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提出一种基于反射光谱分析的非在位膜厚控制技术,首先利用椭圆偏振光谱仪确定波长300~1 700 nm范围内的薄膜折射率,由此确定对应于特定波长(如1 550 nm)的最佳抗反射(AR)镀膜沉积条件。然后计算最佳AR镀膜厚度所对应的反射谱,得到相应的CIE标准色谱坐标。通过对比实测镀膜颜色和计算得到的最佳颜色,可以实现小尺寸器件端面上AR镀膜厚度的优化控制。利用这一方法,由等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备的SiNx单层AR镀膜,获得了4.4×10-4的反射率。 相似文献
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本文简述了微波暗室静区与反射电平的基本概念,论述了空间驻波法测量暗室反射电平的基本原理和方法,重点讨论了自由空间电压驻波比法测量反射电平的数据简化处理新方法。结合我所微波暗室的测试经验,指出了微波暗室测试中应注意的问题,最后给出了我所微波暗室反射电平的实测结果。 相似文献
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以电磁波折射率具有周期性变化的层状结构来模拟空气中两个相距较远的相干声源干涉形成的中心区域,研究了结构对电磁波定向反射的特性。理论研究结果表明:尽管声波在空气中引起的电磁波折射率的振荡幅度非常小,但是在一定的条件下,声波的存在会对电磁波造成非常强烈的定向反射。文中给出了发生强烈定向反射时,声波波长、电磁波波长和入射角等应该满足的条件,并且计算了反射峰的宽度。 相似文献
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采用自由空间驻波法测试微波暗室反射电平 总被引:1,自引:0,他引:1
暗室性能评估中,自由空间驻波法是测试反射电平的重要方法之一。文章介绍了自由空间驻波法的原理及其实现方法,并对数据的处理做了介绍。 相似文献
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提出一种基于弱反射光纤光栅(FBG)串的随机分布 反馈掺铒光纤(EDF)激光器。激光器利用1480nm半导体激光泵浦一 段2m 长的高浓度EDF进行增益放大,由弱反射FBG串提供随机分布反馈,具有阈值 低、线宽窄、效率高和输出稳定等优点。 实验中,在激光器谐振腔的一端用一个反射率为90%的窄带FBG进行波长选择性反射 ,在另一端连接由20个波长相同、反射 率在5‰左右的弱反射FBG组成的FBG串(总反射率为9%)提供随机分布反馈, 在最大输出功率为400mW的1480nm 泵浦激光作用下获得了峰值波长为1549.48nm、阈值功率为3mW、斜率效率达24%的窄线宽 稳定激光输出。在相同泵浦激光功 率下,间隔一定时间,多次测量激光输出光谱,证实该随机分布反馈FBG激光器具 有良好的波长和功率稳定性。 相似文献
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用分子束外延方法在GaAs(100)衬底上生长了Zn1-xMgxSe(0≤x≤1)三元半导体合金薄膜.在室温下测量了这些样品的红外反射光谱.采用介电函数的经典色散理论,并且考虑衬底的影响后,计算了样品的红外反射光谱并与测量结果作了比较.我们发现对于x<0.2,0.2<x<0.5和x≥0.5三种不同情形,反射光谱表现出不同的结构. 相似文献
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针对激光器频率漂移对相位敏感光时域反射计(-OTDR)的性能影响,文中采用后向瑞利散射的一维脉冲响应模型对其进行了理论分析。在实验室测试中,搭建了臂长差为100 m 的非平衡MZ干涉仪来实时监测激光器的频率漂移;并通过测试三种不同频率漂移的激光器下的 -OTDR 系统性能验证了理论分析的正确性。理论分析及实验结果表明,激光器的频率漂移是引起 -OTDR 曲线波动的重要因素,频率漂移越大,其引起的 -OTDR 曲线波动就越大;当频率漂移高达几百MHz/min时,在时域上已难以区分出是频率漂移引起的扰动还是入侵事件引起的扰动,但仍能在频域中将频率漂移噪声分辨出来。 相似文献
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提出并实现一种基于InGaAs/InP雪崩光电二极管单光子探测器的双重复频率光时域反射仪系统.通过发送两列重复频率有差异的脉冲激光信号对同一光纤的断点进行检测.接收系统采用高速单光子探测器,保证了回返光探测灵敏度,同时也提高了数据采样的速度.通过调节两列激光脉冲重复频率,不仅可以实现系统测量距离量程的改变,而且能够改变测量精度. 相似文献
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基于旋转补偿器的反射差分光谱(RC-RDS)技术是 具有亚单层光学灵敏度的高精度表面表征方法,其全光谱快 速测量性能,特别适合在线检测。为满足真空在线测量的应用需求,综合考虑使用空间、工 作距离、光束 直径、光谱宽度和通光率等限制因素,提出了基于离轴抛物(OAP)反射镜的光学测头设 计方案,构建的测试样机 实现了有效工作距离大于50cm、光斑直径小于6.5mm和光谱范围涵盖280~825nm等性能。实验研究了超高 真空环境Cu(110) 样品在退火处理中的RDS,仪器详细记录了信号随温度的演 变过 程,测量精度优于3×10-4,表明新方案满足真空环境下表面 高灵敏光学测试的需求。 相似文献
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提出一种微接触电调制反射谱(LCER)测试方法,该方示与无接触电调制反射(CER)谱相比较,可极大降低调制电压。给出了自制的详细样品架结构,测量了InGaAs/GaAs量子阱样品,并与光调制反射谱(PR)相比较,结果证实了此方法的可行性和高光谱灵敏度,表明样品与电极的轻微接触既对测量结果没有明显的影响,又可简化测试条件,降低对测量环境的要求,是研究半导体材料和微结构一种方便而又有效的方法。 相似文献
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提出一种用于激光(工作波长为1064nm)防护的非逆反射双层闪耀光栅。以光栅方程、闪耀波长 和闪耀 角关系公式为基础,研究了双层闪耀光栅光线分布特性,分析了上下微结构闪耀角度关系; 设计了双层闪 耀光栅各特性参数,其上、下层光栅闪耀角分别为50°和6°,周期均为5.2μm,光学元件厚为0.5mm, 在下表面镀Ag反射膜。采用反应离子刻蚀(RIE)技术制作双层闪耀光栅,通过轮廓仪进行测 试。研究结果表明,双层 闪耀光栅的光学特性受微结构形状误差影响较大,当光线垂直照射双层闪耀光栅时,出射光 与入射光形成20°夹角,实现了激光非逆反射的目的。 相似文献
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全内反射型光波导开关反射特性的分析 总被引:1,自引:0,他引:1
本文详细分析了全内反射型光波导开关的反射特性,指出反射模存在位相变化及其相对位相差。数值计算结果表明,反射TE模和反射TM模强度反射率、反射损耗,它们的位相变化及其相对位相差都与光波导开关区介质折射率改变量、损耗以及传播角有密切关系。 相似文献
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折/反射全方位视觉空间移变点扩散函数建模与图像复原 总被引:2,自引:1,他引:1
在分析折/反射全方位视觉(COV)图像模糊尺度分布规律的基础上提出了一种基于径向边缘检测的空间移变点扩散函数(SV-PSF)建模方法,并且研究了基于一种可以方便地加入空域可变模糊模型等先验知识的凸集投影(POCS)图像复原方法。本文提出的建模方法在有限的径向边界区域建立COV的全局SV-PSF模型,避免了一般建模方法需要大量的边缘检测和图像分割计算;采用基于POCS算法空域图像复原方法,很好容纳了SV-PSF这一先验知识,在实验中与MATLAB的盲反卷积工具箱函数的处理结果进行了对比,结果表明本文方法的灵活性和有效性。 相似文献