2ZJ—150双级机械增压泵研制总结

一、概述 机械增压泵即通常所谈的罗茨真空泵。它是一种用机械的方法来获得“中真空”的设备。是一种高速旋转机械。 机械增压系与目前应用较为广泛的油封机械真空泵,油扩散泵相比有其十分重要的特点; (1)机械增压泵在5×10-1×10-2托压强范围内,具有稳定的大抽速,可达名义抽速。然而油封机械真空泵在10-2托时,实际抽速下降的很严重,不到名义抽速1/10。而油扩散泵此刻尚不能正常工作。假设某一真空系统要求在10-2托时抽速达600升/秒。如选用H-150型滑阀泵,此时每台泵的实际抽速只有15～20升/秒,需要有 30～40台泵并联使用才行。这会造成设…     

五级金属油扩散泵的研制

本文介绍一种具有大排气量的五级金属油扩散泵的设计与调试。这种泵的主要特点是：工作压强范围宽、在较高压强下有较大抽速、最大出口压强较高。典型Ｋ－５００泵的抽速是大于１００００升／秒，极限压强低于６．６×１０－５帕，最大前级压强大于５４帕，加热功率８千瓦左右。     

涡轮分子泵的发展近况

一、前言1913年,盖德提出了一种新型的与位移原理无关的机械真空泵。他的分子牵引泵实际上是这样的设想:气体分子不断地与运动着的固体表面相碰撞,按一定的方向被抽出。基于同样的设想盖德发明了扩散泵,在扩散泵中,气体分子被高速喷射的蒸汽分子带出。他将几级泵串联在一起,当前级压强为1毫巴时,对空气的压缩比达到10~6,抽速为1升/秒。一种改进的盖德分子牵引泵在1923年由霍尔维克(Hol week)提出。转子在具有环形槽的圆柱筒中转动。它所达到的抽速约为5升/秒,对空气的压缩比为10~6的好几倍。     

直联式无油机械真空泵的研制

本文介绍了我所研制成功的WY-6直联式无油机械真空泵。文中主要阐述了对该泵各项性能的测试结果与分析,并对增压级的残余气体进行了质谱分析。通过测试得出:该泵作前级时,实际抽速S_(max)=4.5升/秒,极限压强P_o≤60托;作增压级时S_(max)=8升/秒,P_o≤3×10_(-4)托。经700小时累计运行及56小时连续运行,情况良好,性能稳定。目前该泵已在用户的实际工况中使用。     

用图表法求圆导管的通导

由于真空泵是通过阱、阀门、导管接至被抽容器进行排气的,因此,泵经过一段管路之后的有效排气速度,已不是泵在入口处的排气速度了。其关系如下 Sp-真空泵的排气速度(升/秒) Se-真空泵经过一段导管的有效排气速 度(升/秒) C-导管的通导(升/秒) 由公式看出,即使泵的排气速度很大,如果C值很小时,其有效排气速度会由于C的影响而变小。 高真空侧 如令口径d(cm)扩散泵的何氏系数为33.2%,则泵的排气速度 Sp=9.1×0.332 × d2 =3.02d2(升/秒) 接相同直径的管,长度为L(cm),在分子流态时其通导值为 C=12.1d3/L(升/秒) 将两式代入有效排气速度公式 …     

新型余摆线真空泵的密封结构

一、前言 余摆线真空泵是由旋转式三角活塞发动机演变而来的。它属于一种新型的变容式油封机械泵。由于它的转子和泵腔的型线为余摆线,故又称为余摆线真空泵。 1975年东北工学院与抚顺市真空设备厂共同协作研制出转子和泵腔的型线为余摆线等距线、并带有“定片式密封”的YZ型余摆线(等距型)真空泵。为了区别前者,故将后者称为新型余摆线真空泵。 这种新型众摆线真空泵,经过产品鉴定发现它有如下特点: ①抽速和极限真空等主要性能指标均达到油封式机械泵的部颁标准。而且在10-1托下有满抽速。与同规格的滑伐式真空泵相比,重量、尺寸和加工工…     

波纹管密封机械泵

用波纹管密封而制造的机械泵(包括真空泵、循环器、压缩机),它利用波纹管把工作腔和动力输入部分隔离开来,既防止了润滑油脂对于工作介质的污粘,又不致于跟润滑油产生化学作用,使油失去润滑性,从而保证了泵的可靠运转。这类泵的工作室跟外界可以达到很高的气密程度。某种意义上讲,仅取决于泵的材料、另部件的密封形式和密封材料。假如是采用银、铝金属密封,那么要求达到10-10升·托/秒以下的漏率,也完全是可能的。在概念上把波纹管密封机械泵叫作无油泵是不确切的,应称之谓密封无油泵。无疑这类泵的用途要超过油封机械泵的使用范围,它首先是…     

涡轮分子泵与钛升华泵的组合真空系统

涡轮分子泵，钛升华泵各自对不同种类的气体有不同的排气性能。利用它们的特性来互相弥补彼此间的缺欠而获得低的极限压强和大的抽速。本文叙述了这种装置的设计方法和试验情况。从设计出发点至达到的预想效果都进行了较系统的介绍。该装置得到了满意的效果，获得１０－１１托的极限压强，对氮气或空气的抽速为３０００开／秒左右，而对于氢气的抽速为１万升／秒。并对涡轮分子泵和钛升华泵联用的系统获得超高真空的方法进行了讨论。     

提高旋片泵抽气速率的探讨

前言 旋片式机械真空泵是目前国内外生产和应用较多的一种泵。我们合肥工大真空 专业74级师生,在南京真空泵厂开门办学过程中。在南泵和沈真所领导、工人、工 程技术人员的指导下,对旋片式机械真空泵抽气速率计算公式及有关数据进行了初 步计算和探讨。 一、抽气速率的定义: 在一定压强、温度下,单位时间内泵从被抽容器内抽除的气体体积,简称抽速。常用“S”表示。 1.名义抽速S名: 泵设计时所选定的标准抽速(760乇时旋片泵应达到或稍超过的抽速)。根据部颁标准,我国2X型旋片泵抽速系列有以下九种(单位:升/秒) 0.5、1、2、4、8、15、30、70…     

对液环真空泵的抽速和压缩功的研究

液环泵是一种粗真空泵,以前对这种真空泵理论工作报导的很少。本文试图建立一个抽速方程,被作为大气排气的各种条件、密封液的蒸汽压、被抽系统的排气压力和膨胀指数,以及表示各种工作条件的指数。的函数。完成了对等温系统压缩功的分析。导出在最大压缩功时的压强表达式并研究了它与各种参数的关系。理论推导与试验结果作了比较并研究了指数。对各种工作条件的关系。理论方程也与其他研究者的理论和实验做了比较。所提出的分析将有助于理解这种真空泵的性能。 1.绪论 液环真空泵是一种旋转变容式机械泵。常用来获得直到2托的粗真空,也常用…     

湿式罗茨真空泵

罗茨真空泵是40年代发明并成为产品的一种泵型。它具有抽速大、体积小、耗能省、结构简单、工作可靠、噪音污染低等一系列优点。原先它作为旋片泵的增压泵使用,以解决真空度从1330—10~(-1)帕的大抽速问题,首先在冶金工业上得到广泛的应用。我国从60年代开始研制这种泵型,至今已发展成为从30升/秒—20000升/秒抽速的系列产品。70年代以后我国罗茨真空泵的应用和发展取得较大进展。但目前国内生产这种泵型的厂家还为数不多。罗茨真空泵作为连接排大气的粗真空泵还是近几年的事。较多的研究结果表明,该泵作     

透平式分子真空泵叶片式工作轮主要尺寸的确定

本文提出了透平式分子真空泵叶片式工作轮主要尺寸的确定方法。以保证工作轮的密封结构和叶片根部断面的许用应力为前提,给出工作轮的内外径的最佳关系。并导出与叶片材质的机械物理性质和工作轮叶片内外径之比有关的工作轮外径的许可的园周速度的计算式。 抽速为400～500升/秒以上的透平式分子真空泵通常采用叶片式工作轮。因为这时采用那种小的和中等抽速的分子泵中所采用的那种径向槽式工作轮将会引起泵的径向尺寸增加,制造工艺困难.特别是,实际上不可能建造具有大抽速的泵。在中等和大抽速的透平式分子真空泵中都采用这种制造比较简单的…     

基于数值计算方法的双螺杆真空泵气体输运过程研究

基于双螺杆真空泵气体输运的特点,将泵腔内级间的泄漏通道简化为不同类型的真空管路,采用相邻级间的平均压强确定不同压强下级间泄漏气体的流态,计算得到级间泄漏的质量流量。根据质量守恒定律,建立了双螺杆真空泵气体输运过程的数学模型。以渐开线型端面的等螺距螺杆真空泵为研究对象,计算分析了泵从大气压到极限真空的整个抽气过程。对不同入口压强下的级间泄漏量与抽速进行了研究,研究表明:不同的泄漏通道对级间泄漏的影响有所不同。在排气端,齿顶圆与泵腔内壁之间的泄漏通道对级间泄漏的影响较大;在吸气端,两转子齿顶齿根面之间、斜齿面之间以及凹齿面之间这三种泄漏通道对级间泄漏的影响较大。     

用定压法测定抽速使用辅助容器时的误差及其分析

前言 本文介绍了定压法如使用辅助容器测试抽速会产生一定的误差,并以试验实例介绍了影响误差的几个因素,同时还给予一定的理论分析。 文章认为在现阶段没有找到消除误差的理想办法之前,至少对机械系而言,使用辅助容器测试抽速是不适宜的。 一、问题的提出 我厂在测试滑阀式真空泵抽速时主要采用定压法,且按JB1069—67“油封式机械真空泵试验方法”进行测定。但我们总感到用定压法测试泵的抽速变化很大,例如: ( 1)我们试验室有一台H-150泵,三年前的试车记录中, 10乇时的抽速为144.5升/秒,在去年下半年测试时,106时的抽速为122升/秒。 ( 2)…     

三腔滑片式真空泵的几何理论与性能研究北大核心CSCD

滑片式真空泵的排气量偏小、抽气速率低限制了其应用场合。本文利用正弦螺旋线提出了一种新型的三腔滑片式真空泵,并对其工作性能进行了理论与试验研究等几何尺寸下,三腔滑片式真空泵相比双腔简谐结构形式排气量可提高37%;三腔滑片式真空泵的抽速可达1 L/s,极限压强能够达到13 kPa。三腔滑片式真空泵的抽速更快,缩短了滑片式真空泵达到指定压强的抽气时间,很好地验证了理论模型。对于开发新产品具有重要的参考价值。     

三腔滑片式真空泵的几何理论与性能研究

滑片式真空泵的排气量偏小、抽气速率低限制了其应用场合。本文利用正弦螺旋线提出了一种新型的三腔滑片式真空泵,并对其工作性能进行了理论与试验研究等几何尺寸下,三腔滑片式真空泵相比双腔简谐结构形式排气量可提高37%;三腔滑片式真空泵的抽速可达1 L/s,极限压强能够达到13 kPa。三腔滑片式真空泵的抽速更快,缩短了滑片式真空泵达到指定压强的抽气时间,很好地验证了理论模型。对于开发新产品具有重要的参考价值。     

蒸发离子泵原理和结构

高真空泵的一种新型式早已被发现,这种泵不用冷阱或挡扳即能抽出真空系统中的有机蒸汽物质和高蒸汽压物质,只要采用一定的功率就能抽出真空系统中的有机蒸汽物质和高蒸汽压物质,只要采用一定的功率就可以得到很高的抽速。在这种泵中采用连续蒸发钛收气对绝大多数普通气体都产生抽气作用。不能被收气作用抽走的气体成份都被电离和被驱逐到泵壁上,并于此被冷凝的钛埋陷住。在 2×10-6毫米汞柱时,对氢、氧、氮的抽速为7000升/秒左右。可达到的最低压强为2×10-7毫米汞柱。抽速决定于收气表面的温度,被蒸发钛的压强和速率,本文讨论在抽气机构中…     

真空获得

大型涡轮分子泵 西德雷勃海拉奥斯公司,最近把Turb-ovac3500泵增添到他们的涡轮分子泵系列中。这是该系列中最大的泵,对氮的抽速为3500升/秒,该泵最重要的特点是对于氢具有高达10000的压缩比,能获得2900升/秒的抽速。这种泵用一个变频器供电和进行自动控制。由于自动控制,使电机的功率消耗,能按工作条件随意调整。只有60厘米高的泵的紧凑结构,最适用于超清洗系统,压力量程很宽,可低达10-10毫巴。应用范围包括:宇宙模拟、等离子体物理、大型真空蒸发淀积装置、分子束系统,退火及熔炼炉及核子加速器等。 可任意选用的真空泵附属装置 潘瓦特(P…     

镀膜设备上致冷机低温泵的工作性能

迄今为止’人们都喜欢用扩散和涡轮分子泵作为镀膜设备的抽气手段。随着操作可靠和不用保养的低温致冷机的发展，使低温泵同样能应用于镀膜设备。 本文所介绍的试验是使用一台在２０°Ｋ工作温度下具有１０瓦致冷功率的低温泵，其对氮的抽速为４５００升／秒，对氢为７０００升／秒。对氢具有这样高的抽速，这对镀膜设备正是特别重要，在低温面上涂上活性碳才能达到这样高的抽速。     

K-150 K-200扩散泵的设计改进

我厂革命职工,遵照伟大领袖毛主席关于“人类总得不断的总结经验,有所发现,有所发明,有所创造,有所前进。”的教导,在过去生产扩散泵的基础上,改进设计试制出两个规格的新型结构的扩散泵。下面简略介绍泵的性能及结构等特点: 一、泵的性能特点 此型泵在不多增加外形尺寸情况下,抽速性能提高近50%,抽速范围增宽1.5数量级,参看图(三)抽速曲线。最大排气压强提高67～133%,达到极限真空的抽气时间缩短,且极限真空较高,其它性能指标与老型泵相比都有所改善。比抽速达6.5～7升/秒/厘米2,最大抽气量提高1.87～2倍。使用泵油为国产KS-3扩散泵油,加…