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同步移相干涉的测量性能 总被引:4,自引:1,他引:4
详细分析了一种基于二维正交光栅衍射的同步移相干涉测量系统的组成结构,包括干涉系统、空间分光部件、偏振移相部件以及图像采集与处理系统。选择了二维正交透射光栅的四个衍射级次的光束作为测试光,理论和实验都证明这种方案具有良好的分光效果;用偏振方向依次改变45°的四片偏振片构成偏振阵列作为移相器件,并根据空间一致性要求,分割得到依次具有90°移相的四幅独立干涉图,获得了较高的移相精度;在幅频积低于100 Hzλ的振动环境中,系统测量重复性的峰谷值优于0.02λ,可以用于一般的在线检测和动态测量。 相似文献
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同步移相抗振光干涉测量技术研究进展 总被引:2,自引:0,他引:2
从移相单元分光以及相移形成角度对同步移相干涉光抗振技术的研究进展做了综述,分析了影响该技术的关键问题,对光干涉测试领域相关研究具有一定指导的推进作用。 相似文献
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高压变频调速技术作为通用节能技术加以重点推广,多重化技术是目前高压变频器的一项重要技术,多绕组移相整流变压器是实现该项技术的一个不可缺少的元件,通过移相可以消除整流、逆变、变频等一系列变流过程中所产生的谐波对电网的污染。 相似文献
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压电晶体(PZT)光学移相器作为移相干涉仪(PSI)的关键部件,其移相误差直接影响被测波面的相位复原精度。分析了压电晶体移相器在移相过程中导致干涉图旋转的原因——类进动,其本质是移相器在伸长的同时其参考镜端面法线方向绕着伸长方向产生旋转。利用典型的Hariharan五步移相算法。得出了类进动现象所导致的波面相位复原误差计算公式,给出了在测试孔径上的误差分布图。对影响误差大小的主要因素如干涉条纹的宽度、旋转的角度和测试口径等进行了具体分析,由此推导出在移相干涉仪光学调整过程中控制干涉图旋转误差的准则。 相似文献
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双波长激光干涉移相式测量长度技术研究 总被引:2,自引:0,他引:2
研究了应用移相干涉术测量新的一等量块的方法。对干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到表征其表面的离散波差值,并给出量块工作面长度和长度变动量的测量结果。 相似文献
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移相式激光干涉仪抗振技术的研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
现代移相式激光干涉仪在光学表面检测和光学系统像质评价中得到广泛的应用,但移相干涉术容易受到环境振动的干扰,时域移相的采样准确性受到影响,难以达到高精度测量的目标。为了进行振动环境下的在线测量,必须采用有效的抗振技术,目前具有这种抗振功能的干涉测试技术日益受到重视。从移相干涉图的采集、干涉仪的光学结构、振动的探测与补偿等角度介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展。 相似文献
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本文叙述总谐波失真和主观失真的关系,主观失真相应于实际听觉感觉,求得了一组人耳对各次谐波失真的阈值,然后设计了有专用计权网络的电子设备,可以按照这样曲线测量电声系统的失真。 相似文献
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电力系统在负载较重,供电距离较远的情况下,受电网参数的影响,远端供电品质会出现下降。文中针对这种现象提出了一种基于移相控制的电压补偿装置,在电网电压波动时使负载端电压保持恒定并具有良好的谐波滤除能力。 相似文献
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白光显微干涉术通过驱动干涉显微物镜垂直扫描移相,采集低相干干涉图序列,定位干涉包络中的零光程差位置,获取待测表面的三维形貌。微观形貌的计算由获取粗略形貌的垂直扫描(VSI)算法和获取精细形貌的移相(PSI)算法两部分组成。通常情况下,设置垂直扫描移相的步长为八分之一中心波长,但移相器误差和干涉显微物镜数值孔径效应等都会使得移相量偏离π/2。文中采用基于对比度变化重心提取的VSI算法,4M幅法和7幅法两种PSI算法,分别讨论了两种类型移相误差对形貌计算的影响。理论和数值分析结果表明,在宽带光作用下,7幅法仍对移相误差不敏感,4M幅法产生的精细相位误差形式恰好与干涉物镜数值孔径效应对条纹展宽的影响相一致,在从精细相位转换为精细形貌时相互抵消。因而,采用基于对比度变化重心提取的VSI算法和4M幅PSI算法计算形貌数据,干涉物镜数值孔径效应造成的移相误差无影响,移相器误差造成的形貌复原误差可以通过预先测量已知高度的标准台阶进行标定去除。应用上述移相误差校正方法测量了高度为460 nm的台阶,形貌测试结果正确且鲁棒。 相似文献
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介绍了一种与国外生产的高压变频器配套的移相变压器,通过与目前市场上通用的移相变压器的线圈方式进行对比,分析其内部绕组接线结构,构建变压器绕组的相量图,进一步分析其工作原理及制造技术的优缺点。 相似文献
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分析了倍频移相扫描法的工作原理,介绍了用倍频移相扫描法构成的电光采样测量系统.测量了高速GaAs动态分频器集成电路芯片,并给出分频关系波形的测量结果. 相似文献
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在微分干涉相衬显微镜的基础上,加入波片相移装置及图像采集处理,建立了移相式微分干淑相衬显微测量系统;分析并解决了表面微观形貌测量中存在的一些技术难题;准确地重构出了物体的微观三维形貌,实现了物体的表面高度及粗糙度Ra的高精度测量。结果表明:粗糙度重复测量精度为1.2nm;形貌高度分辨率为4.6nm。 相似文献
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为了检测长光程情况或多组分光学镜头逐片装校中的波面,提出一种以会聚光波直接作为干涉测试光源的会聚光移相剪切干涉方法,阐述了基于迈克耳孙干涉仪原理的会聚光横向剪切干涉光路,建立了会聚光横向剪切波面的数学表达式,并与一般横向剪切干涉相比较,分析了剪切量和波面偏移量的特征,且引入移相干涉技术求取剪切波面.结果表明,会聚光横向剪切移相干涉测试,能够实时测试会聚光的波面质量,峰谷值(PV)的重复性为0.022λ,均方根(RMS)值的重复性为0.014λ,并与Zygo干涉仪的测量结果进行了对比,验证会聚光剪切移相干涉的可行性. 相似文献
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数字移相技术的分析和实现 总被引:2,自引:0,他引:2
两个同频信号之间的移相,是电力行业继电保护领域中模拟、分析事故的一个重要手段,利用移相原理可以制作校验各种有关相位的仪器仪表、继电保护装置的信号源。因此,移相技术有着广泛的实用价值。本文介绍两种基于单片机的数字移相方法,借以说明实现移相的原理,并对中两种移相方法进行性能分析和比较。 相似文献