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本文简要介绍了GaInP/GaAs HBT的发展现状,用湿法工艺制作了自对准GaInP/GaAs HBT,其电流截止频率高达50GHZ,性能优于我们在同等工艺条件下制作的AlGaAs/GaAsHBP。 相似文献
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本文提出了一种台面型全自对准结构AlGaAs/GaAsHBT的制造方案,对其中的欧姆接触金属系统的制备,AlGaAs/GaAs材料的选择性腐蚀及聚酰亚胺的反应离子刻蚀终点监控等关键工艺技术进行了研究,并给出了应用该工艺研制的HBT器件的初步结果。 相似文献
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李丹红 《固体电子学研究与进展》1994,(3)
势垒厚度在2.5~50nm AlAs/GaAs隧道发射极HBT的奇特电流增益近几年来,人们对用隧道势垒作为有效质量滤波器的兴趣越来越大。曾有人提出一种新型TEBT结构AlGaAs/GaAs双极晶体管。在这种结构中,由于其电子和空穴穿过势垒的几率有很大... 相似文献
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曲兰欣 《固体电子学研究与进展》1995,(1)
高温稳定电路用的AlGaAs/GaAs/AlGaAsDHBT在深级钻探、工业加工控制和航天航空等领域所使用的电子设备都要设计得能在350℃,甚至更高的温度下工作。GaAs/AIGaAs系统正好能够适合这一温度范围的要求,因为其带隙大于1.4eV。据《... 相似文献
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研究了电压控制振荡器(VCO)的相位噪声与构成该振荡器的有源器件的低频噪声的关系,测试了SiBJT、AlGaAs/GaAs HBT和GaInP/GaAs HBT的低频噪声,并分析了各自低频噪声产生的原因,提出了选择GaInP/GaAs HBT VCO来实现微波固体振荡器低相位噪声化这一发展方向。 相似文献
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本文描述了Al/n-GaAs肖特基接触的正向脉冲退化效应,探讨了当肖特基二极管承受正向电流冲击时,势垒高度ΦB升高,直接影响Al栅MESFETs的特性,导致Al/n-GaAs IC失效的机理。 相似文献