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本文对硅的电化学自致停腐蚀的原理作了简要分析,利用自制装置实现了硅电化学自致停腐蚀,成功制备出符合光波导要求的SOI片。 相似文献
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Ar离子激光增强硅各向异性腐蚀速率的研究 总被引:7,自引:0,他引:7
研究了Ar离子激光器与硅各向异性腐蚀技术相结合制造硅杯的方法。结果表明,激光照射能增强浸于KOH溶液中硅的化学腐蚀速率,在入射光强为4.6W,KOH溶液浓度为0.22mol,温度为90℃的条件下,得到<100>硅的腐蚀速率为21μm/min,是无激光照射时硅各向异性腐蚀速率的多倍。进而讨论了硅在KOH溶液中腐蚀速率对激光光强的依赖关系以及实验温度对腐蚀速率的影响问题。 相似文献
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激光重熔镍基合金火焰喷焊层组织及性能 总被引:2,自引:1,他引:2
利用金相显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)分析不同激光工艺参数重熔后的Ni基合金火焰喷焊层及其经不同温度回火处理的显微组织和相组成,并进行了显微硬度和耐磨性测定.试验结果表明,重熔喷焊层的组织主要由γ-(Ni,Fe)固溶体和Cr23C6,Cr7C3,Cr2B,Cr2B,Fe3B,Fe2B等组成,与火焰喷焊层相比,显微组织得到进一步细化,硬度和耐磨性都有较大幅度的提高.在相同工艺条件下,激光扫描速度愈快,显微组织愈敛密、细小,硬度和耐磨性愈好,但重熔喷焊层的熔深较浅;不同激光工艺参数的重熔喷焊层,经不同温度回火后,硬度都得到了进一步的提高;扫描速眨为360 mm/min,经600 C×3 h回火后的重熔喷焊层硬度相比为最高.采用合适的激光重熔处理工艺及随后的热处理,或使Ni基合金火焰喷焊层进一步强化,使用性能得到进一步改善. 相似文献
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激光重熔对TC4钛合金表面激光原位熔覆层微观组织与性能的影响 总被引:1,自引:1,他引:0
为了进一步提高激光原位熔覆层的质量,利用激光重熔方法对TC4钛合金表面激光原位熔覆层进行了处理。采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和显微硬度计分别对比研究了熔层的显微组织、相分布和显微硬度。结果表明,适当工艺参数的激光重熔处理可以消除位于原位熔覆层底部的大气孔,可以使熔层中的陶瓷相分布更均匀,从而提高熔层的组织致密性;激光重熔处理后熔层硬度值的梯度变化减弱,熔层的平均显微硬度与质量的稳定性均得到提高。 相似文献
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表面重熔、表面合金化及表面熔覆是铝合金表面激光改质的三个主要方法,各方法都有自已的特点,但又有相关性.通过一系列实验可以对比性地了解这些工艺对铝合金表面组织的影响及强化效果,这将对铝合金激光表面强化新工艺的研究和应用提供参考. 相似文献
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增材制造TC4钛合金在激光抛光前后的电化学腐蚀性能 总被引:4,自引:0,他引:4
对表面已进行喷砂处理的增材制造TC4钛合金在氩气环境下进行激光抛光实验,通过极化曲线测试研究了抛光前、后钛合金的耐蚀性,并结合表面粗糙度、晶粒尺寸、表面残余应力以及显微组织分析了激光抛光对TC4钛合金耐蚀性的影响。研究结果表明:抛光钛合金的自腐蚀电位与自腐蚀电流密度均大于未抛光钛合金,说明抛光钛合金相比于原始钛合金的被腐蚀倾向更小,但其一旦受到腐蚀,腐蚀速率会略大于原始钛合金。自腐蚀电位的升高源于钛合金表面粗糙度的降低,自腐蚀电流密度的增大则是因为表面晶粒的细化以及残余拉应力的存在。 相似文献
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采用光纤激光器对300M超高强度钢进行激光表面重熔处理,分析了不同激光功率和扫描速率下重熔表面的显微组织、硬度以及电化学腐蚀行为。结果表明:表面重熔区域的显微组织主要由马氏体以及残余奥氏体组成;扫描速率越大,显微硬度越高,显微硬度的均值约为704HV;激光重熔后,材料表面的自腐蚀电位正移,腐蚀电流密度下降;在激光功率为300W和扫描速率为33mm/s条件下得到的重熔层的耐蚀性最好。 相似文献
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实验对大气等离子喷涂方法制备的氧化钇部分稳定氧化锆(Yttria partially stabilized zirconium,YPSZ)热障涂层的表面进行激光重熔和激光修饰处理,着重考察了在两种不同激光能量条件下,YPSZ陶瓷表层的显微结构和热障涂层系统的高温氧化行为。结果显示,激光处理使得原本相对粗糙的表面变得光滑致密,陶瓷层裂纹数量减少:激光重熔的样品出现网状裂纹,并从表面纵深至陶瓷层底部;激光修饰一定程度上保持了初始样品的层状组织。在恒温氧化过程中,经过激光处理的样品热生长氧化层(Thermally Grown Oxide,TGO)变得连续而致密。循环氧化增重的结果表明,激光处理使得样品氧化增重减少,而其中激光修饰的样品表现出更佳的抗氧化性能。 相似文献
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采用CO2 连续波工业激光器在Cr1 2钢表面进行了激光处理试验 ,利用光学显微镜、电子显微镜观察了激光熔凝处理后Cr1 2钢的组织 ,并比较了激光处理前后的耐磨性。结果表明 ,激光熔凝后获得超细化的枝晶组织 ,其组织为树枝状初晶A′和树枝间层片状共晶 (A′ +(Cr、Fe) 7C3 )。组织细化 ,奥氏体应力应变诱发马氏体转变 ,磨损中大量位错团的产生是激光处理后Cr1 2钢耐磨性提高的原因。 相似文献