共查询到20条相似文献,搜索用时 62 毫秒
1.
本文概述了离子探针注入层杂质浓度的一般测量方法,分析了离子探针测量过程中影响得到其实际浓度分布的诸因素。探讨了利用离子注入深度分布样品作标样求检定离子探针仪器灵敏度指标时存在的问题及其解决方法。 相似文献
2.
本文以硅中硼样品为例,介绍了深度剖析条件下测量离子探针质谱计检出限的技术,并对有关问题进行了讨论. 相似文献
3.
灵敏度与检出限是质谱计的两个主要性能指标.它们不仅可以用于判断和比较仪器性能的优劣,也是调试和验收仪器的重要依据.本文对离子探针质谱计的灵敏度与检出限的定义和影响因素进行了比较详细的讨论. 相似文献
4.
l前言1985年由法国卡梅卡公司引进了应用于半导体生产分析的IMS-3f二次离子质谱仪,1986年4月调机使用,在1990年前国内尚有一个维修站,有了问题找他们来帮助解决,在1990年以后维修站撤消了,这给维修带来很大困难,大大影响了SIMS工作。出了问题如果从国外请人来修,一是耽误时间,二是费用昂贵,经济上难以承担。基于这种现状,有些故障我们依靠自己的力量,通过认真、细致的工作,得以排除。本文就以最近排除计算机MASS功能键失常的故障为例,谈谈自己的做法和几点体会。2故障现象机器开启后再起动计算机,显示屏原应显示:MASS… 相似文献
5.
因离子探针在测量Si 中注入杂质的浓度分布时不能将被测二次离子计数n_i(x_,t)、各种干扰离子(质量干扰离子、边缘效应离子及再沉积效应离子等)计数n_(in)(x_i,t)及仪器噪声计数n_n(x_i,t)分开,实测二次离子计数N_i(x_i,t)是三者之和。按N_i(x_i,t)算出的注入杂质浓度分布常具有严重的误差,甚至是假象,故测出各种干扰离子计数及n_n(x_i,t),并将其与n_i(x_i,t)分开是待解决的重要课题。本文提出了一个测量质量干扰离子计数和仪器噪声计数的分析方法,并依此首次测出了当对要测二次离子(11)~B~ 检测时所遇到的质量干扰离子计数和仪器噪声计数的统计平均值(?)_m((11)~B~ ,t)与(?)_n((11)~B~ ,t)。实验发现两者皆与每道采集时间t 成正比。测出(?)_m((11)~B~ ,t)与(?)_n((11)~B~ ,t)为测量其它干扰离子计数创造了必要条件。文后对质量干扰离子的来源和组成作了说明。 相似文献
6.
7.
利用钢标样对Al,Si,V,Cr,Mn,Mo等元素相对于铁的灵敏度系数进行测定,并根据各元素的相对灵敏度系数对其中一块标样进行定量分析。实验表明,当用同一台仪器分析时,只要固定传输能量通带,在不严格控制其它实验条件下,即可得到较满意的结果。同时根据各元素对铁的相对灵敏度系数,可算出它们之间的相对灵敏度系数,由此可比较钢铁样品中这些元素的相对含量。 相似文献
8.
本文描述了一种用于提高MAT—260型质谱计丰度灵敏度的离子减速透镜的设计和计算。采用数值方法,对于能量为10keV的离子束,能量分散为△V≥38eV的粒子可以被限制以减小高丰度同位素谱两端的“尾部”,使其可以测出相邻一个质量单位的低丰度同位素谱。该透镜放置在质谱分析缝和探测器之间,结构简单、造价低,它不仅能够提高丰度灵敏度,而且起到一定的聚焦作用,适用于改进单级质谱计。 相似文献
9.
一种新的离子探针微区定位方法 总被引:1,自引:0,他引:1
本文采用体视显微镜,铝箔和十字交叉丝定位法的有机配合,在LT-1A型离子探针上准确而直观地对一次离子束进行了定位,成功地测量了缺口顶端沿某一方向上氢浓度的分布。对这种定位方法的使用范围进行了探讨。 相似文献
10.
离子讲在质谱技术中的应用及商品化,始于Finnigan公司1984年推出的离子阶检测器。其基本技术来源于1989年诺贝尔物理奖获得者WolfasnsPaul的发明。十年来,在对MS/MS(MS”),高分子量(可达105d),高分辨率(可达10’)等离子讲质谱技术开发应用的同时,数千台式GC/离子阶MS系统在世界各地包括著名的美国EPA,FDA,USDA,NIDA等实验室中成功应用。经过分别以Finnig3n专利的质量选择不稳定扫描和氨缓冲气,自动增益控制;轴向调制技术为特征的第一(ITD700),第二(ITD800)和第三(ITS40)代离子阶质谱仪,MagnumGC… 相似文献
11.
结构动力响应可靠性优化设计中的灵敏度分析 总被引:5,自引:0,他引:5
利用“拟载荷“方法求解出了结构动力响应的灵敏度公式 ,进而又推导出了可靠性指标的灵敏度公式 ,从而得出了动应力可靠性约束和动位移可靠性约束的灵敏度公式。最后的数值算例表明文中导出的动力响应可靠度灵敏度公式是正确可行的 相似文献
12.
13.
氨基酸-离子色谱双用型分析仪在农产品品质和环境检测中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
新开发的A200型氨基酸.离子色谱分析仪既是一种专用型氨基酸分析仪,也能作为离子色谱仪,适用于农产品品质检测和产地环境检测。。作为氨基酸分析仪时,是根据阳离子交换原理,采用淋洗液浓度梯度和柱温梯度的联合双梯度的分离模式实现分离、以柱后茚三酮衍生光度法进行检测。已为21种蛋白水解氨基酸和43种游离氨基酸的测定提供了标准方法。本文以国家计量部门认证的一系列关键技术数据,诸如峰保留时间和峰面积的重现性、检测限、分离度和仪器线性等,来说明仪器的可靠性和稳定性。作为离子色谱仪时,是在A200的主体硬件结构的基础上,配置多用性分离柱和电导、光度等多种检测器来实现的。其控制软件符合GLP规范,首次实现了每分钟自动记录分析全过程的参数和状态,为故障诊断和远程服务提供了方便。其新型数据处理软件备有氨基酸词库和中英文版本。 相似文献
14.
采用hypermesh软件建立山地车车架有限元模型,分析了车架在实验载荷工况下的等效应力和变形。使用hyperstudy和radioss计算了该模型在实验载荷工况下最大变形的灵敏度,并提出相对灵敏度绝对值较大的组件的弹性模量和厚度作为轻量化设计变量。在保证一定的强度、刚度条件下,按照高刚度、轻质量的要求对车架组件进行参数优化。根据优化后的参数,在radioss中对车架施加相同的载荷和约束,进行求解,优化后结果明显优于优化前方案。对于多参数结构优化问题,应用优化思路进行结构优化,能减小设计的盲目性和设计成本,加快新产品的设计开发。 相似文献
15.
范本隽 《仪表技术与传感器》2005,(1):58-59,62
建立了U型科氏质量流量计的力学模型,研究了其灵敏度系数的计算方法并导出了灵敏度系数计算公式,为U型科氏质量流量计提供了设计依据。 相似文献
16.
17.
阵列式光学层析传感器的灵敏度分布计算与分析 总被引:1,自引:0,他引:1
对阵列式光学层析传感器灵敏度分布进行分析与计算不仅有利于了解激励光场与被测物质特性之间的相互作用关系 ,而且对于优化阵列式传感器的空间结构 ,提高成像质量以及进一步对光 CT层析图进行合理的解释均具有指导意义。光学层析传感器的灵敏度分布主要与光波长、被测物质的消光能力及传感器的空间结构形式有关。采用网格法对被测区域进行剖分 ,分析多方向角扇束光在监测区域中的二维空间分布格局以及对灵敏度系数进行归一化处理 ,提出了光层析传感器的灵敏度分布图的近似数值计算方法。并分析了不同传感器阵列结构对灵敏度水平、均匀性和空间分辨率的影响 相似文献
18.
多楔带传动系统的频率灵敏度分析 总被引:1,自引:0,他引:1
为了对实际多楔带传动系统进行振动分析与设计优化,系统地研究多楔带传动系统的固有频率对关键设计参数的灵敏度。给出反映带轮、张紧臂等离散部件转动振动与各段皮带这类移动弹性体横向振动之间彼此耦合的运动方程。根据方程耦合与否以及求解的需要将该系统一分为二。对于具有运动耦合的子系统,建立矩阵形式的自由振动方程,推导出固有频率对设计参数的灵敏度表达式,由此导出固有频率对自动张紧机构设计参数和皮带传动速度的灵敏度的显式计算式。针对一多楔带传动系统,计算固有频率对张紧臂长度、扭转弹簧刚度、安装角以及带速的灵敏度,并运用有限差分法结果予以验证。 相似文献
19.