利用新型等离子CVD装置涂复陶瓷薄膜

在金属材料上涂复硬质陶瓷的方法,一般有CVD(化学气相沉积)法和PVD(物理气相沉积)法。这两种方法各有利弊,应根据具体工件灵活加以应用。CVD法的薄膜附着性高,但处理温度高达1000℃左右,母材容易发生变形和尺寸变化,需要二次热处理。PVD法的处理温度比CVD法低,变形和尺寸变化可得到控制。但薄膜的附着性差,且绕镀性也欠佳,因此不能用于形状复杂的工件。     

在钢质零件上建立涂层的中温化学气相沉积法

中温化学气相沉积(以下简称MT—CVD)处理是由瑞士Berna公司的Bernex分公司改进的一种很有发展前途的新型化学气相沉积方法,这种方法是将耐磨的钛的碳、氮化合物Ti(C·N)涂覆在工件和工具表面上。本文就不同温度下涂层的沉积速率和涂层组织、结构、形态、成分、残余应力,耐磨性、耐腐蚀性的差别,对MT—CVD法和常规的高温化学气相沉积(以下简称HT—CVD)法所获得的涂层的各种性能进行了对比。     

用化学试剂除掉钛系覆膜的新技术

日本关西热化学公司使用化学气相沉积法,开发了对切削工具、金属模等钛系列的硬质覆膜的除膜技术。该方法特点是使用某种化学试剂在母材不增加伤的情况下,仅把覆膜溶解掉。并且也可以除掉复杂形状的覆膜,而保持原来制品的精度,再次涂膜可减少工具、金属模的费用。对于母材为不锈钢、高速钢、锻钢和超硬合金等,尺寸大约30cm~2     

化学气相沉积TiC、TiN及TiC—TiN层与高速钢及合金工具的结合力

用化学气相沉积法在高速钢及合金工具钢上沉积TiC、TiN单相及TiC—TiN复相。研究了关于沉积层与基体材料的结合力、耐磨性及应用于工具时的工具寿命等特性。证明化学气相沉积法在基体材料上可均匀地沉积各种沉积层。     

化学气相沉积TiC-Ti（CN）-TiN涂层在硬质合金拉丝模上应用研究

用化学气相沉积法(CVD)在硬质台金拉丝模上沉积TiC—Ti(CN)-TiN耐磨涂层，经工业试验表明涂层具有硬度高、摩擦系数小，与基体粘附性强、化学稳定性好和耐磨等优良性能。涂层拉丝模比非涂层模提高使用寿命1～4倍。     

模具的硬质化合物涂覆技术

一、概述早在五十年代,由于化学气相沉积在西德获得成功,硬质化合物涂覆技术已进入实用化阶段,但最初只是在半导体、电子、原子能、宇航等领域应用,直到1969年,Krupp-Widia公司才首次将这项技术用于工具,制成了涂层硬质合金刀片。从七十年代到八十年代,这项技术被推广到各种工模具材料。现在,对模具进行硬质化合物涂覆处理已成为提高模具寿命最有效的方法之一。大力推广这项技术,对于提高模具的加工效率和质量,减少高     

制取硬质耐磨涂层的物理气相沉积方法

本文着重讨论沉积硬质耐磨涂层的物理气相沉积方法、涂层结构和性能的关系及硬质涂层的各种应用。     

TiCN,TiAlN,TiAlCN涂层研究现状

TiAlCN等硬质涂层能提高金属工件的表面硬度、耐磨性及抗腐蚀性,从而有效提高高速旋转条件下服役的刀具、磨具及汽车零部件的精密度和使用寿命。综述了TiN添加Al、C元素形成的TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的结构及应用,总结了添加元素Al、C对涂层结构及性能的影响及其作用机理。归纳了近几年TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的制备方法,包括直流磁控溅射法(DCMS)、高功率脉冲磁控溅射法(HiPIMS)、中温化学气相沉积法(MTCVD)和激光化学气相沉积法(LCVD)等,并对多元TiN涂层的未来发展方向进行了展望。     

多弧放电离子镀

近来,作为钢和硬质合金等的表面硬化技术,采用PVD和CVD法的气相沉积法引起了人们的注目,本文叙述属于PVD工艺中的一种多弧离子镀的原理、操作、特点及应用。一、引言在材料表面改性技术方面,近年来有惊人的进展。其中在金属表面涂覆陶瓷的硬质薄膜技术,以增加工具、模具、机械零件等的表面硬度,提高耐磨性,改善切削性能和脱模性,现已进入实用阶段。在表面镀膜成形的技术中,其分类如图     

气相沉积技术制备6.5wt%Si高硅钢的研究进展

综述了化学气相沉积法(CVD)、物理气相沉积法(PVD)和等离子体化学气相沉积法(PCVD)三类气相沉积技术制备高硅钢的工艺和路线,并对其前景进行了展望。     

热化学和等离子辅助预处理与硬质PVD涂层技术的结合

1　前景和关键领域热化学预处理和物理气相沉积已经成为现代先进制造技术的一部分。热化学预处理本身就是由于汽车工业的大规模发展而产生的。经过几十年发展的物理气相沉积仍被限制在“高新技术” ,仅应用在半导体工业和光学涂层。由于真空技术的快速发展和对等离子辅助过程的认识日益成熟 ,物理气相沉积技术 ,特别是硬质低摩擦系数涂层在机械工程方面得到了越来越多的应用。今天 ,一定范围的切削工具完全依赖于特殊的PVD涂层 ,先进的发动机系统也需要在表面涂覆一层具有低摩擦系数的含钨的碳涂层。如今 ,到了该考虑如果将两种处理技术结…     

被复金属碳、氮化合物的一种新方法

Ti、V、Nb、Cr等金属的碳化物、氮化物具有极高的硬度和良好的化学稳定性,沉积于工件表面可以大大提高其耐磨性、耐蚀性、抗氧化性、抗咬合性、红硬性等,从而可使其使用寿命数倍、数拾倍地增加。被复处理的方法通常有物理气相沉积法(PVD)、化学气相沉积法(CVD)、盐浴被复法(TD)等。     

气相沉积的进展

《表面工程》杂志编辑部于1989年7月20日邀请部分北京气相沉积专家举行座谈。参加座谈会的专家有:郑中岳、刘家浚、徐冰仲、范玉殿、王怡德、王福贞、吕反修、范瑞麟、王葆初、王荫君、韩阶平、殷志强、张福林、张玉群。中国科协学会部寇铁城同志也参加了座谈会。现将座谈会关于国内外气相沉积发展情况整理成文发表。本文由表面工程研究所气相沉积研究室范玉殿教授汇集。本文综述了气相沉积的进展情况。主要涉及TiN 硬质膜、耐磨镀层、金刚石膜、阴极电弧渗钛、带钢真空镀铝、物理沉积高温涂层、太阳能吸热膜以及一种新型光盘存貯介质等。     

用化学气相沉积的多层涂复

最近,化学气相沉积技术作为表面硬化法既引人注目,且已迅速得到应用。目前,日本为提高各种工具和机械零件的耐磨和耐热,同时为增强耐蚀和改善装潢,广泛应用了化学气相沉积技术,在延长处理件的寿命和提高质量方面取得了成效。本文对超硬化合物涂膜的单层或多层涂     

各种模具的等离子CVD处理效果

前言 为了提高模具性能,延长模具寿命,可以采用各种表面处理方法。如氮化,硫氮共渗这类扩散硬化处理或CVD(化学气相沉积)、TD工艺等这类硬膜覆盖法。特别是PVD(物理气相沉积)和TD工艺(热解析工艺)对延长模具寿命有超群的效果。     

CVD硬覆盖层提高工具寿命

对工具钢、高速钢和硬质合金工具进行硬覆盖处理的要求正在增加。化学气相沉积(CVD)是覆盖工艺之一,用以处理硬质合金和钢质工具。覆盖层薄而硬,并具有润滑性,从而改进切削性能并减少在成形加工时工具的摩擦系数。本文叙述了科学覆盖公     

化学气相沉积制备硬质合金刀具涂层研究进展

化学气相沉积技术(CVD)广泛应用于硬质耐磨涂层的生产中,该类涂层可大大提高硬质合金工具的耐磨性和寿命。综述了CVD涂层技术在硬质合金切削刀具中的应用研究进展,首先介绍了CVD涂层技术的原理及其发展历程;其次阐述了模拟计算方法(相图计算、流体力学计算、第一性原理计算、相场模拟、机器学习等)在CVD涂层中的应用;再次介绍了CVD涂层的沉积实验及结构和性能表征方法;最后列举了几种典型的硬质合金刀具用CVD涂层,以期为高性能涂层的智能设计、智能集成和智能研发提供新的思路:即把多尺度计算模拟、科学数据库和关键实验集成到硬质涂层开发的全过程中,通过对成分-工艺-结构-性能进行关联分析,将耐磨涂层的研发由传统经验或者半经验方式提升到科学的微结构智能设计上,以实现基体与涂层微结构调控和性能的协同优化,获得最佳的综合性能。     

模具表面强化PVD改性技术的研究

主要研究了模具表面强化改性处理技术，物理气相沉积法（ＰＶＤ）和ＰＶＤ离子镀的原理和特点，离子镀膜层的基本特性，以及ＰＶＤ法在切削工具，冷冲压模具和塑料模具中的应用。     

柔性电极电火花沉积试验研究

针对硬质电极电火花沉积技术存在的放电间隙不可控、沉积过渡过程不稳定、沉积物质不均匀等问题,开发了柔性电极电火花沉积系统。通过利用柔性电极代替传统硬质电极及通过工件的旋转代替电极的运动,改善了传统电火花沉积中存在的问题。最后进行了沉积试验。结果表明:柔性电极电火花沉积过程中极间放电稳定连续,有效消除了传统硬质电极电火花沉积中放电不均匀的问题。所获沉积层截面致密均匀,基本消除了沉积层中的孔洞、裂纹等缺陷,沉积物质的分布较为均匀。     

CVD法碳化钛工艺在建筑行业上的应用

一、概述化学气相沉积法经过多年研究和生产实践,证明它是一种行之有效的表面强化热处理新工艺。在许多情况下,采用这种方法可以得到比其他传统工艺更具特色的表面性能,从而使工具、模具的使用寿命提高3～10倍,而且这种方法,可得到 TiC 等多种涂层。所谓化学气相沉积法碳化钛工艺,是用高纯氢做载气。把四氯化钛和碳氢化合物(例