用于监控半导体加工过程的红外热电堆探测系统

本发明提供一种用于监控半导体加工过程的红外热电堆探测系统,它由以下几部分组成: 用于抽取加工过程气体的气体采样区; 红外辐射源,用于向气体采样区发射红外辐射; 热电堆探测器,用于接收透过气体采样区的红外辐射,并产生与所选气体成分的浓度有关的输出信号;     

微机械非制冷红外热电堆探测器

近年来，非制冷红外探测器应用和开发一直是令人关注的焦点之一，详细介绍了几种现阶段流行的非制冷热电堆探测器的工艺制作方法以及所用材料，并介绍了近几年来热电堆探测器的发展情况。     

高性能微切削热电堆线列阵

美国喷气推进实验室的科研人员最近利用高性能热电材料制作了一种热电堆红外探测器线列阵,这种热电堆红外探测器线列阵是利用微切削工艺制备在硅衬底上的.它们在色散分光计中,可用于化学分析,包括排气和环境监测;在廉价的热成像系统中,可用于预测和预防性维护,如寻找火车轮子或发电设备上的热斑;在地平仪中,则可以用于卫星姿态控制.     

一种交叉式圆形MEMS热电堆红外探测器

微电子机械系统(MEMS)热电堆红外探测器是非接触测温仪、光谱仪、气体传感器等现代信息探测系统的核心工作器件。研制了一种交叉式排布的圆形热电堆结构,其热偶条形状由传统矩形调整为直角梯形以降低探测器电阻,热端通过交叉式排布延伸至中心温度集中区,同时增大冷端欧姆接触面积并覆盖反射层以降低冷端温度,有效地增大了冷热端温度梯度。测试结果显示,优化后的交叉式圆形MEMS热电堆探测器距黑体辐射面3 cm处响应电压为22.673 mV,响应率为47.5 V/W,探测率为■,相对于传统圆形热电堆探测器的18.649 mV、39.1 V/W和■分别提升了21.57%、21.48%和18.5%。给出了热电堆探测器结构设计、仿真结果、制作工艺以及测试结果,为热电堆红外探测器的优化设计提供了参考。     

一种宽波段大视场红外辐射探测器

1 概述 对于宽波段红外探测,高性能的光子探测器因受到波段的限制而较少被应用;一般都采用热探测器。常规的热探测器主要有热敏电阻探测器和热电堆探测器等。本文介绍一种新型     

CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器

提出了一种CMOS工艺兼容的、并采用XeF2气体干法刻蚀工艺释放的热电堆红外探测器.探测器包括硅基体、框架、热电堆、支撑臂、红外吸收层、刻蚀开口等.作为红外吸收层的氧化硅/氮化硅复合介质膜具有多种形状的腐蚀开口,使用各向同性的干法刻蚀从正面刻蚀衬底释放器件.探测器尺寸为2 mm×2 mm,由20对多晶硅-铝热电偶组成,串联电阻16～18 kΩ.释放后的器件特性响应率13～15 V/W,探测率(1.85～2.15)×107 cmHz1/2/W,时间常数20～25ms.     

高精度中远红外辐射定标技术研究

红外辐射定标是红外遥感信息定量化的关键技术之一。从我国空间红外传感器的发展要求出发,结合国外基于绝对低温辐射计的红外辐射定标技术研究状况,提出了利用宽波段可调谐激光器和球状InSb、HgCdTe光电探测器以及薄膜热电堆探测器TS-76来实现高精度中远红外辐射定标的技术方案。     

一种与CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器

报道了一种与CMOS工艺兼容的微机械热电堆红外探测器。提出了具有一对热电偶的两层悬浮结构,其占空因子达到80%以上,并采用P/N多晶硅作为热电偶材料,黑硅作为吸收层材料。给出了器件的工作原理,对性能优化与制作的工艺流程进行了分析,结合所选材料的基本参数,得到了优化后的结构尺寸。通过理论计算,可以获得响应率大于1000 V/W,探测率大于1×108cmHz1/2W-1,时间常数小于40ms,噪声等效温差小于30mK的性能优良的热电堆红外探测器。该器件的吸收层位于结构中的顶层,金属布线位于底层,便于与后续电路集成。单元大小为25 m×25 m,有利于制作非制冷红外焦平面阵列。     

基于低温辐射计的红外辐射定标方法

在比较国际上基于低温辐射计的红外辐射定标技术的基础上,提出了以红外光源结合单色仪为辐射源,及以腔式热电堆探测器和低温辐射计为标准探测器的红外辐射定标方案.介绍了其结构和工作原理并给出了初步的定标结果.     

激光束诊断用新型探测器——原子层热电堆

本文介绍一种新型热探测器一原子层热电堆。该探测器汇集了许多优越的特性，这些优点在其他情况下只能分别在固定的探测器中(如热电偶、热电探测器或量子探测器)发现。和常用的热电堆一样，原子层热电堆提供相同信号，并测得宽的光谱区。然而，敏感区的特殊结构，能使上升时间极短，仅有几纳秒。即使在远红外光谱区，原子层热电堆在室温下的工作与灵敏的量子探测器不同，其信号表现有与波长和温度很强的相关性。     

红外微弱信号的放大与调理电路设计

从热电堆红外探测器的检测电路设计入手,讨论了微弱信号的放大和调理方法,分析了热电堆探测器输出信号的时频域特性和噪声,给出了各环节的实现电路并进行了仿真,分析了以前置放大器为主的模拟信号链的噪声,并提出了噪声匹配的新方法,最终实现了微弱信号的测量。测试结果表明,本电路在噪声抑制和失调补偿方面达到了理想的效果,最小可检测到3.5μV的微弱直流信号变化,在红外光谱探测以及微弱直流信号检测中可以有较广泛的应用。     

红外陷阱探测器的光谱辐射定标技术

遥感信息定量化要求高精度的光谱辐射定标技术支撑,使传感器获取数据可比较性、测量精度和长期稳定性得到保证,溯源于低温绝对辐射计的定标技术是发展趋势.为提高红外绝对光谱响应率定标精度,在一种薄膜热电堆传感器上加装镀金反射半球,研制了红外陷阱探测器作为标准传递探测器.利用电替代技术,测试了红外陷阱探测器光谱响应线性、空间响应均匀性和稳定性.通过溯源于低温绝对辐射计的光谱辐射定标系统,标定了其在1. 1~3. 0μm短波红外波段的绝对光谱响应率,合成不确定度小于1%.将红外陷阱探测器应用于红外光谱辐射定标,可缩短低温绝对辐射计的红外光谱功率标准传递链路并提高定标精度.     

CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器的设计

提出了一种与CMOS工艺兼容、高响应率、低噪声的微机械热电堆红外探测器。该结构热电偶数目为两对,材料为P/N型多晶硅,吸收层材料为TiN。采用较少热电偶对的方式来降低噪声,引入共振谐振腔结构来提高红外吸收率。阐述了探测器的基本工作原理,通过仿真得到其重要的性能参数,并给出了器件具体的工艺流程,对器件尺寸进行了优化。理论上,其响应率大于1000 V/W,探测率大于2×108cmHz1/2W-1,噪声等效温差小于20mK,时间常数小于10ms,电阻值小于20k。     

热电红外探测器

本发明提供一种热电红外探测器,它由一个衬底和两种传导柱组成。传导柱从衬底开始向入射辐射方向延     

遥感、遥测、遥控

TP722.52008011951面向定量化红外遥感的热电堆探测器定标技术/张磊,郑小兵,林志强,王骥,刘昌锦(中国科学院安徽光学精密机械研究所遥感研究室)//光电工程.―2007,34(2).―45～49,54.从红外遥感信息定量化的发展要求出发,分析了测辐射热计、热电堆探测器和热释电探测器的响应特性,选择薄膜热电堆探测器TS-76作为传递标准探测器。搭建高精度光谱响应率定标系统,使用宽波段可调谐激光器和绝对低温辐射计对TS-76探测器的线性、空间均匀性以及重复性进行了标定。按照国际通用不确定度评估规范,对光谱响应率测量结果进行不确定度分析和评估,联…     

微热电型红外探测器

日本松下电子器件公司与松下电器产业中央研究所联合开发出微热电型红外探测器。这种微热电形红外探测器，采用能吸收物体发出的红外能量、且随温度变化元件表面可产生电荷的材料。可在室温状态下工作，人们将期待能作为通用的探测器应用。以往的微热电型红外探测器，存在响应速度慢、红外线聚焦用透镜过大等问题，新开发的产品具有下述特点。     

一种主从式微机红外测温系统

本文提出一种针对机车模拟加载测试台的微机红外测温系统，该系统以热电堆红外传感器件作为主要的温度探测器件，由单片机８０３１集总采集，通过串行通信与ＰＣ机构成主从式控制系统，从而可实现温度和包括其它信息参数在内的远程自动检测或故障诊断。文章讨论和介绍了这一系统的具体设计。     

红外探测器

本文简要介绍了多量子阱探测器、热电探测器、混合型及单片型图象传感器等红外探测器的研究近况,并对关键技术进行评述。     

短波红外焦平面探测器及其应用进展

简要介绍短波红外焦平面阵列(SWIRFPA)的相关概念,从探测器材料、探测器制备工艺方面讲述国内外在短波红外焦平面探测器研究领域取得的进展,列举HgCdTe和InGaAs材料短波红外焦平面探测器产品,描述当前短波红外焦平面探测器的研究动向,最后列举了一些有代表性的短波红外焦平面阵列的应用.     

美国设计改进型表面微机械平面热电堆列阵

美国喷气推进实验室最近设计了一种新型表面微机械加工平面型热电堆列阵,这种拟被用作热成像探测器的平面型二维热电堆列阵将用一种包括微机械加工的工艺制备,其性能将优于以前的二维热电堆列阵。