用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜

叙述了用离子束溅射镀膜机ＯＸＦＯＲＤ进行Ｘ射线长波段多层膜实验及制备Ｘ射线多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理,Ｘ射线多层膜的制备过程,主要工艺参数,以及用Ｘ射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软Ｘ射线反射率计测反射率的部分结果。     

同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计

分析了同步辐射软X射线多层膜反射率计;介绍了单色器系统、反射率计系统、真空系统以及双重二倍角机构的设计要点。     

用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜

叙述了用离子束溅射镀膜机ＯＸＦＯＲＤ进行Ｘ射线长波段多层实验及制备Ｘ躬一多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理,Ｘ射线多摹制备过程,主要工艺参数,以及用Ｘ射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软Ｘ射线反射率计测反射率的部分结果。     

用磁控溅射法制备软X射线多层膜

本文介绍用直流-射频平面磁控溅射法制备软x射线多层膜的初步实验结果。在一定工艺条件下,采用计算机定时控制膜厚的方法,严格按照设计周期制备了多层膜样品,并给出了X射线衍射仪小角衍射的检测结果。     

软X射线多层反射膜的一种新型设计方法

在循环递推法基础上加入随机数运算,得到一种简易、精度高、有较高实用价值的多层发射膜设计方法。给出了设计步骤,进行了一系列多层膜设计。通过比较,这种方法与复振幅平面法所得结果非常接近,甚至有的多层膜的设计结果更好。     

C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量

在λ＝ ２８．５ｎｍ 波长处,我们选择了一种新的多层膜材料对Ｃ／Ａｌ。正入射Ｃ／Ａｌ多层膜在１５．０ｎｍ 附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的Ｃ／Ａｌ多层膜样品,用Ｘ射线小角衍射法对其结构进行了测试,并测得Ｃ／Ａｌ软Ｘ射线多层膜的正入射反射率２２％ ±４％ 。     

膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析

针对影响多层膜性能的关键因素———膜厚控制误差进行了全面的分析计算,指出影响多层膜性能的主要误差是仪器本身的系统偏差,它使多层膜的峰值反射波长偏离设计值,使得制作出的多层膜无法满足要求;镀膜过程中的随机误差使多层膜的反射率降低,但不影响多层膜峰值反射率波长的位置,因此,在制作多层膜过程中,不但要严格控制镀膜时的系统误差,而且要控制随机误差。     

软X射线狭缝透射光栅谱仪的研制

介绍了软X射线狭缝透射光栅谱仪的基本原理,得出光谱分辨率的理论计算公式,同时给出狭缝光栅的几何结构和相应的各种参数.在真空系统的实验条件下,对不同物质进行了激光累积打靶实验,得到其相应的软X射线光谱图,由这些光谱图可以回推光谱线,进行激光等离子体的诊断.从所做的实验结果中选出效果较好的光谱图,用显微密度计对其进行扫描,得到光强随距离的变化关系,可以用于标定实验和元素的定量分析.     

宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计

提出一种宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计方法。给出了18nm 20nm波段的设计结果,整个波段的反射率与25%的最大偏差小于1.5%.这种方法对于软X射线波段的成像、光谱分析等应用有重要意义。     

软X射线傅里叶变换光谱仪原理及结构特性研究

软X射线傅里叶变换光谱仪是傅里叶变换光谱学最前沿的研究领域。本文采用夫琅和费衍射理论分析了新型Mach—Zehnder分波前式软X射线傅里叶变换光谱仪的工作原理,探讨了探测器接收狭缝宽度的确立条件,得出光程差反演公式,指出谱仪研制的关键环节及难点。     

软X射线-真空紫外傅里叶变换光谱仪及其光谱分辨率研究

描述在研的软X射线-真空紫外傅立叶变换光谱仪原理样机预期结构和性能,讨论并分析了影响谱仪光谱分辨率及谱线位移的因素,结合大数据量FFT数值算法给出实际仪器参数情况下的典型光谱线模拟曲线。     

软X射线接触式显微术研究

按照生物样品各分辨单元具有多种透过率的特点,设计了一个多衬度的台阶状蛋白质模型,根据曝光量与衬度,信噪比,抗蚀膜性能的关系,确定了曝光量。同时模拟样品模型各台阶的真实成像条件,测量了各台阶所对应的抗蚀膜显影速率曲线,对显影条件作了定量分析。将曝光量,显影条件,与分辨率紧密结合起来,找到了一种较好的实验方法。     

软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析

按照生物样品各分辨单元具有多种透过率的特点,设计了一个多衬度的台阶状蛋白质模型,模拟各台阶的真实成像条件,测量了各台阶所对应的抗蚀膜显影速率曲线,对显影条件作了定量分析,并将显影条件与分辨率紧密结合起来,找到了一种较好的定量确定显影条件的方法。     

金属等离子体Z－Pinch软X射线源上X射线能谱与X射线能量的测量

本文介绍了国内首次利用针孔透射光栅谱仪对金属等离子体Ｚ箍缩Ｘ射线源能谱的测量结果及数据处理方法。同时用量热计对该源的单脉冲Ｘ射线能量进行了测量并讨论了其结果。