硅微热致动泵的关键加工工艺

提出了一种新型结构的硅微热致动泵,对该泵相关的微机械关键加工工艺进行了综述分析和试验研究。     

电流变液微致动研究

利用电流变液体阻尼阀效应设计了原型电流变柔性微致动器，建立了相应的力学模型，进行了性微致动过程实验研究和三维致动过程的计算机图形仿真，并对电流变柔性微致动过程的位移，速度和加速度等运动学和动力学特征进行了分析研究。     

压电微型泵的制造新工艺

在微机电系统(MEMS)中首次把聚对苯二甲基聚合物覆膜(Parylene Coating)技术成功应用于压电薄膜致动器的绝缘、防振、防水和防腐蚀；采用双面固体胶膜的键合工艺代替了传统胶粘结工艺；采用了精密微钻孔、微车削等微细加工技术。这些措施明显缩短了微型泵器件的研制周期，降低了成本，提高了微泵综合性能。     

热致动硅微夹钳实验研究

利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作.电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制.根据所建电热微致动器理论模型,通过分别测试微致动器在空载和驱动工况下的输出位移大小,提出了一种通过公式换算间接确定硅微夹钳驱动力的方法.实验结果表明,电热致动器驱动的硅微夹钳具有很好的电压可控性,最高工作电压可达25V.硅微夹钳的开合位移依热致动器的规格不同在0.7～4μm之间.     

稀土超磁致微致动器驱动电源实验研究

介绍了稀土超磁致伸缩微致动器的结构、工作原理，给出了基于功率MOSFET管的超磁致伸缩执行器驱动电源的电路，实验表明该驱动电源可以满足微致动器的工作需要。     

新型超磁致球电机的研究

根据超磁致材料的磁一机能量耦合转换机理，用有限元耦合迭代方法，设计了超磁致材料微致动器，在此基础上，利用超磁致材料微致动器的组合构型，研制了一种新型超磁致球电机样机。这种球电机通过简单的运动部件产生二维运动，并对原型样机进行了试验测试，验证了新型超磁致球电机的驱动特性。通过新型超磁致球电机样机研制与试验验证，说明超磁致材料致动器组合构型的超磁致球电机，是开发球电机的一种有效方法。     

一种压电薄膜微致动器的致动原理分析及有限元模拟

介绍了硬盘磁头中的压电薄膜微致动器,用层合梁理论分析了微致动器的致动原理,得出了致动力与压电薄膜层数成正比.用有限元软件对粘有40 μm、80μm单层薄膜以及单层厚度40μm的二层和三层微致动器进行有限元仿真,其中薄膜厚度为40 μm的单层和双层的微致动器位移分别达到0.850 29μm/20V、0.827 44 μm/20V,满足了低能耗高位移的行业要求,同时比较了压电薄膜不同粘贴方式的致动效果,得出悬臂上下各粘一层薄膜的致动效果比较理想的结论.     

微泵流速测量中的数据可视化处理技术

针对不同条件下气动微泵流速测量,提出微泵流速数据的二维及三维可视化处理方法。采用Excel软件对测量数据进行预处理;用Origin软件对测量数据进行二维显示、曲线拟合及数学模型提取;用LabVIEW编程软件进行简单的编程,实现数据的三维图形显示。实验数据经二维及三维图形可视化处理后,可以直观地显示致动频率及气体通道宽度对微泵流速的影响。     

具有非对称分段线性刚度的超磁致伸缩微位移致动器的非线性分析

研究了超磁致伸缩微位移致动器的非线性动力学特性 ,分析了碟簧非对称分段线性刚度对微位移致动器动力学特性的影响 ,基于理论分析计算结果 ,研制出应用于精密机械加工的微进给系统的稀土超磁致伸缩微位移致动器 ,为实际开发换能器产品提供了设计依据     

静电微泵吸合与释放特性研究

为避免静电微泵因驱动电压过高而出现吸合现象,建立描述静电泵膜吸合与释放现象的一维集中质量模型、二维分布式模型和三维有限元模型,对比研究静电致动泵膜在准静态下吸合与释放的循环过程,获得整个循环过程的泵膜挠曲线变化、泵腔体积变形、电容变化等大量的数据与曲线.比较结果表明,二维分布式模型求解效果最好,并利用三维有限元模型和宏...