全视场外差白光干涉测量技术

为了解决传统白光干涉测量技术中对线性位移机构的位移精度要求过高的问题,本文提出了一种全视场外差白光干涉测量技术。该技术主要通过使用存在差频的白光干涉信号作为光源来实现在大扫描步长和低扫描精度条件下相干峰位置的高精度检测。本文首先建立了白光外差干涉的数学模型,再根据数学模型提供的光强信号特性提出了整体系统设计方案,然后对测量方案的可行性进行了实验验证。最后针对多种误差对算法计算精度的影响进行了理论分析和数据对比。误差分析的结果表明:白光外差干涉测量技术提供更高的测量精度和更好的抗干扰性能,有效地降低了传统白光干涉测量对线性位移机构精度的严苛依赖,为光学自由曲面检测技术提供了更多的可选解决方案。     

光波干涉测量结深

在半导体芯片制造过程中 ,结深是重要的工艺参数之一。本文介绍用光波干涉法测量结深 ,操作简便 ,精度高 ,特别对 10 μm以下的结深测量 ,有其独到的优越性     

一种用计算机一维处理剪切干涉图的实用方法

根据剪切干涉图求解波面形状的一维处理方法目前国内已研究出了多种。本文介绍了一种适于计算机自动处理的方法。给出了将该方法用于实际剪切干涉图数据处理的结果。     

用外差偏振干涉法测量保偏光纤双折射率

提出一种基于半导体激光调频外差干涉原理的保偏光纤双折射率的测量方法，即通过测量由保偏光纤构成的偏振干涉仪输出的外差信号的频率，求得保偏光纤的相对双折射率，此方法具有较高的分辨率和潜在的高精度，以及系统结构简单，无运动部件和非破坏测量等优点。     

干涉图条纹数据的快速自动采集

干涉图条纹的数据采集是干涉图数据处理的前提和基础，提出了一种有效的从数字化干涉图中由计算机自动采集干涉条纹数据的算法，该算法的主要特点是首先用尺度验证技术对灰值干涉图进行干涉条纹细化，然后利用细化后的二值干涉图对干涉条纹进行条纹跟踪和数据采集。     

混合型实用长度标准

现存量块长度标准体系不符合国际标准发展趋势。本文分析现有各国研制的长度标准仪器后．指出实际存在着激光干涉与实物标准相结合的情况。作者认为倡导采用混合型长度标准，更适合基层的实际应用和习惯。     

高精度表面粗糙度图像识别系统的研制

本文研究的是一套通过干涉显微镜成像,利用CCD相机提取干涉条纹进行图像识别和处理,实现高精度工件表面粗糙度快速、非接触、自动化的检测系统。该系统在干涉显微镜的结构基础上,安装了CCD相机,将干涉图像采集到计算机中,然后对采集到的图像进行滤波、判别、二值化处理、提取边缘轮廓,并按照GB/T 1031-2009《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值》的要求进行计算,得到被测工件的表面粗糙度。经实验验证,该检测系统满足Ra值(0.01~0.1)μm和Rz值(0.1~1.0)μm测量要求,适用于高精度工件的表面粗糙度测量。     

CCD实时图像采集处理系统测量光场相干性

本文描述了用CCD摄像机及DIP图像处理系统在双频光栅剪切干涉光路中测量光场相干性的原理和实测结果,以及讨论实验光路中逶镜非准直因素对测量结果的影响。     

激光散斑干涉法测定干涉螺接孔边应力分布

本文提出一种测量孔边干涉螺接应力分布的新实验方法,用激光散斑干涉技术测量出由干涉螺接应力形成的孔周位移场分布,进而确定孔这应力分布,在保证测量精度同时,该方法体现出了简单,实用,有效等优点。     

常用计量技术中光波干涉讲座（四）光波干涉光路设立技巧及应用

本文讲述用于计量测试的光波干涉光路设立的一般方法和技巧。列举用白光串联干涉光路作定位原理以及用激光源球面波干涉环调整镜面平行，检测镜面间平行的原理。     

显微剪切干涉表面粗糙度轮廓测量

介绍一种显微剪切干涉仪 ,其基于剪切干涉是自干涉 ,因而具有相当的抗环境干扰和抗振动的特性 ,结合剪切干涉技术与显微干涉技术 ,实现制造环境下表面粗糙度精密测量。本文介绍了该显微剪切干涉仪的原理 ,给出了实验结果。     

平板剪切干涉法检验激光准直性的改进

本文提出了利用平板剪切干涉法检验激光束准直性的一种改进方案。以两组干涉条纹的平行作为准直性判据,既简化了检测过程,又可使检验灵敏度提高一倍。     

InSAR技术在矿区地面沉降监测的应用探讨

本文结合合成孔径雷达差分干涉测量技术监测地面沉降的原理、步骤进行研究,分析了InSAR技术在矿区沉降监测中的发展潜力和技术难点,并结合最新短基线集干涉处理技术,削弱大气延迟误差、DEM误差、相位解缠误差等,提高了监测精度。因此,对合成孔径雷达差分干涉测量监测地面沉降的理论与应用技术的研究,具有霞要的实用价值和社会意义。     

干涉条纹机器客观读数系统的研究

怎样客观地进行干涉条纹测量并提高干涉条纹读数分辨力及读数准确度是进行一等量块检测的首要前提条件，本文介绍利用激光与数值化图像处理技术分析与解决这一问题。     

利用洛埃镜测钢丝的杨氏弹性模量

文中分析了洛埃镜干涉装置中 ,由钢丝受力伸长引起的洛埃镜偏转对干涉条纹密度的影响 ,导出钢丝因受力引起的绝对伸长量与干涉条纹密度变化之间的关系 ,并通过它计算钢丝的杨氏弹性模量。     

WIVS三维表面形貌测量仪

介绍利用纳米计量垂直扫描工作台实现对6JA干涉显微镜的改造,研制出WIVS三维表面形貌测量仪。该仪器能够精确有效地测量Ra值为0.001~2.0μm的三维表面形貌。通过对改造前后的6JA干涉显微镜进行性能分析,说明了WIVS三维表面形貌测量仪能够满足工程表面测量的发展要求。     

几种激光干涉测长方法比较

本文叙述了几种激光干涉测量长度的方法，并探讨了一些方法的特点及准确度。     

光干涉型甲烷测定器干涉条纹的寻找与校正

光干涉型甲烷测定器是强检计量器具之一 ,用于对矿山、工厂的甲烷、二氧化碳等气体的测定。此仪器在修理中最困难的是寻找干涉条纹。根据本人多年调修的经验 ,现将引起干涉条纹消失、弯曲、模糊等问题的处理方法介绍如下 :一、在寻找干涉条纹之前 ,先检查下列部分 :（１）检查开关和线路是否畅通 ;（２）检查灯泡是否良好 ,灯丝位置是否适当 ;（３）仪器内部的各零件是否紧固。各部分检查完好后 ,接通电源 ,使灯丝位置与光栏平行 ,而且使灯泡发出的强光恰好通过光栏 ,投射到平面镜上。此时用一张长４０ｍｍ、宽１０ｍｍ左右的洁白硬纸条 ,放…