STS的MEMS晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单

电浆制程技术厂商STS（Surface Technology Systemsplc）最近宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化微机电系统（MEMS）设备制造大厂博世（Robert Gosch GmbH）的订单。