划片机空气静压电主轴径向轴承的设计

径向轴承是划片机空气静压电主轴的关键零件,径向轴承的结构及尺寸直接影响转轴的高速旋转精度及工作性能。采用表压比法对划片机空气静压电主轴径向轴承进行设计计算,确定径向轴承的结构参数。     

划片机空气静压电主轴材料选用及加工工艺研究

从划片机空气静压电主轴的结构出发,分析了主轴的技术要求,提出了主轴材料选用的基本原则,介绍了划片机主轴的常用材料,重点论述了划片机主轴的加工阶段划分、热处理安排和定位基准选择,给出了划片机主轴的加工工艺路线图,并在实践中进行了验证。     

划片机气静压电主轴热变形的有限元分析

分析划片机气静压电主轴的发热和热传递;建立气静压电主轴的热-应力有限元分析模型,用ANSYS软件计算主轴的温度场分布及主轴的热变形值。根据计算结果,提出减小主轴热变形及消除热变形造成的加工误差的措施。     

划片机气静压电主轴热态特性研究

从划片机气静压电主轴的工作机理出发,研究主轴电机的功率损耗发热、空气轴承的气膜剪切摩擦发热;根据分析结果提出减小主轴发热和加强散热的措施。     

空气静压电主轴过盈联接研究

空气静压电主轴将转轴与电机转子过盈联接,实现了主轴的零传动,转轴与电机转子间的过盈量是影响主轴性能的重要因素。根据力学理论对空气静压电主轴过盈联接进行了设计和校核,并利用有限元分析软件ANSYS动态模拟了转轴与电机转子压装过程的接触应力,证实了该联接的可靠性。     

空气静压电主轴的稳定性研究

空气静压电主轴是高速精密加工设备的关键部件之一，其工作稳定性直接影响整机的使用性能和寿命。从自激振动和转轴涡动两个方面，对空气静压电主轴稳定性的主要影响因素进行了分析研究;并结合空气静压电主轴在半导体封装设备晶圆减薄机和划切机上的应用，重点对气浮轴承内部气容比、节流塞形式、进气压力、径向轴承结构参数、径向轴承形状误差以及动平衡等方面提出了合理的优化建议和方法，这些建议和方法在实践中起到了良好作用。     

划片机气静压电主轴的冷却与热传递研究

应用传热学理论计算主轴电机冷却水、切割冷却水、主轴外表面及空气轴承排气时的热传递系数;然后提出恒定主轴传热系数的措施。     

全自动划片机的关键技术研究

根据微电子工业的发展现状,论述发展全自动划片机的必要性;从全自动划片机的工作机理出发,分析空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗等全自动划片机的关键技术;依据分析结果提出相应的解决措施。     

切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度的设计

径向承载力及刚度是影响切割机空气静压电主轴高转速下工作稳定性的重要因素,也是切割机空气静压电主轴重要的设计指标。本文采用工程计算方法,对切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度进行设计计算。     

切割机空气静压电主轴止推轴承的设计

止推轴承是切割机空气静压电主轴的关键零件,止推轴承的结构及尺寸直接影响主轴的工作性能和稳定性。采用表压比法对切割机空气静压电主轴止推轴承进行设计计算,确定止推轴承的结构参数。     

数控机床主轴系统衰变监测技术

主轴系统是数控机床的重要组成部分,为金属切削提供切削力矩和切削速度,其性能直接影响机床的加工精度和效率。文中对数控机床主轴系统主要部件进行故障机理分析,基于故障机理设计了一种监测方案,通过外置传感器采集主轴系统主要部件的运行信息,并采用小波分析技术分析其运行信息,从而达到对主轴系统实时监测的目的。实验结果表明,文中案可以有效地检测出主轴系统主要部件的故障情况。     

切割机主轴电机技术研究

在半导体封装技术领域,切割机是一种极其重要的封装设备,而电主轴则是切割机非常重要的一个执行部件,所以,对主轴电机技术的研究据有实际意义.介绍了主轴中电机的设计、加工技术.     

变风量空调系统风量平衡调试方法浅析

以实际工程为背景,分析了目前变风量空调系统末端风量平衡调试的基本原理及存在的问题。基于对现有变风量空调系统末端装置的风量平衡调试方法的不足提出了相应的解决的方法:动态风量平衡与静态风量平衡相结合。这种调试方法在实际工程的调节中得到良好的验证,可保证调试后的变风量空调系统运行满足房间舒适度以及较好地发挥变风量空调系统的节能作用。为建立适用于我国变风量空调系统风量平衡的标准调试方法提供了借鉴。     

切片机主轴系统的设计、装配与维修

简述了切片机主轴系统的设计和主轴在装配过程中应当注意的几个环节以及对主轴系统的保养和维护     

浅谈水力平衡带来的空调能耗及解决措施

在暖通空调系统的设计中,变流量系统有着定流量系统无法比拟的节能优势,所以日益受到人们的关注,并被广泛的接受和采用。简单使用静态平衡阀作为变流量系统的平衡措施,就会造成一系列的水力平衡问题,增大空调能耗。具体分析水力平衡带来的空调能耗问题,并介绍了丹佛斯阀门集团有限公司研制的动态压差平衡型电动调节阀门,能很好地解决采用静态平衡阀产生的水力平衡问题。     

国产Φ200mm划片机关键机构设计

原理性介绍200mm划片机研制中需要着重解决的若干难点问题。     

电子工艺设备的热设计

介绍了电子工艺设备热设计的基本要求、目的、传热的基本原则以及热量传递的基本方式。