芯片电镀铜添加剂的研究进展

添加剂是芯片电镀铜过程中实现无空隙填充必不可少的一部分.电镀液成分复杂,各类添加剂如加速剂、抑制剂以及整平剂在电镀过程中的协同作用机制需要进一步研究.为揭示芯片电镀铜添加剂的反应机理,本论文综述了国内外相关的研究工作,对电镀铜添加剂的种类和相互作用进行了分析和总结,并指出了今后的发展方向.     

碱性镀锌试验总结

一、试验目的电镀就是金属的电结晶过程.金属晶体的形成包括两个过程,即晶体核的生成和成长.如果在电镀过程中晶核生成的速度大于晶核成长的速度,就能获得结品细致、排列紧密的镀层.要达到此目的必须提高阴极极化作用.为了改善电镀溶液的性能和镀层的质量,就要在电镀溶液中加入少量的有机添加剂.根据添加剂在碱性镀锌溶液中的作用,其本身必须符台下述要求:1.有机胺类-环氧氯丙烷系列添加剂,必须反应完全,以防止因长期贮存或使用过程中继续缩聚或分解.2.添加剂的分子量要适中,使镀液有较大的极化度.3.分子结构最好是线型结构,有较好的亲水性,以提高镀液的极化度.4.添加剂的补加周期要长,镀液老化要慢.     

通孔电镀中的折镀问题失效分析与改善

针对在利用垂直沉铜与脉冲电镀组合工艺进行PCB通孔电镀过程中所发生的折镀问题进行了研究,借助扫描电镜对通孔折镀线及其两侧的铜晶格进行了对比分析,同时结合PCB通孔电镀的原理并基于DOE实验对可能引起"折镀"失效的各影响因素进行了验证。结果表明,折镀失效是因脉冲电镀过程中孔内折镀失效位置与周边位置铜原子结晶的成核与生长速率不同,二者之间铜晶格的致密性差异较大所致,而沉铜过程中除油剂三乙醇胺在孔壁严重粗糙处残留与脉冲电镀过程中高浓度的光亮剂协同作用是造成折镀失效位置与周边位置铜原子结晶的成核与生长速率不同的根本原因。     

新型酸铜电镀加速剂MA的应用研究

酸性电镀铜是重要的电子互连制造技术之一。为解决其工业生产过程中,聚二硫二丙烷磺酸钠（SPS）和3-巯基-1-丙烷磺酸钠（MPS）稳定性欠佳,导致镀液老化,使添加剂监控失效、镀液均镀能力下降和镀层结瘤等问题,通过电化学实验、定量分析实验和电镀实验,研究了巯基丙烷磺酸络二铜（MA）作为电子互连中酸铜电镀加速剂的特性。结果表明,MA能够直接替代原配方中的SPS和MPS,作为酸铜加速剂使用,且工作浓度更低,具有更宽的CVS分析线性区间,能够提供更准确的定量分析结果,在微通孔保型电镀中表现出良好的均镀能力,并能实现微盲孔的超级填充,不改变铜镀层的金相织构等,展现出广阔的应用前景。     

添加剂对HEDP铜镀层性能的影响

研究了HEDP(羟基乙叉二膦酸)体系电镀铜溶液中添加剂A对铜镀层光泽、结合力、防渗碳性能和抗疲劳性能的影响。结果表明,镀液中加入添加剂A后,铜镀层的光泽和结合力均提高。随添加剂A质量浓度的增大,铜镀层的光泽提高,结合力的变化则无规律。添加剂A的质量浓度为0.4 g/L时,15μm厚的铜镀层就能对基体起到良好的渗碳保护作用。此外,该铜镀层在长循环周期下的疲劳性能优于氰化物体系铜镀层。     

脒基硫脲对酸性硫酸盐溶液中铜电沉积过程影响的研究

研究添加剂对电沉积的作用机理及添加剂用量对镀层结构的影响,有利于开发一种更好效果的添加剂。为了获得良好的镀层,硫脲及其衍生物作为添加剂已经广泛应用于电镀工业中,脒基硫脲(GTU)作为电镀添加剂,采用循环伏安法(CV)和电化学石英晶体微天平(EQCM)技术,考察GTU在酸性溶液中对铜沉积机理的影响。CV结果表明,脒基硫脲对铜电沉积有抑制作用;QCM分析表明,当镀液中含有GTU时,铜阴极沉积和阳极溶出过程的M/n分别为61.50,64.12 g/mol,表明电极反应过程中,Pt/Cu电极表面的铜离子沉积从二电子过程过渡到单电子过程,添加剂的最佳浓度为10 mmol/L。     

印制电路铅锡镀层的退除方法

前言在印制电路板(PCB)制造过程中,常常遇到退除铅锡镀层的问题.如插头镀金时,需将插头部位的铅锡镀层退除,以便在露出的铜层上镀镍、镀硬金.最近在欧美市场上流行的裸铜上复盖阻焊膜,或称裸铜上黑化后复盖阻焊膜,即SMOBC工艺,需要在图形电镀蚀刻后,再去掉电镀的铅锡合金,成为裸铜的印制电路,以防止波峰焊接时阻焊膜皱裂的现象发生.有时,要脱除PCB上的毛刺或整块不要的镀层,都需要采用退除工艺.国内普遍采用氟化氢铵溶液退除铅锡镀层.但此种溶液在组成含量控制不当,如氟化氢铵含量偏低,或过氧化氢偏高时,均对层压板有严重的腐蚀作用.氟化氢铵本身易潮解,系无机有毒品,在PCB生产中逐渐被其它药剂所取代.现将有关先进退镀方法评述如下:     

高厚径比PCB深镀能力影响因素的研究

高厚径比PCB的电镀加工中,深镀能力越来越成为一个重要的评价指标。对比了PCB电镀过程的几种循环方式以及增加振荡对孔内溶液交换的影响,并进行理论分析及实验验证。结果表明：采取底喷以及增加夹具振荡措施可以有效提升高厚径比PCB小孔镀铜的深镀能力。     

酸性镀铜整平剂的合成及其性能研究

以N-乙烯基咪唑、1,3-丙基磺酸内酯和丙烯酸丁酯为原料,合成一种聚乙烯基咪唑季铵类整平剂。采用红外光谱和核磁共振谱对其进行表征。将该整平剂与聚二硫二丙烷磺酸钠(SPS)和聚乙二醇(PEG8000)组成添加剂体系,测试该体系的电化学性能和电镀性能。结果表明:该体系对铜的阴极还原产生极大的极化作用,并使镀液在较宽的电流密度范围内(0.2~10.2A/dm2)均得到光亮平整的铜层,而且能很好地提高镀液的分散能力和深镀能力,说明合成的共聚物是一种性能良好的电镀整平剂。     

添加剂对无氰电镀铜-锡合金(低锡)镀层性能的影响

通过赫尔槽试验与直流电解试验,研究了添加剂在焦磷酸盐溶液体系无氰电镀铜-锡合金(低锡)工艺中的作用。该体系镀液组成与工艺条件为:Cu2P2O7·3H2O25g/L,Sn2P2O71.0g/L,K4P2O7·3H2O250g/L,K2HPO4·3H2O60g/L,温度25℃,pH8.5,电流密度1.0A/dm2。采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、能谱(EDS)、中性盐雾试验等方法研究了添加剂对镀层组成结构、外观、耐腐蚀性能及微观形貌的影响。结果表明,焦磷酸盐溶液体系无氰电镀铜-锡合金(低锡)时使用有机胺类添加剂可抑制Sn的析出,使合金镀层致密均匀,耐蚀性能好。镀层结晶主要为Cu13.7Sn结构,镀层中Sn含量为9%～11%。镀液中添加剂的使用量增加,则合金镀层中的Sn含量降低。     

底座连接口特征参数对显示器后壳注塑质量的影响分析

在Moldflow分析软件的基础上,对显示器后壳进行仿真研究,以翘曲变形量为质量指标,结合控制变量法进行单因素变动实验,保持注射工艺参数不变,研究显示器后壳底座连接口对制品翘曲变形的影响.对数据进行图表分析,结果表明显示器后壳尺寸定位68.58 cm(27英寸)时,底座连接口选用圆形,连接口位置距离底边26 mm,尺寸...     

The role of the symmetry and the flexibility of the anion on the characteristics of the nanostructures and the viscosities of ionic liquids☆

The transport properties of ionic liquids (ILs) are crucial properties in view of their applications in electrochem-ical devices. One of the most important advantages of ILs is that their chemical–physical properties and conse-quently their bulk performances can be well tuned by optimizing the chemical structures of their ions. This will require elucidating the structural features of the ions that fundamentally determine the characteristics of the nanostructures and the viscosities of ILs. Here we showed for the first time that the“rigidity”, the order, and the compactness of the three-dimensional ionic networks generated by the anions and the cation head groups determine the formation and the sizes of the nanostructures in the apolar domains of ILs. We also found that the properties of ionic networks are governed by the conformational flexibility and the symmetry of the anion and/or the cation head group. The thermal stability of the nanostructures of ILs was shown to be con-trolled by the sensitivity of the conformational equilibrium of the anion to the change of temperature. We showed that the viscosity of ILs is strongly related to the symmetry and the flexibility of the constitute ions rather than to the size of the nanostructures of ILs. Therefore, the characteristics of the nanostructures and the viscosities of ILs, especially the thermal stability of the nanostructures, can be fine-tuned by tailoring the symmetry and the conformational flexibility of the anion.     

浅谈设备的性能与操作对胎面压出质量的影响

简要介绍了胎面压出的工作原理及工艺过程，对设备的配置及操作对胎面压出质量的影响进行了分析，并对压出过程中常见的质量缺陷、造成的原因以及解决措施提出了自己的见解。     

Investigation of the effects of fatty acids on the compressive strength of the concrete and the grindability of the cement

In cement industry, a great energy consumption has been observed during grinding of clinker. To reduce this consumption, some waste products have been used as grinding aids.In this investigation, the effects of sunflower oil (SO), oleic acid (OA), stearic acid (SA), myristic acid (MA) and lauric acid (LA) on the fineness and strength of the cement have been examined. These aids were added into clinker in certain ratios based on the cement clinker weight and the grinding has been done for a definite time at the same condition.All of the fatty acids used increased the fineness as compared with the cement without the grinding additives. SO and OA decreased the strength significantly, LA decreased it to a lesser extent and SA increased it definitely according to the common cement. But MA did not alter the strength of the cement as much as SA. In addition, the covering of the balls influences the grinding of cement clinker unfavourably.     

煤粉流动性对GSP气化炉气力输送的影响研究

针对GSP气化装置煤粉气力输送在试车阶段出现的煤粉锁斗下料不畅、发料罐输送性能不佳等问题,从原料煤性质和工业装置的改进方面出发,通过煤粉的流动性参数的测量与研究,分析出现上述工程问题可能的内在原因,并提出工业装置改进方法,为保证GSP煤粉气力输送工业装置的正常运行提供解决办法。     

关于建立火炸药安全数据库的探讨

由反映火炸药及其制品的危险性能和用于对它们的生产、储运系统进行安全评价数学模型出发,探讨了如何建立一个全面、实用的火炸药安全评估数据库。通过对此数据库内容、数据表示方法、数据搜索方法以及建立步骤的讨论,明确了该数据库的使用对象和主要功能。     

The effect of the length of the oxyethylene chain on the conductivity of the polyurethaneurea electrolyte

Polyurethaneureas (PUU), which were synthesized from 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI), poly(ethylene glycol) (PEG), and 3,5-diaminobanzoic acid (DABA), were used as polyelectrolytes in this study. Differential scanning calorimetry (DSC) and Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR) were used to monitor the effect of the various kinds of PEG on the changes in morphology of PUU electrolytes corresponding to the concentration of lithium perchlorate (LiClO₄) dopants. The results of DSC and FT-IR indicate the Li⁺ ions coordinate with the soft and hard segments. Additionally, the crystallinity of the PEG soft segment and the ordered hydrogen-bonded urea carbonyl groups decreased with increasing salt concentration. Impedance spectroscopy (IS) measurements show that the PUU electrolyte with the high phase separation degree has the high ionic conductivity. The hard-segment T_g and the soft-segment T_m influence the conductivity behavior of polyelectrolytes with increasing measurement temperature.     

转子挤压组合凹模的应力分析

组合凹模的应力分析是一个非常复杂的问题，对其进行精确分析是解决模具寿命的关键。本文采用有限元分析软件Ansys对转子的组合凹模进行了分析，为转子组合凹模的优化设计提供了依据。     

Effect of the drafting force on the strength of the bottom of the spinneret

In spinning basalt fibres, the drafting force is in the same range as in spinning of glass fibres. The effect of the drafting force can not be considered in the calculation for the strength and rigidity of the bottom of the spinneret. __________ Translated from Khimicheskie Volokna, No. 5, pp. 47–50, September–October, 2007.