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为了减小现场环境与校准环境的差异对真空漏孔校准的影响,通过理论研究,设计了现场真空漏孔校准装置,可实现对真空漏孔的现场校准。考虑到现场真空漏孔校准装置需便于携带及搬运,装置的设计采用了分体式结构。现场真空漏孔校准装置由抽气系统、校准室系统、真空漏孔连接系统、流量输出系统、充气系统、定容室与压力测量系统及烘烤系统等7个部分组成,复合了定容法及固定流导法两种校准方法,预计真空漏孔校准范围为5×10-10~5×10-5 Pa?m3/s,合成标准不确定度为10%。 相似文献
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组合型真空规校准系统 总被引:2,自引:1,他引:1
组合型真空规校准系统由三种基本的校准方法组成,可完成10^-^4-10^5Pa范围内的校准。用户可根据实际应用选择不同的参考标准和校准方法,但不改变系统的基本结构。校准系统扣作方便,校准效率高,同时可校准4或5只真空规,是一种非常适合于日常校准用的实用性标准装置。 相似文献
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超高/极高真空校准装置的研制 总被引:6,自引:4,他引:6
超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度。校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1Pa~10-10Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%。 相似文献
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针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10-8 Pa量级;采用流导法和定容法设计出10-2~10-10 Pa·m3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为105~10-7 Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。 相似文献
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介绍了一种真空规原位置校准的设备,以及原位置校准技术研究,该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点,同时可以满足真空规的在线原位校准。 相似文献
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介绍了一种实用超高真空相对比对校准系统。该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点,可以满足在10^-7~10^-5Pa范围内超高真空规的比对校准。 相似文献
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介绍了一种超高真空精确校准技术。该技术依赖磁悬浮转子规 ,因此具有简单、实用、不确定度小等优点。给出了用该技术校准分离规的实验结果。 相似文献
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比较法真空规校准装置是真空计量的主要工作标准,主标准器溯源到静态膨胀式真空标准装置。为了保证量值传递数据的准确可靠,对装置的不确定度进行了分析和评定,同时对装置的计量性能稳定性和重复性进行了测试和研究。 相似文献
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介绍了2支反磁控型冷阴极极高真空电离规和1支热阴极极高真空电离规的校准实验研究结果。实验设备是一台极高真空校准装置,实验范围为10^-9~10^-1Pa,实验气体为N2。实验结果表明,尽管2次校准结果的重复性较好,但就单次校准结果来看,每个规的灵敏度(修正因子)的最大值和最小值之间的偏差较大。因此,极高真空电离规要得到准确的测量结果,对其进行精确校准是非常必要的。 相似文献