低温绝热容器中皮拉尼真空计取代热偶真空计的可行性分析

在低温绝热容器夹层真空度的测量中,皮拉尼真空计和热偶真空计较适用,目前热偶真空计应用较多。从测量范围、测量精度、测量温度、互换性、远程监控、检漏能力和性价比等方面,对皮拉尼真空计和热偶真空计的性能进行了比较,得出皮拉尼真空计更适用于低温绝热容器夹层真空度测量的结论。最后列举了目前国外几种典型的商用皮拉尼真空计和热偶真空计的技术参数。     

电阻真空计的误差分析

自1833年克里斯天(christie)描述了惠斯登电桥电路以来,应用很广。该电路也很快地被广泛应用在真空度的测量上。 电阻真空计俗称皮喇尼真空计,迄今也有几十年的历史了,其一般测量范围为100～10-3托。系采用一根电阻温度系数较大的金属丝(如钨、铂、镍丝)制成规管,在其两端施加电压,通过测量电气参量来反映出真空度。其电路大致可分为定压、定流、定温(定阻)等形式。 分析电阻真空计的误差,对于实际应用十分重要。根据国家标准单只规管校准曲线在测量范围内与标准曲线的偏差其平均值不应大于±25%,可见在电阻真空计中若要缩小测量误差,则规管…     

压敏电阻用于低真空测量的研究

研究了将压敏电阻用于低真空的测量，包括规管和电路，研制成了新型DL-4型真空计。该计测量范围为102～105Pa，性能好，价格便宜。介绍了该真空计的原理、结构与特性。     

压敏电阻用于低真空测量的研究

研究了将压敏电阻用于低真空的测量，包括规管和电路，研制成了新型ＤＬ－４型真空计。该计测量范围为１０＾２－１０＾５Ｐａ，性能好，价格便宜，介绍了该真空计的原理，结构与特性。     

真空计线路检测与自动化测量

前言 真空技术应用的普及与发展,对真空计量器具要求逐步严格起来。我们日常检定大量使用的电离真空计,热偶真空计在真空系统上对规管常数校准时,经常由于真空计线路电参数不合格,甚至不能正常工作,而白白浪费了很长时间开动真空系统获得所需要的真空。就是真空计线路能工作,但由于参数偏离规管要求的电参数数值,而使规管所测得的常数数值不能与同类型真空计线路通用。由此看来真空计线路电参数检测是保证真空计测量压强准确一致不可缺少的计量项目之一。为此我们研制了真空计线路检定台,现介绍如下,由于业务水平所限,、又缺少实际工作经验,…     

测压范围10~5到10~(-3)帕简易的氮化钽薄膜规

因为氮化钽薄膜具有适合于提高灵敏度的、宽的热传导区、电阻值合适以及电阻温度系数大等优点,通过实验研究,证实了用氮化钽薄膜测量定范围的压力,已经取得较好的结果。这些试验引出一个新的薄膜系统结构,该系统是通过反应性等离子体溅射,在小型的、7059康宁玻璃基片上淀积氮化钽薄膜而成的。用它可以测量105到10-3帕范围的压力变化。本文给出了氮化钽薄膜规性能的详细说明和校准曲线。 一、引言 皮拉尼真空计测量压力的原理,是基于加热体和周围气体间的热交换速率与压力的依赖关系。这种真空规能相当迅速地记录真空系统的压力变化,其优点在…     

一种“绝对型”电容薄膜真空计的研制

介绍用磁控溅射制作的从大气往真空约覆盖5个量程的“绝对型”电容薄膜真空规，以及与该真空规配套的真空计的电路。该真空计测量范围为1．3～105Pd，真空规与电容信号检测电路置于同一金属壳内，以避免外界干扰。规的恒温胜温度波动小于±0．1℃，有效地降低了温度的影响。电路的非线性小于0．4％，高真空下北输出漂移小于0．1％，在13～105Pa各量程内，最大校准误差小于读数的4％。     

碳纳米管阴极电离真空计研制及其性能研究

碳纳米管阴极电离真空计在超高/极高真空测量中具有广阔应用前景,基于碳纳米管阴极研制了测量范围10-9~10-4Pa的电离真空计,真空规管包括了碳纳米管阴极、门极、阳极、反射极和收集极,电路控制系统由高压电源、微弱离子流测量和控制电路组成。实验研究结果表明,不锈钢衬底上直接生长制备的碳纳米管阴极性能良好,开启场强和阈值场强分别为1.9 V/μm和3.9 V/μm,当阳极电流为42μA时,碳纳米管阴极电离真空计本底干扰可降低到1.81×10-9Pa。     

真空测量技术及航天应用

简述常用工作用真空计、单片机在真空计中的应用、真空测量在航天应用、真空测量标准以及碳纳米管阴极在电离规中的应用.     

温度对电容薄膜真空计测量影响的实验研究

采用了一支满量程为1333Pa的绝压式电容薄膜真空计,在金属膨胀式真空标准装置上对其进行温度变化的影响实验研究,包括在开和未开控制单元的规管恒温和温度补偿功能两种情况下环境温度变化的实验,并在实验过程中记录了电容薄膜真空计的零点漂移情况。其中,在打开控制单元的规管恒温和温度补偿功能的条件下,电容薄膜真空计测量准确度非常好。而在未打开控制单元的规管恒温和温度补偿功能的条件下,在10^-2～10^-1Pa两个量级上电容薄膜真空计的示值与标准值有较大偏差,最大偏差为36％;而在1～10^2Pa量级上电容薄膜真空计测量准确度也非常好。     

真空计电参数检定台介绍

一、概述 为了满足真空计量工作的需要,提高检定精度与效率,我们于一九七七年试制一台真空计电参数检定台。 二、研制目的 对于各种电真空计检定,在计量部门是把规管(传感器)封接于真空系统上,用水银麦氏真空计做为标准仪器,进行真空量值检定。画出刻度曲线。实质上是规管和仪器线路以及指示器(表头)综合一起进行了检定。其中包括规管本身误差、仪器线路误差、表头误差三部分。其中哪部分误差多大是不知道的,总的检定结果必将引起真空量值较大偏离。可以肯定这种检定是不合理的。 计量部门的任务在于传递量值准确一致,对电离及热偶真空计每…     

氮化钽薄膜皮拉尼真空计的灵敏度特性

1.前言加热物体被周围气体所传导的热量随气压而变化,利用此原理制造的皮拉尼(热传导型)真空计有比较简单的测量电路,即使在大气压下工作也不会损坏,适用于一般工业上的真空度测量。由于压强高于10托和低于10~(-3)托时,气体热传导和压强的关系较小,在此压强范围内,用通常的白金丝皮拉尼真空计测量压强是困难的。为了在上述压强范围内使真空     

与DL-8型规管配合使用WZK-1A型复合计的改制

一、改制WZK-1A型复 合式真空计之目的 我单位的冶金生产是在真空条件下进行的,过去一直使用麦氏真空计测量。为了消除汞害,保护环境,我厂在六十年代购进很多复合式真空计,仅WZK—1A型一种就有三十余台。但此种真空计在使用中存在着许多弱点,如测低真空范围窄、电离规;管DL—2寿命短、热偶部分测量时受环境温度的影响、而且反应慢、灵敏度低、两部分衔接不好等等,适应不了要求,因此,长期闲置,造成积压。针对我单位生产实际需要而改制 WZK—1A型复合计,配用 DL—8规管,克服原复合计弱点,具有较好的测量效果,为保护环境取替了一批水银…     

NCF—I型钠灯超高真空封接炉研制成功

锦州真空设备厂研制的NCF-I型钠灯超高真空封接炉于1985年3月26日通过了技术鉴定。 该炉是专为适应我国灯泡行业大上钠灯的形势需要而设计的。是封接钠灯放电管的理想设备。也可用于钛、钽、锆等活泼、难熔金属的真空热处理。真空焊接及离子渗碳等工艺亦可应用此设备。 该炉技术先进,在国内首次采用DL-2型电离规管测量电阻炉的超高真空。经改装的 ZF—1型宽量程真空计可同时测量二台封接炉的真空度。一台控制柜可同时交替控制二台设备。它具有升温快、消耗功率小,封接合格率高等优点。该炉的测温系统采用了两套仪表同时监测,测量准确,并…     

自制高真空电离真空计电路校准仪

三极管式热阴极电离真空计是应用较广泛的真空测量仪器。它的原理、结构等特点决定了它的测量范围在10-4托～10-7托,在各电子管厂中被广泛地使用着。电离真空计的好坏及测量准确与否直接关系到电子管生产质量的优劣,为此,必须对电离真空计进行校准,包括对电离真空计的DL—2型规     

利用漏率间接测量密封件真空度方法的研究

本文提出利用漏率间接测量真空度的方法,解决密封件腔内真空度的测量问题.在此基础上开展相关实验,探究该方法在实际应用中的可行性以及相关适用条件等.实验以连接不同尺寸规格金属毛细管的模拟件为研究对象,利用动态流量法测量模拟件的漏率,进而间接获得模拟件的腔内真空度.实验结果表明,利用漏率间接测得的模拟件真空度与利用皮拉尼规原...     

适应复杂环境的真空计

采用全陶瓷规管进行电荷屏蔽,实现了对薄膜真空计的改进,以满足在含有大量带电离子及饱和水蒸汽等特殊真空环境中低真空度的快速准确测量。介绍了提高传感精度且降低温度及水蒸气对电容薄膜真空计影响的方法、器件选择以及单片机控制系统等,并给出了部分测试结果。本文设计的低真空度测量系统具有模块化、精度高、响应速度快等优点,为国内特殊真空环境下低真空度测量系统提供了设计参考。     

DZJ-1型真空继电器

DZJ-1型真空继电器是一种低真空测量和控制仪表。 这种真空继电器的特点是;规管为金属规管,体积小、外形美观、结构牢固;测量精度较高、控制精度高;控制点可根据用户需要在压强测量范围内任意设定;终端继电器触点电压高、电流大,控制中型真空设备不需另加中间继电器。 该仪表既可以作为低真空测量仪表,也可作为真空设备自动控制应用,可应用于真空设备自动控制的配套仪表。 一、主要技术性能 1.正常使用条件: (1)供电电压:交流220伏± 10%, 50赫; (2)预热时间:十分钟; 2.测量压强范围:1托到1×10-3托; 3.控制范围:在压强测量范围内,上限和…     

中日合作生产真空计

日本《工业新闻》1983年7月11日以《日中合作的新型真空计》为题,报道了自1983年9月起将在日本出售日中合作生产的真空计。日本真空技术株式会社(社长林主税)采用中国生产的DL-8型高压强电离规管(日本称为郭氏规),生产了一种IG-KUO型真空计。该规管由中国北京真空电子器件研究所提供。     

多功能真空校准装置

为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要,研制了多功能真空校准装置。该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准,同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。装置选用静态比对法、动态比对法、质谱比对法设计建成,真空校准范围为1.33×10~5Pa~1×10~(-4)Pa,真空漏孔校准范围为5×10~(-5)~5×10~(-9)Pa·m~3/s,装置智能化水平高,操作简便,适合真空规管的批量校准。