纳米级集成电路与超纯水

阐述美国《国家半导体技术发展战略》中存储器的发展目标对其关键材料超纯水在水质和耗量降低上的要求。以我国8英寸/0.18微米和12英寸生产线和相关数据与其对照.表明在总有机碳、溶解氧等项水质参数巳可满足该发展要求，而在SiO2、微粒限定、检测技术以及超纯水耗量降低等方面尚有差距和问题，提出相应的解决方案，讨论了超纯水等项水资源消耗的降低途径。重申了水回收的意义，关注“功能水”和高效，省能的GDI（聚合型电去离子）装置将是有益的。     

集成电路与超纯水

本文以16M位、64M位集成电路工厂纯水为实例，介绍了两套超纯水装置的处理流程与制水特点，它们均已通过一年多运转的考验，处理效果稳定，水质指标分别达到了设计水质要求。     

8英寸线超纯水技术的若干特点

应小于等于0．25μm8英寸fab之需，介绍了实际工程的各项优越水质参数和高可靠、易运作等特点。讨论了水的回收技术、总有机碳（TOC）减低技术和安装，配管中的零污染的可能性。     

超大规模集成电路生产中的超纯水系统

随着集成电路技术的不断发展，对生产所需纯水水质要求理镐，本文系统介绍了超大规模集成电路生产中的超纯水质水质指标，典型制备流程，输送管材以及超纯水制备系统的发展。     

超纯水精处理系统与水质评价

以应0.5um技术之需而设的一套超纯水精处理系统的实例，介绍了其工艺流程及特点，给出各项水质参数的实测数据，进而评述≤0.25um/8英寸线的水质评价项目及其限定值，分析手段和应具有的在线检测仪表。     

SAL601负性电子束抗蚀剂纳米级集成电路加工

讨论了采用SAL601负性化学放大电子柬抗蚀剂进行电子束曝光应用于纳米级集成电路加工的实验方法与工艺条件。经过大量实验总结，通过变剂量模型对电子束曝光中电子散射参数进行提取，应用于邻近效应校正软件，针对集成电路曝光图形进行邻近效应校正。校正后的曝光图形经过曝光实验确定显影时间及曝光剂量，最终得到重复性良好的，栅条线宽为70nm的集成电路曝光图形。     

纳米级CMOS集成电路的发展状况及辐射效应

介绍互补金属氧化物半导体(CMOS)集成电路的发展历程及纳米级CMOS集成电路的关键技术,在此基础上研究了纳米级CMOS集成电路的辐射效应及辐射加固现状。研究结果表明,纳米级FDSOICMOS集成电路无需特殊的加固措施,却比相同技术代的体硅CMOS集成电路有好得多的辐射加固能力,特别适用于空间应用环境。     

纳米级CMOS集成电路的单粒子效应及其加固技术

空间应用的集成电路受到辐射效应的影响,会出现瞬态干扰、数据翻转、性能退化、功能失效甚至彻底毁坏等问题.随着器件特征尺寸进入到100nm以下（以下简称纳米级）,这些问题的多样性和复杂性进一步增加,单粒子效应成为集成电路在空间可靠性应用的主要问题,给集成电路的辐射效应评估和抗辐射加固带来了诸多挑战.本文以纳米级CMOS集成电路为研究对象,结合近年来国内外的主要技术进展,介绍研究团队在65nm集成电路单粒子效应和加固技术方面的研究成果,包括首次提出的单粒子时域测试和分析方法、单粒子多节点翻转加固方法和单粒子瞬态加固方法等.     

超纯水制造装置

由于超大规模集成电路的飞速发展，使超纯水水质要求不断提高。并提出了一些新的项目要求。半导体行业目前是处在64M位时代，不久即将进入256M位的新时代，集成度每前进一步，杂质要求减少到原有标准的1／2～1／10(大约)。水质要求值和水质评价技术的发展，不能超越实际，更不能提出不切实际的苛刻要求，水质分析应以生产要求的下限值做为对保证水质的标准。对水中杂质的存在和对器件影响，以及彼此之间的因果关系不清楚的情况下盲目制定降低杂质指标是不可取的。     

超纯水精处理系统与水质评价

以应 0 .5 μm技术之需而设的一套超纯水精处理系统为实例 ,介绍了其工艺流程及特点 ,给出各项水质参数的实测数据 ,进而评述≤ 0 .2 5 μm/ 8英寸线的水质评价项目及其限定值、分析手段和应具有的在线检测仪表。     

IC工艺用超纯水系统的TOC实验研究

从运行管理角度,以实验方法考察了IC工艺用超纯水制造过程中TOC(总有机碳)的若干问题。通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平各异的两套超纯水制造系统中各主要装置对TOC的除去效率及其对TOC的影响。     

IC卡与IC卡付费电话系统

本文对公用付费电话的发展及ＩＣ卡付费方式的先进性作了简要分析，阐述了ＩＣ卡及其技术特点、ＩＣ卡公用付费电话系统的话机系统及管理系统的结构和功能，最后介绍了ＩＣ卡付费电话系统的发展现状及前景。     

IC卡与IC卡公用电话

本文全面、系统地介绍了ＩＣ卡及ＩＣ卡公用电话的技术特点，并与磁卡及磁卡公用电话作了分析比较。     

基于MSP430单片机的智能IC卡水表控制器

介绍了一种以MSP430单片机为控制核心的IC卡水表控制器的设计方案。将微控制器和4442卡技术、I^2C总线技术、流量计量技术及低压检测技术等相结合,实现了水表管理的高效率和智能化。详细介绍了该控制器的基本结构及各模块的软硬件设计原理。样机试验表明该智能水表控制器具有功能完善、计量准确及通信可靠等特点。     

多目标多约束的集成电路统计优化策略

对于集成电路设计、生产过程中的多目标、多约束统计优化问题,本文提出了“合格率足够高”的优化宗旨,并从概率论的基本原理出发,结合集成电路的特点,导出了一种合格率的近似表述方法,提出的变权重Monte Carlo法编程简便,效率高。采用这些优化策略设计的集成电路合格率优化系统取得了比较好的结果。     

IC卡技术及其应用

本文首先对IC卡及其分类作了介绍,并分析了卡的主要技术,然后概述了IC卡的应用情况,最后对IC卡的发展前景作了展望。     

IC卡付费电话系统

ＩＣ卡付费电话系统由ＩＣ电话卡、ＩＣ卡话机和ＩＣ卡付费电话管理系统组成。本文简介了ＩＣ卡定义及应用、ＩＣ卡话机功能，并着重从ＩＣ卡付费电话管理系统的系统构成、系统功能、与ＩＣ卡话机之间的通信等方面进行了介绍。阐述了ＩＣ卡付费电话系统的现状与未来。最后对我国应如何发展ＩＣ卡付费电话系统提出了几点设想。