分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究

介绍了“１．５－２微米实用型分步重复投影光刻机”用的精密快速定位工台的设计，结构特点，精度分析，检测及使用情况。工件台由大行程Ｘ－Ｙ工件台，微动台和调平微转台组成。同时该工件台利用大行程Ｘ－６工件台粗动兼微动与调平微转台的组合完成了“１０：１分步重复投影光刻机”的研制。     

亚微米电子束曝光机激光工件台系统

介绍了正在现场使用的亚微米电子束曝光机激光工件台系统，详细论述了它的技术特征，分析了影响重复测量精度的误差因素，给出了系统各部分实际检测达到的技术指标。     

亚微米电子束曝光机激光工件台控制系统设计

系统介绍了亚微米电子束曝光机激光工件台控制系统的结构组成以及工件台自校正ＰＩＤ定位控制系统的设计。     

ICF实验中的靶识别技术

在ICF物理实验中,靶定位精度直接影响打靶的成功率。靶定位系统包括两套CCDs和一 个多维调整架,两套CCDs从不同的视角得到靶的图像。在计算机中用边缘提取的方法分析它们的特征值,综合两个CCDs的特征值计算靶的空间坐标,它与基准点的偏差就等于靶的调整量。该系统采用了前照明,实验测得它的定位精度为4靘。     

原型装置真空靶室真空形变分析研究

用有限元方法分析了原型装置真空靶室的真空形变.介绍了一种实际测量真空形变的方法,二者进行了分析对比,结果较为吻合,为惯性约束聚变(ICF)物理实验提供了理论和实际参考依据.     

惯性约束聚变靶材料的聚苯乙烯掺杂技术

介绍了惯性约束聚变中的聚苯乙烯掺杂塑料靶材料的制备方法与分析方法，即ＰＳ掺卤素和过渡金属元素等掺杂物的合成，分子量和分子量分布的控制，掺入元素量的控制及主要分析测试手段；并简述了它们在ＩＣＦ中的应用。     

激光惯性约束聚变(ICF)聚苯乙烯(PS)靶材料研究进展

在ICF靶丸研究中,PS空心微球是主要的靶型之一,由于PS靶具有低密度、低原子序数,可以降低辐射驱动内爆实验过程中燃料预热及流体力学不稳定性,提高实验效率,并且有利于实验过程中诊断,所以PS靶愈来愈受到重视并很快得以发展.简要综述了国内外有关惯性约束聚变聚苯乙烯靶材料.     

聚酰亚胺材料在惯性约束聚变制靶中的应用

聚酰亚胺材料机械性能、热性能及耐辐照性能都很好，是惯性约束聚变制靶中比较重要的靶材料。在制靶中最主要的应用是制备空心微球，其次是薄膜和柱腔。综述了聚酰亚胺材料的主要性能，聚酰亚胺微球的制备历史、现状及当前的发展方向。探讨了国内聚酰亚胺微球研制的基本思路。另外简单回顾了聚酰亚胺薄膜和柱腔在惯性约束聚变制靶中的应用现状。     

大型工件上两孔同轴度测量

用测微准直望远镜（以下称望远镜），并配合专用检具，指导大型工件两孔加工前的找正，装卡并对加工后两孔同轴度误差进行测量。     

高分子材料在ICF靶中的应用及其制备技术

概述了高分子材料在惯性约束聚变靶中，作为氘－氚燃料容器、泡沫材料、空心固体靶丸、膜层材料、靶装配胶等方面的应用，并简要介绍了有关材料的特性及其制备方法。     

靶丸目标图象预处理

主要阐述了提取ＩＣＦ实验中靶丸目标边缘轮廓的图象处理方法。包括Ｓｏｂｅｌ边缘检测算子在内的多种方法都能够检测目标物体边缘及实验但未改进的算法在实验中效果不是很好。处理结果达到了实验的要求。     

用于ICF的位相元件宽容度分析

分析了用于惯性约束核变驱动器的大口径连续型位相元件的宽容度问题，并用计算机模拟了具有一定的频带宽度及的们相光强畸变的入射光波对靶场均匀照明的影响。结果显示，所设计的位相元件具有较大的适应性，完全可以满足工程应用的要求。     

双脉冲ESPI中高速图象采集的同步控制方法

双脉冲ＥＳＰＩ技术中的高速图象采集同步控制系统是实现双脉冲ＥＳＰＩ的关键之一,提出并实现了一种新的高速图象采集同步控制方法,此法比传统方法的误采率大大降低。     

ICF用阵列腔镜及阵列伺服反射镜的新型反射镜结构

介绍了一种新型伺服反射镜,它用单框架结构,用一点支撑两点调整实现反射镜的两维角度调节,新型伺服反射镜有结构简单,体积小,并有调整灵敏度高,稳定性好的特点,可在各种角度下使用,并可以用多个单元组成阵列式伺服反射镜、阵列腔镜。这种新型伺服反射镜及相应的阵列式伺服反射镜,阵列腔镜适用于大型ICF装置。     

模式识别相关滤波器设计的峰值锐化技术

提出一种锐化相关峰的滤波器设计方法，把初始滤波函数乘上一个因子，实现相关输出的拉普拉斯运算，从而得到更税利的相关峰和更好的识别效果。     

光子计数式四象限跟踪探测器的噪声分析

为满足对弱光目标的跟踪探测需要,提出采用光地数式四象限探测器作为跟踪探测器。分析了四象限波探测器的探测灵敏度和噪声,推导了开环和闭环的噪声公式,同时还给出了系统在室内实测的开环和闭环噪声。     

电视跟踪系统中的实时视频图象分割技术

系统地介绍了一种基于平滑直方图来提取阈值的实时视频图象分割技术,利用自定义的评价函数,在平滑的基础上进行峰点、谷点的自动检测,输出阈值。实验表明该方法不仅算法简单、运算速度快,而且检测出来的阈值、峰点也较为准确。     

跟踪测量电视全自动调光系统

介绍一种实际应用的跟踪测量电视的调光系统。它采用视频信号控制带有电子快门的ＣＣＤ摄像机的积分时间以平面电机自动光圈,实现范围全自动调光、简要叙述了光系统的组成和工作原理。     

图象目标的识别模型与检测技术

在电视跟踪系统中,对图象目标的模型描述及目标检测是至关重要的。系统地描述了跟踪系统中有关的图象目标模型,研究图象目标的检测技术及适用于跟踪系统的实现方法,给出对实际图象的处理结果。