数据求解圆度误差的网格搜索算法,其原理是在最小二乘圆心周围按一定规则布置一系列的极坐标网格点,依次以各网格点为理想圆心计算所有测点的半径值,通过比较这些半径值,实现最小区域法、最小外接圆法和最大内接圆法的圆度误差精确评定。详细叙述了算法求解圆度误差的过程和步骤,给出了数学计算公式及程序流程图。试验结果表明,该算法可有效、正确地评定圆度误差。     

对比度对直流系统测试圆光栅直径误差的影响

对圆光栅直径误差的光电检测,目前有的单位采用直流放大测试系统;有的则采用交流放大测试系统。采用直流放大系统测试,其检测结果可以反映出被测盘的综合误差(包含分度误差、均匀性误差等)。这项综合误差,对多数使用部门来说,是十分乐意接受和希望能得到的指标。采用交流放大系统测试时,均匀性误差反映到直径误差中的程度,显然没有直流放大系统测试时反映到直径误差中的大。交流系统影响的程度随其耦合网络时间常数τ的大小不同而不同;而直流系统测试时,均匀性误差基本上是一比一地反映到直径误差当中去。我们知道,均匀性误差的引起,同被测圆光栅线条宽窄变化、乳剂层厚薄不一致,以及线条区域黑白点等疵病有关。它们可归结为在整个刻划区域上,造成通光量的不一致而引起光电信号有变化。在电子线路中反映出来的是直流电平有起伏,从而引起相应的角度误差。我们通过反复实验证明,对同一块圆光     

圆分度误差曲线的直观功效

中以实例阐明,圆分度光电检验仪配置了计算机数据处理后,因圆分度误差曲线的直观功能对检测、刻划和复制有指导、启迪作用,应予保留。     

对径读数系统精度特性的研究

一、前言计量圆光栅是一种角度基准元件,多数都是在对径读取莫尔信号的情况下使用。对径读数的优点很多,它的良好的消差效果前人早有探讨。以Graham为典型代表,普遍的看法是:对径读数可以完全消除圆光栅分度误差中的奇次误差谐量的影响。因此,也消除了偏心误差。事实上,这一结论是在忽略了圆光栅不均匀性的影响后得到的,同实际情况并不相符。二、精度特性的分析本文将在不存在其它误差的理想情况下着重讨论偏心等奇次误差谐量对精度的影响。圆光栅不存在误差时,读数头输出的标准莫尔信号的一般表达式为:     

最大内接圆法评定圆度误差值的快速、精确算法

介绍了利用最大内接圆判别准则求解圆度误差的基本思想,论述了用最大内接圆法评定圆度误差值的快速、精确算法。利用本文所述的计算方法,能够设计出圆度误差评定软件,实现三坐标测量数据的圆度误差评定。     

从“圆周率”的应用看“记里鼓车”“里程表”计量原理的传承关系

在我国古代,劳动人民在制造圆形机械部件的过程中对圆的直径半径、周长、圆心角、弧长进行研究和测量,通过无数次测量和计算发现圆的周长和直径之间存在着22/7的约数关系—用测量圆的直径长度乘22/7就可以得到圆的周长的近似值,并把22/7称为"疏率",概括出"圆的直径"乘"疏率"等于圆的周长之间的数学规律。     

圆度误差评定的曲率法研究

提出了基于曲率的圆度误差评定方法.从曲率的定义出发,推导出了用最大内接圆或最小外接圆评定圆度误差时筛选点的条件:用最大内接圆评定时,筛选掉曲率半径最小的点;用最小外接圆评定时,筛选掉曲率半径最大的点.根据这一条件,可以得到满足圆度误差评定原则的3个特征点,从而确定圆度误差.筛选点时,用最小二乘圆把测量点分成内点集合和外点集合,最大内接圆从内点集合中筛选,最小外接圆从外点集合中筛选,这样就可大大减少了计算量.经过实例验证,表明该方法的正确性和可行性.     

圆光栅直径误差数字化自动检测

本文在数字化莫尔条纹轮廓采集和微处理机数字处理基础上提出了一种新的圆光栅直径误差检测方法,从而实现圆光栅的自动化快速检测,以软件功能代替了一些原来由人工、机构、硬件等部分所完成的工作。在数据平差处理意义下实现了信号质量的改善和高精度信号二次细分及鉴相,信号鉴相基准选在信号平均幅值处,由于信号的数字化,鉴相基准得以在幅值平差平均下跟踪。圆光栅的直径位置定位由CTC定时计数来完成,圆光栅偏心用对径鉴相值相叠加来克服。另外由于软件的灵活性,此方法通用性较强。这种数字化方法的采用还有利于圆光栅多个指标的同时检测。     

基于柔性铰链的新型快速伺服刀架设计

针对目前用于非圆精密加工的快速伺服刀架只能提供单向驱动力的问题,设计了一种基于柔性铰链的新型快速伺服刀架。建立了刀具放大结构的力学模型,利用理论力学的知识推导出刀具的放大率、刚度和固有频率解析式,并对实验刀具进行有限元分析。为了验证理论计算和有限元分析结果的准确性,对刀具进行实验测试。测试结果显示,理论计算结果与实验结果的最大误差为14.87%,平均误差为12.635%,有限元分析结果与实验结果的最大误差为6.54%,平均误差为5.925%,表明理论计算和有限元分析的准确性。最后提出了一种快速伺服刀架参数的初选流程,为快速伺服刀架的研究提供一定的理论基础。     

圆分度误差的检验及评定问题探讨

在高精度圆分度检验中,为了消除待检物安装偏心等原因对检验结果的影响,常采用同一直径两端的刻线误差的算术平均值,即所谓直径误差来表达分度精度。按理,半周内的直径误差值就表达了整周内各待检点的圆分度误差。但实践证明,对同一直径上两周半分别检验所求得的直径误差并不相同,其差值往往超