面向MEMS的CAD显示设计研究

首先介绍面向微机电系统的CAD软件的特点,具体讨论面向MEMS的CAD系统显示设计,然后对在PC机上以Windows来平台,运用OpenGL技术来进行CAD系统的显示设计进行了探讨。     

模数≤0.06 mm的微行星齿轮减速器的CAD/CAM技术

微机电系统（MEMS）是近年来兴起的一门新兴技术,微行星齿轮减速器是微机电系统中的重要器件。在模数≤0.06mm的微行星齿轮减速器的研制中,引入CAD/CAM技术,并成功的设计制造出了样机。     

微机电系统的进展分析与研究

系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统，微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺，以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用。介绍了我国在发展微机电系统所做的努力。提出我国必须走研究与应用并重的道路，使微机电系统的研究走向产业化，才能为我国在微电子工业的第二轮国际竞争中争取到应有地位。     

微机电系统与微机械学

分析了微型机电系统中产生的一系列特殊效应，介绍了微机电系统中新的设计理论和设计方法，以期建立微机械学理论体系。     

微机电系统及相关技术的研究现状与发展方向

本文分析了微机电系统的特点与先进性，着重介绍了美国麻省理工学院在微机电系统与技术方面具有国际先进水平的研究成果。     

微/纳机电系统

微机电系统（MEMS）和纳机电系统（NEMS）是微米／纳米技术的重要组成部分。MEMS已在产业化道路上发展，NEMS还处于基础研究阶段，分析了微／纳机电系统的发展特点，简要地介绍了典型的MEMS和NEMS器件及系统后，讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题以及它们的发展前景。     

光造型技术在微机电系统中的应用研究

在分析了当前制作微机电系统的几种技术的基础上，采用自由度较大的、制作复杂结构能力较强的光造型（SL）技术。研究过程中在以下方面有所进展与创新；STL文件纠错、CAD直接切片、固化单元研究、提出与传统机械设计不同的设计思想及方法等。为解决光造型技术在微系统的设计及加工过程中存在的问题提出了以下措施；在微机电系统设计中采用虚拟现实技术；改进制造工艺以提高精度和速度；利用多种复合材料制作微零件；结合多种微细加工技术微系统整体制造工艺。     

微机电系统的机械学特性研究

目前微机电系统的研究成果主要侧重于制造加工工艺方面，而对微机电系统机械学特性的系统研究则显缺乏。在概述微机电系统发展状况的基础上，归结分析了微机电系统在组成结构、材料特性以及力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征，并探讨了微机电系统的机械学特性。     

微系统CAD的研究现状及展望

在微系统的研究和设计中,计算机辅助设计软件工具的开发是一个非常重要的研究领域。讨论了微系统CAD的系统模型层次,介绍了一些重要的CAD项目的研究现状,并指出了微系统专用CAD研究中存在的两个关键问题。     

MEMS及微系统的计算机模拟与辅助设计

介绍了MEMS CAD的特点及MEMS与微系统的设计方法,对MEMS CAD系统中的系统级、器件行为级、器件物理级及工艺级等各级仿真器的特点、相互关系及在MEMS CAD中的作用进行了分析,并对MEMS CAD方法、MEMS与微系统的EDA工具进行了综述.