MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置

为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定,设计制作了一种由标准流量发生器和传感器信号读出与数据采集电路组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成,利用不同的砝码配重,在注射器出气口产生合适的恒定气体流速。通过理论分析和Ansys有限元数值仿真,验证了简易标准流量发生器的可行性。传感器信号读出与数据采集电路基于内建多路A/D转换器的单片机实现,具有传感器加热电阻器的恒温控制、流量信号的数字检测和显示的功能。采用该简易流量测试装置对自行研制的MEMS气体流量传感器进行了流量测试与标定,获得了待测器件的标定参数、传感器流量测量的绝对误差和相对误差。     

卟啉传感器气体检测系统流量控制研究

针对目前卟啉传感器气体检测系统中采样气体流量控制的不足,提出了一种控制精度高、响应速度快、超调量小的流量控制系统。该系统利用增量式PID算法调整PWM脉冲信号的占空比,从而间接地改变直流电机两端电枢电压的大小,实现对采样气体流量的控制。流量控制精度为±1.5 cm3/min,且气体流量仅需15.6 s就能达到稳定。实验结果表明:控制采样气体流量,有助于卟啉传感器气体检测系统准确、快速地实现对目标气体的检测。     

基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计

设计了一种新的基于恒温法的热膜式气体流量传感器,介绍了该传感器的建模过程及其敏感元件的结构设计,并给出了流量传感器的详细设计方案。仿真和实测结果表明：该流量传感器既能对小流量信号敏感又能准确地反映大流量的输出,功耗低于0．1W,响应时间小于50ms,精度可达到0．6％FS,能够满足低功耗、快响应、高精度等性能技术指标的要求。     

微量程段的热式气体质量流量传感器研制

研制了一种微量程段的热式气体质量流量传感器.传感器芯片通过微机电系统(MEMS)工艺制备,芯片包括上下游测温电阻器和环境电阻器,其中测温电阻器有4只,对称分布在芯片中央位置,构成惠斯通电桥,芯片工作中采用恒压模式驱动.当气体流过芯片表面时,会导致检测电桥不平衡,流量信号变化转换为相应的电压信号.通过实验标定了传感器的输出曲线并对传感器的精度进行了测试,测试结果表明:研制的传感器在流量0 ～5 mL/min的量程范围内,具有响应速度快、精度高的优点.     

基于曲线拟合的小量程气体流量传感器

开发了一种小量程的气体流量传感器.介绍了传感器系统的结构与工作原理,并对传感器系统进行了实验验证.实验结果表明:在常温与常压条件下,传感器工作正常,且气体流量的绝对误差不超过0.30 mL,相对误差不超过7.4%.它不仅是一种气体传感器,还是一种气体流量或流速传感器.该传感器具有快速响应、高灵敏度、便于安装、稳固、耐用和高性价比等特点,适合于任何气体.     

矿用多参数气体流量传感器设计

针对传统瓦斯抽放监测系统由于监测参数多而存在安装传感器多、铺设电缆多、安装维护不便等问题,设计了一种新型矿用多参数气体流量传感器。该传感器可测量管径为80~1 000mm的管道内流速为0.3~30m/s的气体流量,只需在管道上取一个安装孔,传感器接一根四芯监控电缆就可通过RS485将管道流量、温度和压力信号上传到传输分站。工业性试验结果表明,该传感器量程比大,稳定性好,减少了瓦斯抽放监测系统前期调研、施工和维护等工作量,具有较强的实用性。     

亚硝胺化学发光检测系统气体流量控制器设计

微小流量气体的质量流量控制是亚硝胺化学发光检测的重要组成部分,气体流量的控制精度对检测结果有重要影响。文中根据反馈控制的原理,采用微型电磁比例阀、流量传感器、数字控制电路和PID算法搭建了一套适用于微小流量场合的气体流量控制装置。设计了比例阀的驱动电路,传感器的信号调理电路,微控制器电路,针对被控对象的特性对控制算法进行了优化。测试结果显示,流量控制的精度优于±0.05ml/min(标准状况下),调节时间小于2s,基本无超调。且由于采用反馈控制,具有较好的抗干扰性能。该装置使用方便,成本低,具有一定的实用价值。     

热隔离式MEMS气体质量流量传感器设计

研制了一种热隔离式微机电系统（ MEMS）气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构,间隔240μm。对恒温差电路的设计要点进行了分析并制作了系统电路。测试拟合了传感器输出电压随气体流量的关系曲线,并对传感器进行了标定。测试结果表明：在0～20 L/min的流量范围内,传感器响应速度快,灵敏度高,输出信号平滑,适合于工业及医疗等领域。     

多通道微流量气体流量测试仪的研制

介绍了一种多通道气体微流量测试仪,用于卫星推进系统气体流量测量。设计了基于节流式测量原理的孔板式微流量传感器,详细介绍了该流量传感器探头的结构、流量测试系统的组成、功能及特点,以及传感器数学模型的建立。该流量测试仪结构紧凑、轻巧、信号可以进行远距离传输,使用方便。     

热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析

利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN ,模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场。并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响。将最终的模拟计算结果与实验数据进行比较 ,发现二者基本吻合。利用此热学模型来模拟和分析此类传感器 ,不但可以减少大量的模拟分析过程而且可以降低计算的复杂度 ,另外也为此类传感器的设计和验证提供了一个非常简单而有效的方法和依据。     

气体传感器的建模及特性分析

建立了适合多种气体传感器流量静态数学模型和实验分析的测试系统,并对二氧化氮气体传感器(7NDH)的输入-输出、温度、交叉敏感特性进行了实验测试,用Matlab对实验数据进行了分析与研究.研究结果表明:所建立的气体传感器流量静态数学模型正确,气体传感器分析测试系统具有通用性.     

恒温热线式气体流量传感器的研究

本文通过理论分析对金属丝在强迫热交换下,建立测量气体流量数学模型;并设计了温度补偿电路,难过实验数据对其性能作出了评价,使恒温热线式气体流量传感器,具有灵敏度高、响应速度快、测量范围宽等特点,本文测量方法可广泛应用于各种可燃气体流量的测量。     

多电位阶跃法区分电化学传感器不同气体信号的原理和方法

该文报道的是一种传感器信号的识别技术.利用多电位阶跃法对电化学传感器检测不同气体得到的信号进行区分.在一个电化学传感器上周期性地施加多个电位阶跃,并同步地采集每个电位下相应的电流信号.对采集的数据按一定的程序进行运算处理后可得到一个气体信号的识别值,将该值与已储存的不同气体信号的识别值进行比较,就可判断被测气体是什么.该技术与传统模式识别技术的差别是用一个传感器取代了前者所需要的传感器阵列.     

医用气体流量测量仪（系列）的研制

气体波流量的测量是我们工作中的难点之一。本介绍了以硅压阻传感器为基础元件的气体流量测量仪系列的研制情况。     

温度流量复合传感器

温度流量复合传感器用来同时测量水、酒精和煤油等液体介质的温度和流量。温度敏感元件采用Pt10 0 0 ,它的温度系数是 385 0× 10 -6/℃。流量采用旋翼式涡轮流量传感器测量。叶轮上的磁钢随着流体介质的流动而做圆周运动 ,磁钢上方的霍尔元件在磁钢通过它时输出电脉冲信号 ,频率电压转换器将正比于流量的频率信号转变成电压信号。温度和流量传感器的测量范围和准确度分别为 0～ 10 0℃、0～ 10L/min、± 0 .5℃、± 2 %FS。     

微小流量传感器的研制

介绍了一种新型基于可变面积原理设计的微小流量传感器,阐述了高准确度微流量传感器理论设计方法、结构特点及传感器的信号处理技术,同时也对微流量传感器的标定测试方法进行了探讨和实验验证。实际测量和使用表明:该传感器具有准确度高、可靠性高、抗干扰能力强、结构简单、智能化等特点。     

一种新式微流量计的研究

介绍一种采用层流式微流量传感器,使用电子线路对微流量传感器的信号进行放大、转换,用单片机实现非线性补偿与标度转换,进而研制成数字显示的高精度微流量计。     

汽车用热线式空气流量传感器

利用热式空气流量传感器直接测量空气质量流量的特点,设计了一种应用于测量内燃机进气系统进气量的热线式空气流量传感器。通过对传感器输出信号进行温度补偿、放大及线性化处理,其输出电压与质量流量近似呈线性关系。试验结果表明:热线式空气流量传感器应用于汽车电喷系统中,可以为发动机提供准确的进气质量流量。     

涡轮流量传感器的等出口角原理

本文提出了涡轮流量传感器的等出口角原理及出口角系数的概念,并导出了相应的计算公式。最后用数值计算的方法计算出了出口角系数为常数,进而证明了涡轮流量传感器的等出口角原理。     

基于STC8单片机的净水车控制系统的设计

随着人民对的户外用水安全的问题的广泛关注,市面上出现的越来越多的净水车设备,这些净水车的安全的运行离不开一套稳定的控制系统的控制。为了实现对净水车净水流量和净水过程的操控,开发了一套基于STC8系列单片机的净水车控制系统。该系统主要分两个部分：一是根据可移动净水车净水工艺流程图确定系统的整体操控流程。二是单片机收集液位传感器、流量传感器反馈的信号,来控制系统的整体安全稳定运行,并通过串口通信接收和发送数据,来连通触摸屏完成人机交互,该系统具有当流量高于500L/H或低于50L/H时,调节潜水泵的频率来保护净水过程的安全运行,并可实现自动运行等特点。