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该文设计了一种新型叉指型电极(IDE)结构形式的螺旋电极压电扭转驱动器,推导并建立了螺旋电极平面有效电极区域内点的应变理论方程。利用ABAQUS对该理论方程进行验证,并着重研究了电压、径向尺寸、圆盘厚度对该压电驱动器应变的影响。结果表明,螺旋电极压电扭转驱动器能够产生较大的切向应变和径向应变输出;增大电压,减小压电圆盘径向尺寸和压电圆盘厚度,有利于提高驱动器的驱动性能;在螺旋角、压电圆盘径向尺寸和电压一定时,螺旋电极压电扭转驱动器的切向应变达到普通电极型的17.5倍,径向应变是普通电极型的16倍。 相似文献
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该文提出了一种平面内具有正交异性的局部环形电极压电驱动器,研究了该压电驱动器的分支电极中心距、分支电极宽度和电极区域角对压电驱动器正交异性的影响。研究结果表明,局部环形电极压电驱动器的方向性强,在平面内有明显的正交异性。减小分支电极中心距、增大分支电极宽度及电极区域角,有利于提高该压电驱动器有电极区域的驱动性能。当电极中心距为0. 8 mm,电极度为0.4 mm,元件厚为0.5 mm,加载电压为200 V时,局部环形电极压电驱动器的径向夹持应力横向效应系数能达45.60,径向自由应变横向效应系数能达1.82。局部环形电极压电驱动器有电极区域的径向夹持应力可达2.46 kPa,径向自由应变可达6.3×10~(-5)。因此,局部环形电极压电驱动器在指定方向上可实现高的力学性能。 相似文献
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采用丝网电极印刷法制备了局部环状电极压电驱动器,并对其动力进行了测试研究。搭建了夹持力测试平台,对局部环状电极压电驱动器和传统压电驱动器的径向夹持力进行测试和分析。实验结果表明,分别在频率为0.2 Hz和峰值200 V的方波和正弦波激励下,局部环状电极压电驱动器带电极区的径向夹持力峰值分别为0.60 N和0.58 N,两种夹持力峰值响应分别是传统元件的2.72倍和2.76倍。无电极区的反向夹持力峰值为0.29 N和0.28 N,其略大于传统元件的夹持力峰值,实验结果同时验证了局部环状电极压电驱动器的正交异性。 相似文献
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为了获得高谐振频率、大扭转角的驱动元件,设计了一种新型的压电圆盘扭转致动器.以直径33 mm、厚0.2 mm的压电陶瓷圆盘作为基体,并在其一侧沉积上环形金属银膜,通过激光将金属膜刻蚀出21对螺旋形的叉指电极线,电极间距为0.97 mm,宽约为110 μm,样品在3 kV/mm电场下极化30 min.实验结果表明,样品的扭转谐振频率可达225.6 kHz,在驱动电压峰-峰为10 V的条件下,最大扭转角度可达0.018 4°. 相似文献
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提出一种新型环形电极压电驱动器,运用ABAQUS软件对此驱动器进行电场和力学分析。着重研究环形电极分支中心距和电极宽度对极化电压和驱动性能的影响,并与普通形电极压电驱动器的极化电压和驱动性能对比。结果表明,环形电极压电驱动器的极化电压为普通形电极的1/2,环形电极结构降低压电驱动器对极化电压的要求;减小电极分支中心距、增大电极宽度,有利于降低环形电极压电驱动器的极化电压;当工作电压为90 V时,环形电极压电驱动器的径向夹持力达到普通形电极的5.2倍,径向自由位移达到普通形电极的2.6倍。 相似文献
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提出了一种新型金属-压电复合管驱动器,以满足微振动主动控制及隔振系统对压电驱动器在位移量、驱动力等性能方面的需求。将管状压电驱动元件粘贴在金属管上,当压电管受外加激励电压作用时,便会在轴向产生伸缩应变,从而使金属管在轴向产生一定的位移量和驱动力。首先对该压电驱动器的静态驱动性能进行理论分析,结果表明,该新型压电驱动器具有中等位移量和驱动力;同时用有限元法对其进行了验证,对于某金属-压电复合管驱动器,通过理论计算和有限元法得到的应变量分别为0.912×10-5、0.925×10-5,从而证明了该理论分析的有效性和正确性;最后设计并制作了一款铜-压电复合管驱动器。 相似文献
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设计一种交叉环形电极与压电圆盘驱动器相结合的交叉环形电极(CREs)压电圆盘驱动器,利用分析软件ABAQUS进行静力学分析,着重研究CREs型压电圆盘驱动器电极结构几何尺寸以及驱动器厚度对驱动器径向驱动性能的影响。研究结果表明,减小电极中心距与驱动器厚度,有利于提高驱动器的驱动性能;加载相同电压,CREs型压电圆盘驱动器的径向夹持应力能达到普通型的2.1倍,径向自由应变能达到普通型的3.4倍。CREs型压电圆盘驱动器性能研究为CREs型压电圆盘驱动器的设计制造提供了一定的理论依据。 相似文献
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以保证柔轮与刚轮的正常啮合为条件,引入计算径向变形量系数,设计径向变形量系数以及允许位移损失系数,通过确定位移放大机构输出端允许位移损失量或柔轮的实际径向变形量,计算压电谐波电机承载能力。建立了压电谐波电机承载能力的设计准则,是包括压电驱动器驱动能力选择以及其他结构尺寸设计与校核的主要依据。其输出扭矩与压电驱动器与位移放大机构的刚度成正比,与柔轮变形力、轮齿啮合角以及摩擦系数成反比。克服了基于压电驱动器最大驱动能力建立压电谐波电机输出扭矩方法的缺陷。该模型也可用于采用超磁致伸缩等其他驱动器的谐波电机承载能力的计算。设计计算表明,相对于一般原动机,压电谐波电机能提供较大的输出扭矩。 相似文献
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环形叉指电极型压电鼓膜驱动器的制备及其性能测试 总被引:1,自引:1,他引:0
制备了一种基于Pb(Zr52)O3(P ZT52)材料的自适应光学用压电驱动器。驱动器采用鼓膜结构, 其工作区域由主动层—PZT52压电层和被动层—ZrO2/Si复合层两部 分构成。PZT52压电层 采用环形叉值电极(IDT)驱动。采用Si(100)单晶作为衬底,并采用 溶胶-凝胶(Sol-gel) 法在其上制备ZrO2阻挡层和PZT52压电层,其中引入PbTiO3(PT) 种子层有利 于PZT52膜层的(110)择优取向。随后在其上热 蒸镀Al顶电极,并采用光刻方法制备图形,得到的IDT电极最大环形直径为 10.5mm,电极间距为0.05mm,中心非激活区 域直径为2mm。鼓膜结构则通过对Si衬底背部 进行各向异性湿法刻蚀(ODE)得到,保留的支持层厚度为5~10μm, 直径为 12mm。测试结果表明,压电驱动器阵列单元在100kV/cm驱动下,可产生6.5μm左右的形 变量。最后利用有限元分析方法(FEM)拟合了压电驱动器单元的面型,并分析了其形变模式 产生的内部原因。 相似文献
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为了探究压电驱动器的输出性能及提高压电驱动机构的性能,该文对“十”字型压电惯性驱动器进行了理论分析与应用测试。首先说明了驱动器结构组成与驱动机理;然后利用弹性力学理论对驱动器进行了理论分析,得出驱动器弹性振动位移表达式,给出了影响驱动器性能的影响因素;最后对驱动器进行实验应用测试,将其用于驱动盲文柔性点显装置。结果表明,该驱动器能较好地实现系统驱动,放大柔性薄膜凸点的位移输出,柔性薄膜触点凸出明显,性能良好。验证了用这种压电惯性驱动器实现系统驱动是可行且有效的。 相似文献
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