X射线镂空硅掩模在同步辐射X射线深层光刻中的应用

阐述了Ｘ射线镂空硅掩模的研制及其在同步辐射深层光刻中的应用。在北京同步辐射国家实验室Ｘ射线光刻装置上，采用本文研制的Ｘ射线镂空硅掩模获得胶厚为３０－４０μｍ、侧壁很陡、边缘很直的Ｘ射线深层光刻胶图形。     

硅光电二极管探测器在低能X射线辐射场上的标定

在同步辐射X射线能量标定前,需要对作为传递探测器的硅光电二极管进行标定.利用低能X射线10～50 kV空气比释动能基准装置,研究硅光电二极管的辐射响应并用它测量辐射场的均匀野大小.将硅光电二级管AXUV-100G置于低能X射线基准辐射场中,测得AXUV-100G作为传递探测器在10～40 keV能量范围的能量响应较高,...     

同步辐射原位X射线散射技术在纳米与能源材料中的应用

同步辐射原位X射线散射技术可以实现对材料结构进行多尺度的、无损的、高时间空间分辨率的表征,动态地揭示材料微观结构在不同外界环境下的演变过程。X射线散射基础理论已经相对成熟。第三代同步辐射光源大幅提高了X射线散射技术的时空分辨率,进一步拓宽X射线散射技术的应用场景。当前同步辐射原位X射线散射技术的难点主要集中于实验装置设计和大数据处理。概述了X射线散射技术的主要分类和基本的实验方法,主要介绍了不同分类的同步辐射原位X射线散射技术在纳米材料(纳米颗粒生长和纳米颗粒自组装)与能源材料(以钙钛矿薄膜材料为代表)研究中的应用。最后结合当前国内外先进同步辐射光源的发展现状,展望了同步辐射原位X射线散射技术未来发展的方向和应用前景。     

同步辐射X射线光刻中热辐射引起掩模畸变的研究

在同步辐射X射线光刻中,由于掩模的初始张应力和掩膜的非均匀受热将使掩模产生热畸变。本文基于BEPC(北京正负电子对撞机)的运行参数和光刻机系统,建立了掩模受热畸变研究的二维动态模型,对同步辐射X射线光刻中热辐射引起的掩模畸变进行了研究。这种研究方法对其他同步辐射光源和等离子脉冲X射线作用下的掩模畸变研究都是普遍适用的。     

同步辐射高能X射线衍射在材料研究中的应用进展

同步辐射是具有连续光谱宽波段、高通量、低发散度等优点的先进脉冲X射线光源,可用于开展其它光源无法实现的诸多前沿科学研究。第三代同步辐射光源产生的高能X射线,能大幅提高衍射的倒易空间分辨率、穿透深度及时间分辨能力,实现使役条件下工程材料与部件内部多尺度微结构单元的高效原位、精确无损表征。配备满足透射几何条件、能施加多种力物性环境的原位装置,有助于建立多场耦合下材料的跨尺度力学模型。简述了同步辐射高能X射线衍射的基本原理、第三代同步辐射光源的装置与特点,介绍了高能X射线衍射在材料形变行为、相变以及再结晶等领域的研究进展。最后基于国内外先进光源的发展现状,展望了同步辐射高能X射线衍射技术进步的主要方向。     

6～70keV同步辐射X射线能量标定

为建立高注量率同步辐射X射线计量领域相关的国家标准,对同步辐射X射线能量标定方法进行研究。在北京同步辐射装置上选择6、10和20keV三个能量点进行实验,得到的传递探测器校准因子与辐射能量的关系曲线近似直线,变化趋势呈线性递减;在20keV能量点,不同直径光阑条件下进行的标定实验验证了传递探测器的校准因子与光源照射到基准电离室与传递探测器的光子通量有关。在上海光源上进行10～70keV能量标定实验,得到传递探测器的校准因子拟合曲线;10～20keV能量段的变化趋势与在北京同步辐射装置得到的校准因子变化趋势一致,30～70keV能量段的校准因子随着能量的增加而平稳缓慢增大。对各个能量点标定产生的A类不确定度进行评定,为后续建立国家计量标准同步辐射X射线空气比释动能量值传递体系提供了技术数据。     

三维X射线衍射技术与工程材料研究

第三代同步辐射光源可以产生高能X射线,实现对使役条件下工程材料内部晶体结构的原位无损表征.三维X射线衍射(3DXRD)是一种基于同步辐射技术的新兴表征技术,其采用单色高能硬X射线对多晶材料沿不同方向采集衍射信号,得到材料内部晶粒的晶体取向、空间位置、晶内局部应力张量等信息.当结合原位实验对材料进行3DXRD分析时,可以...     

用于软X射线显微术的氮化硅窗口的研制

氮化硅膜具有对软X射线吸收较小、成膜光滑、强度大和致密性好等优点，因而常选作为窗口材料。本文主要介绍了用于软X射线显微术的氮化硅窗口的制备工艺，给出在国家同步辐射实验室软X射线显微术实验站使用的实验结果。     

第一届长江三角地区X射线分析测试学术会议通知

为增进分析测试水平、相互学习、广泛交流,上海市、江苏省和浙江省X射线专业委员会决定于2005年10月中旬举行长江三角地区X射线分析测试学术会议。欢迎广大从事X射线分析测试的科技工作者参加。上海市联系人为姜传海教授chjiang@sjtu.edu.cn;江苏省联系人为吴小山教授xswu@nju.edu.cn;浙江省联系人为吕光烈教授gllu@zju.edu.cn。第一届长江三角地区X射线分析测试学术会议通知$上海市物理学会X射线与同步辐射专业委员会     

同步辐射小角X射线散射及其在材料研究中的应用

小角X射线散射(small angle X-ray scattering,SAXS)是研究物质内部一纳米到数百纳米甚至到微米尺度级别微观结构的有力工具.近年来随着我国同步辐射技术的不断发展,同步辐射SAXS技术被越来越多地应用到各种材料的研究领域.然而,由于SAXS图谱是倒空间的信号,并不像显微镜那么直观,也不如X射线...     

X光电子谱术

介绍了光电子谱术的基本原理，谱图解释和化学态的确定等基本问题，它们是入门必需的。同时也给出了进一步了解光电子谱术的资料。     

α-氧化铝的X射线定量分析

分析了目前α-氧化铝含量测定过程遇到的问题,参考了多峰法定量分析在其他领域的应用,并将其成功地应用到α-氧化铝含量的测定中,解决了用YS/T 89-1995标准方法测得结果偏大的问题。     

X-RAY TECHNIQUES FOR RESIDUAL STRESS MEASUREMENT

This paper discusses application of X-ray techniques to measurement of residual stress in typical components.     

X射线光学多层膜的研究

介绍X射线光学多层膜的构成原理、制作、测量方法及在超高真空系统中的研制技术。     

PVC／PP-g-MAH共混物X射线能谱微区分析

用X射线能谱微共分析方法对PCV／PP－g-MAH共混物进行了研究，得到了共混物断面元素的面分布图，并对面分布图像进行了相分析，从亚身观层次揭示了PCV／PP－g-MAH共混物的相结构，通过对元素面分布图的面积计，研究了共混组成与相容性的关系，并初步探讨了共混物力学性能与面分布的相关性。     

化学镀Ni—P镀层的X射线衍射研究

根据X射线衍射分析结果,对化学镀高P(含P>11wt％或19at％)Ni-P镀层加热时效时,镀层成分和加热温度对结构转变的影响作了研究,结果表明,高P共晶、过共晶(含P>11wt％或19at％)合金的结构转变有如下特征:(1)相同加热时效条件下,Ni-P合金的结构转变与成分有密切关系:(2)对同一成分的过共晶合金,Ni-P合金的结构转变与时效温度密切相关;(3)过共晶合金在290～360℃温度范围内时效处理,出现Ni_xP_y介稳相,X射线衍射分析认为Ni_xP_y为Ni_(12)P_5。     

X射线衍射法测定聚合物材料取向EI

介绍了用X射线衍射法测定结晶聚合物材料取向度定义,单轴和双轴取向及其计算方法。     

X射线法测量锗单晶的应力

采用Hiroshi Suzuki等人提出的新的单晶应力测量原理,结合不对称布拉格衍射技术,对锗单晶的应力进行了测量。这种方法的优点在于利用多组试验数据求解多元线性回归方程,从而消除了一般单晶应变测定方法中无应变状态下晶面间距不准确对结果所带来的影响。该法可以推广应用于其他单晶体的应力测量和高织构取向材料的X射线应力测量。     

PREDICTION OF FATIGUE LIFE BY X-RAY DIFFRACTION METHODS

Abstract— X-ray double crystal diffractometry and reflection topography were employed to examine the defect structure induced by fatigue of A1 2024 specimens. Analysis after various amounts of tension compression cycling revealed that the excess dislocation density in the surface layer increased rapidly early in the fatigue life, and maintained virtually a plateau value from 20 to 90% of the life. Beyond 90%, the excess dislocation density increased rapidly again to a critical value at failure. Investigation of the defect distribution in depth showed that the excess dislocation density in the bulk material, by contrast to the surface layer, increased more gradually during the life. Using deeply penetrating molybdenum radiation, the grains in the bulk could be analyzed, and thus the fatigue life and onset of failure could be predicted nondestructively. It was also shown that, after removal of the surface layer, the defect structure induced in the bulk by prior cycling was unstable. The resultant extension of fatigue life by surface layer removal was explained on the basis of this structural instability of the bulk material.