共查询到18条相似文献,搜索用时 46 毫秒
1.
微波等离子体化学气相沉积技术制备金刚石薄膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)制备金刚石薄膜的研究情况,重点论述了该法的制备工艺对金刚石薄膜质量的影响及其制备金刚石薄膜的应用前景。 相似文献
2.
采用B3N3H6-N2混合气体为原料,余辉微波等离子体增强化学气相沉积BN薄膜,漫反射富氏变换红外光谱分析表明,在550℃沉积温度下,1Cr18Ni9Ti基片上获得了低含氢量的c-BN和少量h-BN相的混合薄膜。薄膜Knoop硬度值为20.8GPa。划痕试验法测定薄膜的附着性,临界载荷为8.1N。 相似文献
3.
4.
新型微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜装置 总被引:8,自引:2,他引:6
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备金刚石薄膜的一种重要方法。为了获得金刚石薄膜的高速率大面积沉积,在国内首次研制成功了5kW带有石英真空窗的天线耦合水冷却不锈钢反应室式MPCVD装置。初步用该装置成功在硅基片上沉积得到了金刚石薄膜。 相似文献
5.
6.
7.
微波等离子体化学气相沉积装置的工作原理 总被引:10,自引:3,他引:7
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备金刚石膜的一种重要方法。用简单实验方法给出了MPCVD装置中微波模式转换、微波与等离子体耦合等工作原理。矩形波导中的TE10模式经微波模式转换器转变为同轴线中的TEM模式,再由TEM模式转变为圆波导的TM01模式。TM01模式激发低压气体形成等离子体,等离子体严重影响微波模式分布。在国内首次成功运行了5kW天线耦合石英窗式MPCVD装置。 相似文献
8.
9.
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法是目前最有发展前景的高质量金刚石薄膜沉积方法之一,但由于谐振腔中微波与等离子体之间强烈的相互作用,人们很难根据经验对谐振腔进行改进,本文利用HFSS软件对不锈钢式MPCVD的谐振腔进行了模拟,通过分析谐振腔内电场以及等离子体的分布,对谐振腔的主要参数进行了优化处理,并根据模拟结果设计出谐振腔系统,在一定条件下,沉积出了优质的金刚石膜,沉积速率可达到0.33 μm/h. 相似文献
10.
11.
12.
13.
14.
采用化学气相沉积法(CVD)制备的金刚石薄膜具有接近于天然金刚石的导热性能,是目前最为理想的热沉材料。利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)制备了金刚石热沉片,并在此基础上研究了不同沉积工艺对金刚石热沉片散热性能的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)检测了薄膜的表面形貌及纯度,金刚石热沉片的导热性能则通过测量封装LED后薄膜的散热效果来进行表征。结果表明,在其他条件不变的情况下,提高生长过程中的微波输出功率、降低反应气压以及增加基片温度有利于制备出散热性能更佳的金刚石热沉片。 相似文献
15.
16.
17.
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法分别在CH4/H2/Ar体系、CH4/H2/O2体系和C2H5OH/H2体系中进行纳米金刚石(NCD)薄膜的制备研究。采用原子力显微镜(AFM)和激光拉曼光谱(Raman)等方法对不同体系中制备得到的NCD薄膜的表面形貌及其质量进行了检测。结果表明:在CH4/H2体系中添加O2对于促进高平整度NCD薄膜的效果明显优于添加At;C2H5OH/H2体系更有利于制备颗粒更细、金刚石相含量更高的NCD薄膜。利用等离子体CVD技术的相关理论对上述结论进行了理论分析。 相似文献
18.
陶瓷材料的微波—等离子体分步烧结 总被引:4,自引:0,他引:4
提出微波加热和微波等离子加热分步烧结方法。在这一方法中,把微波加热和微波等离子和热有机地结合到一个微波应用器内,等离子的激励无需在负压下进行;烧结分两步完成。先用微波直接将烧结件加热到一定温度,再用微波等离子体继续加热到烧结度。 相似文献