磁约束放电激励的XeCl准分子激光器

本文对激光激励的一种新技术—磁约束放电激励技术在XeCl准分子激光器中的应用进行了实验研究。并分析比较了以Ar或He为缓冲气体时磁约束放电激励对XeCl准分子激光输出的影响。     

100W XeCl准分子激光器的放电特性

通过对一台放电泵浦的100WXeCl准分子激光器进行实验,给出了放电波形和放电能量在激光气体中的耦合情况。     

长脉冲XeCl激光的特性研究

利用自动预脉冲方法获得了长脉冲ＸｅＣｌ激光。研究了长脉冲ＸｅＣｌ激光的能量、脉宽和电压、气压、气体组份、输出耦合镜反射率等的关系，获得了能量为１５０ｍＪ左右、脉宽为１００～１５０ｎｓ的长脉冲ＸｅＣｌ激光输出。     

放电激励的100W XeCl准分子激光器

介绍一台放电泵浦的ＸｅＣｌ准分子激光器。其最大单脉冲能量５５０ｍＪ，在２８０Ｈｚ工作时输出功率达１０６Ｗ     

短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计

以薄膜沉积、外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,研究了XeCl动力学模型及辉光实现。采用辉光脉冲放电方法,实现了激光输出,根据动力学方程、XeCl激光四能级模型,计算了XeCl反应速率及密度。结果表明,辉光放电稳定,激光脉宽短,功率高,辉光放电体积大,激光脉宽18ns,单脉冲能量450mJ,矩形光斑2cm×1cm,束散角3mrad。动力学分析和系统模型成立,激光对靶材溅射获得了等离子羽辉。     

放电激励的100W XeCl准分子激光器

介绍一台放电泵浦的ＸｅＣｌ准分子激光器。其最大单脉冲能量５５０ｍＪ，在２８０Ｈｚ工作时输出功率达１０６Ｗ。     

基于类金刚石沉积的短脉宽XeCl激光设计及脉宽分析

在气体配比HCl:Xe:He=0.12％:1％:98.88％实现了大功率短脉冲XeCl准分子激光器,以纳米异质结构、微观量子阱、表面微小尺度薄膜沉积,镀制金刚石薄膜、半导体薄膜、巨磁薄膜,及外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,设计了高能量、短脉宽脉冲放电激励的XeCl准分子激光器新型结构,完成了脉冲波形测试。试验结果表明:激光脉宽最短13ns,单脉冲能量450mJ,矩形光斑大小2cm×1cm,束散角3mrad,最高重复频率5 Hz。验证了激光器结构、动力学速率方程、总结出了饱和增益、脉宽规律。产生的短脉宽激光热融蚀效应小,类金钢石材料对基底形成了良好的等离子溅射羽辉。     

20瓦横向流动X光预电离XeCl准分子激光器

自从1975年稀有气体卤化物准分子激光器出现以来，这类激光器已被誉为新一代紫外光源。近几年来，在高能激光武器、激光核聚变、激光同位素分离、激光化学、激光半导体材料表面处理、微电子加工和激光医学等方面都获得了很大的进展。在这些应用中，所需要的激光平均功率也日益提高，     

XeCl准分子激光泵浦的二级放大染料激光特性

本文报道了用XeCl准分子激光泵浦Rh6G染料激光振荡放大系统。分别研究了一级、二级的染料激光放大系统，测量了一些参量特性，获得了线宽为0．01A，调谐范围为470A的激光输出。二级放大的转换效率约为9％。     

脉冲辐射能量为5J的放电XeCl激光器的研究

脉冲辐射能量为５Ｊ的放电ＸｅＣｌ激光器的研究在研制用于放电准分子激光器的泵浦振荡器时，经常使用结构简单、以集中储存电容为基础的体放电双电路电源系统［１］。本工作中应用双电路电源系统，并用火花放电器和强脉冲气体放电闸流管作变换器，研制了激活介质体积为４...     

高同步双束XeCl准分子激光器的脉冲加宽

我们利用一台新颖的双通道准分子激光器,在两组主放电电容上分别连接两组LC脉冲形成线.两组电容器用一个公共火花隙控制对相应的通道放电.获得了脉冲宽度达60ns,高同步(抖动时间≤±4ns的XeCl准分子激光输出.每束激光的能量达120mJ.     

高气压横流准分子激光器的流场效应

本文采用平面剪切干涉仪测量了高气压横向流动准分子激光气体的流速。分析了放电能量使气体加热对激光输出的影响,均匀的横流技术使激光器在每秒16个脉冲频率下获得18W平均功率输出。     

Blumlein放电长脉冲XeCl激光器的窄线宽输出

本文在一台长脉冲Blumlein放电XeCl准分子激光器上采用光栅、棱镜和标准具等腔内选择元件,研究了XeCl激光器的调谐特性、谱线宽度和光束发散特性。得到了单脉冲能量2mJ、窄线宽(～10~(-2))和衍射极限发散角(0.15mrad)的激光输出。     

紫外预电离放电激励XeCl激光器的工作特性

进行了XeCl激光器工作参数优化实验,通过建立和分析XeCl激光器混合气体的动力学方程及模型,模拟计算了不同工作参数条件下,激光输出的瞬态过程,研究讨论了混合气体的配比和压强对准分子激光器的工作特性的影响,模拟分析了激光器最佳的运行参数.根据模拟结果对XeCl激光器的工作参数进行了优化调整实验,气体浓度配比设置为Ne/Xe/HCl=875/15/1,气体总压强设置为3.6×10~5 Pa,获得了单脉冲能量为180 mJ,脉冲宽度为30 ns的308 nm激光输出,脉冲重复频率为20 Hz,脉冲能量不稳定度小于5%.     

紫外光预电离闭合循环系统的XeCl准分子激光器

激光器采用集总电容的LC快放电网络。主放电电极由一对铝合金电极组成,间距2厘米。其中一电极面形曲率R=1.5厘米,另一电极R=1厘米。二排由24组火花隙组成的紫外预电离针平行均布于电极二侧,总有效激活长度为72厘米;激光器谐振腔长为100厘米,全反端为镀铝平镜,输出端为GaF_2窗口。总锗能电容量为67000微微法总预电离电容为18720微微法。闭合循环系统采用金属真空系统与循环泵组成。 在电压34千伏,He:Xe:HCl=94.8％:4.7％:0.5％的配气比中,激光器输出能量大于110毫焦耳,脉冲前沿小于10毫微秒;脉宽40毫微秒。以80毫焦耳能量为起点,运转6×10~4次后能量下降50％。     

采用磁压缩器的XeCl准分子激光器

研究了采用磁压缩器的XeCl准分子激光器特性。采用这种技术可将电流脉冲上升时间从200ns压缩到50ns,计算了电流脉冲的增幅和压缩现象,并解释了反向电流幅度减小的原因;给出了旁路电感对压缩效果的影响。     

实用化XeCl准分子激光器气体寿命的实验研究

气体寿命是影响准分子激光器输出稳定的一个重要因素.我们在一台实用化XeCl准分子激光器上实验,定量给出了微量补充HCl气体对激光输出的影响,并且给出了激光气体长时间的工作寿命曲线.     

循环流动XeCl准分子激光器

本文报导循环流动XeCl准分子激光器,每更换一次气体可连续工作8小时。重复频率2次/秒,平均功率80毫瓦。     

小型长寿命XeCl准分子激光器

报道了一种改进电晕预电离结构的小型XeCl准分子激光器的工作参数和寿命的研究结果.     

Time duration of output pulse in electron-beam-pumped CdS laser

Time duration of the output pulse of electron-beam-pumped CdS laser was investigated. It increased with increase of the excitation current density and was of the order of 100 ns at the beam voltage of 25 kV. It was shown experimentally that the quenching of the laser oscillation is due to the rise of the threshold current density as the result of the temperature rise in the active region of the crystal. The expression for the duration of laser oscillation based on this model was derived and compared with the experimental results. The dependence of the duration on the excitation current density was explained by this model.