微透镜阵列的加工技术研究

我们运用紫外光刻及热熔成形的方法,制作 了２０ｍｍ＊２０ｍｍ的折射型微透镜阵列,单元微透镜相对口径为Ｆ／２单元透镜直径９０μｍ,中心间隔１００μｍ。     

球面基底上制作微柱面透镜工艺研究

针对目前在球面基底上制作微透镜阵列工艺复杂,制作成本昂贵等问题,介绍了一种激光直写光刻和光刻胶热熔成型相结合的新的加工技术。为此改造了球面刻划机,搭建了405nm激光曝光光源系统,同时建立三维坐标体系,实现微透镜阵列在球面空间位置的定位。在理论分析和合理设计的基础上,使用BP212正性光刻胶在口径50mm,曲率半径60mm的球面基底上制作出线宽为50μm,矢高为2μm,切面曲率半径约为157μm的微柱面透镜阵列,并给出了测试结果。结果表明：在球面基底曲率半径一定时,通过阶梯升温光刻胶和对其快速冷却等微细加工方法,克服了光刻胶熔融状态时的流动性问题,证明此种加工方法对球面微透镜阵列的制作具有很好的可行性。     

基于微透镜阵列的重金属离子阵列传感器研究

研制了一种基于微透镜阵列的光寻址电位阵列传感器,用以实现同一溶液中多种重金属离子的同时检测.采用脉冲激光沉积（PLD）技术在LAPS上制备Cu2+、Cr6+、Pb2+、Fe3+4种重金属离子的敏感薄膜,并利用微透镜阵列把单束激光转化成激光点阵作为LAPS阵列的光源,从而得到4×4的重金属离子敏感LAPS阵列,实现了对这4种重金属离子的检测.实验结果表明,LAPS阵列传感器能够同时检测浓度为10-5~10-3 mol/L的以上4种金属离子混合溶液.     

平面集成微透镜阵列的研制

介绍了集成微透镜阵列光学器件,建立了开孔式离子扩散的数学模型,并对求解结果进行了分析和讨论。设计了离子交换型平面集成微透镜阵列的工艺流程及具体工艺参数,并研制成功该器件且给出其光学特性参数。     

柱面微透镜阵列用于提高OLED图像质量的研究

微透镜阵列用于OLED是改善其输出效率和图像质量的一种有效技术途径。本文将薄膜柱面微透镜阵列用于全彩色OLED平板显示器,研究视角与亮度和色坐标的关系,重点分析了微透镜阵列相对于子像素在不同排列形式下对图像质量指数的影响。研究结果表明,柱面微透镜阵列在提高OLED输出效率的同时,可以明显改善显示器图像的质量,并且,垂直排列时图像质量指数达到了0.8637,优于平行排列时的情况。     

一种聚合物微锥阵列的制作工艺研究

采用微加工工艺制备出一种聚合物微锥阵列。利用扫描电子显微镜（SEM）分析了在Si（100）衬底上通过微加工所获得的孔洞阵列和采用聚合物填充该孔洞所获得微锥阵列的形貌。研究表明：Si（100）衬底上倒金字塔孔洞阵列轮廓分明，内壁平滑；该聚合物微锥呈类圆锥的形貌，可用作制备场致发射微锥阵列的衬底材料。     

折射型微透镜列阵制作的一种新途径

介绍了一种制作折射型微透镜列阵的新方法,其主要思想参考了灰阶掩模法。所用掩模板用激光直写制作,通过一次曝光即可在光刻胶上形成折射型微透镜的轮廓,并给出了微透镜轮廓的测试图样。     

微透镜阵列薄膜定向增强OLED耦合效率的研究

利用微透镜阵列(MLA)薄膜定向增强有机发光器件(OLED)耦合效率,采用光线追迹方法模拟了不同长短轴比的椭圆形MLA对OLED光的定向增强作用。采用数字微反射镜器件(DMD)并行光刻和热回流相结合的方法制作了MLA模版,经过电铸、压印得到MLA薄膜。理论模拟和实验结果表明,利用MLA可以定向提高OLED的出光效率,圆形MLA可提高垂直OLED基底表面方向的亮度42%;椭圆形MLA可实现OLED在长短轴方向上30°的半强度角度差,总的提取效率可提高30%以上。     

先进技术微通道板（AT—MCP）

描述一种新型的微通道板，即先进技术微通道板。指出目前还原铅硅玻璃微通道板所存在的缺点，同时对二者进行了比较。指出了ＡＴ－ＭＣＰ的优点及其在新应用中的意义。     

水系蚀刻聚酰亚胺

以普通丙烯酸光致抗蚀干膜为抗蚀层,采用对该抗蚀层进行二次UV曝光新工艺。分别以1％、4％的四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液为显影液和蚀刻液,实现了不同体系PAA胶膜的水系蚀刻,最终制备出膜厚为20-25μm,蚀刻精度达线宽／线距=60μm/60μm的聚酰亚胺(PI)蚀刻图膜。三乙胺的加入可有效抑制P从降解,将P从胶液室温有效存放期从7d以内延长至14d以上,且对化学蚀刻PI蚀刻图膜的力学性能无负面影响。该工艺路线、通用性好,且经济、环保。     

光纤端部微型透镜的研究

在光刻热熔法的基础上 ,研究使用掺有重铬酸盐的明胶在光纤端部制备微型透镜的工艺 .分析了重铬酸铵明胶体系的辐射交联和光敏机理 ,阐述了配制、曝光、显影和热熔成形的实验方法 ,同时研究曝光机理和显影机理以确定最佳浓度和质量比、曝光时间、显影时间等工艺参数 .提出了凸透镜表面的形成问题 ,对熔融态的重铬酸铵明胶的浸润特性和临界角作了讨论 ,并以此作为热熔温度及时间的理论基础 .结果说明 ,实验制备的微型透镜具有很好的面形 ,透光性能良好 ,适合安装在光纤端部以进一步增强聚光性能     

高纵横比微孔列阵的干刻工艺

本文简述了干法刻蚀的现状和Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘ － ＩＣＰ 的结构原理, 给出了高纵横比微孔列阵的初刻实验结果, 并对有关参数进行了初步讨论     

ZnS离子束抛光过程中的粗糙度演变

为了得到离子束抛光ZnS的工艺参数,采用微波离子源作为抛光源,分析了离子束能量、离子束流大小、离子束入射角度对ZnS刻蚀速率及表面粗糙度的影响,比较了ZnS刻蚀速率及表面粗糙度的变化趋势.研究结果表明:当离子束能量为400eV、离子束流大小为35mA、入射角度为45°时,ZnS表面粗糙度降低了0.23nm.     

Fabrication and Photoluminescence Property of CdS Nanowire Array by Template Eiectrodeposition

CdS nanowire arrays were synthesized by altering current(AC)electrodeposition in the porous anodic alumina film prepared by aluminium anodizing in oxalic acid.These nanowires have a uniform diameter of about 45 nm corresponding to the pore size of the films used and length up to several microns. The X-ray diffraction(XRD)pattern indicates that the CdS nanowires crystallize in an hcp structure.Besides, photoluminescences(PL)of CdS nanowire arrays,characterized by spectrophotometer show that CdS nanowries embedded in porous alumina template increases the light-emitting intensity and induces a red shift of PL band.     

有源阵单元相位误差对波束指向的影响

从实用观点出发，研究了高频天线阵单元相位误差对波束的影响．在进行了数学推导后，还讨论了实际应用中减小这种影响的具体办法．按这种方法实现了对有源天线单元的布置．     

紫外全息凹面光栅离子束刻蚀技术

通过对引出的平行离子柬流外加可控磁场,可以实现离子束流偏转。该方法实现IV型凹面光栅沿曲面不同闪耀角离子束刻蚀,能够获得高衍射效率的IV型凹面光栅。经过理论设计计算出理想的IV型凹面光栅闪耀角,利用全息曝光一弯转离子束刻蚀工艺制作出尺寸45mm×40mm,波长250nm处衍射效率达67％,入臂200mm,出臂188mm,曲率半径224mm的IV型凹面光栅。同时,利用平行离子束流制作了相同参数的IV型凹面光栅,其250nm处的衍射效率为30％。实验结果表明,利用弯转离子束流制作IV型凹面光栅的方法简单易行,并能够精确控制离子束流实现高衍射效率的IV型凹面光栅制作。     

硅诱导坑形成及深孔列阵电化学微加工工艺方案的探讨

本文采用P型单晶硅片,在三极电解槽中,进行了电化学深刻蚀的探索性实验.对湿法刻蚀和电化学刻蚀中的工艺问题进行了初步的理论和实验研究,同时,采用SEM对实验样品进行了形貌分析,并采用电流突破模型对电化学深孔刻蚀机理进行了理论分析.通过理论和实验研究,发现即使硅片晶向不准,仍能刻蚀出方孔列阵.其结果对进一步开展这方面的研究工作具有指导意义,在进一步深入开展研究电化学体硅微加工技术时,可有望成为实现硅深孔列阵加工的新技术.     

正交法研究离子交换纤维纯化葛根素的工艺

采用正交法考察了各因素对葛根素纯化工艺的影响,确立了离子交换纤维纯化葛根素的最佳工艺.结果表明:强碱阴离子交换纤维吸附葛根素的最佳条件是上药液的pH=7,药液流速0.17 mL/min,药液质量浓度为1.6 mg/mL,溶剂为75%的乙醇.吸附在强碱阴离子交换纤维上的葛根素动态解吸的最佳条件是乙酸浓度为2.5 mol/L,解吸液体积与纤维床体积的比值为8.实验结果表明用强碱阴离子交换纤维纯化葛根素是可行的.     

Design and Fabrication of 2-DOF Micromirror Array Based on Electro-Thermal Actuators

Scanning micromirrors and their arrays are keycomponents in optical micro-electronic-mechanic sys-tem( MOEMS) designed for a broad range of applica-tions including optical switches ,i maging, projectiondisplay,optical data storage , bar code reading, bio-medical engineering,and beamsteeringfor free-spaceoptical communication. Micromachining is a particu-larly attractive technology enabling the creation ofminiaturized,lightweight ,lowenergy,and low-costscanning micromirrors . The challenge is…