微流路生物芯片的研制

运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽70 μm、深30 μm、长7 cm的沟槽,与另一载玻片键合,形成一微流路沟道,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片.在该芯片的研制中,克服了湿法腐蚀、断线、键合等技术难题.该芯片已经交付合作单位使用,能够满足应用中的基本性能要求.     

微流路生物芯片的研制

运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽 70 μm、深 30 μm、长 7cm的沟槽 ,与另一载玻片键合 ,形成一微流路沟道 ,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片。在该芯片的研制中 ,克服了湿法腐蚀、断线、键合等技术难题。该芯片已经交付合作单位使用 ,能够满足应用中的基本性能要求     

基于线阵电极电泳芯片的微全分析系统

介绍了用于生化分析的一种新型微分析系统，并根据模拟计算和现有实验参数给出了设计方案，包括电泳芯片的设计、工艺制作、微机控制系统以及初步实验结果。新型的基于线性阵列电极的微型电泳芯片将会大大降低电泳电压，减小实验中的热效应，能够灵活设定分离时间、长度、电压等电泳的各项条件，可满足多种分离需求。新型材料PDMS使芯片制备更简单，实验成功率更高。     

生物芯片和生化微分析系统的应用

生物芯片技术是1990年代中期以来影响深远的重大科技进展之一。国家科技部经1993年发布的医药生物技术“十五”规划中,列举的15个技术关键项目中有8项涉及生物芯片技术,生物芯片在生命科学、医学、药业、农业,环境等领域中具有极大的应用前景。     

一种集成PCR与CE的生物芯片的设计研究

阐述了一种集成PCR反应室与CE管道的生物芯片的研究和设计工作,实现了样品扩增、电泳分离和紫外光检测3个生物分析检测过程的单片集成。为这种DNA生物芯片设计了PCR反应池及其加热控制系统、毛细管电泳管道和配备即时测温功能的辅助电路系统(PCB板),并且完成了芯片的版图设计以及工艺方案及具体工艺参数设计。整个系统可以基本实现一个小型DNA检测实验室的功能。     

生物芯片

生物芯片是近10年在生命科学领域中迅速发展起来的一项高新技术。它主要是指通过微加工和微电子技术在固体芯片表面构建微型生物化学分析系统，以实现对生命机体的生物组分进行准确、快速、大信息量的检测。目前常见的生物芯片分为三大类：即基因芯片、蛋白芯片和芯片实验室等。生物芯片主要特点是高通量、微型化和自动化，检测效率是传统检测手段的成百上千倍。     

数字微流控生物芯片微液滴优化调度

数字微流控生物芯片出现,使得单片并行多样品、多试剂、多生物检测量的大规模生物检测系统成为现实,需要在有限的芯片资源中优化调度各样品和试剂以减少检测时间.由于优化调度是一个NP完全问题,本文提出了以多样品检测完成时间为适应度函数,以样品和试剂混合操作类型集合为染色体,并将该染色体分别赋以一整数值代表混合操作优先级高低,同时,将染色体基因分为可同时进行混合操作而资源不冲突基因和有限任意项基因两部份,并对有限任意项基因进行移位、交叉等遗传操作,达到优化调度接近最优解.所提出算法编码基因数从(4Sm*Rn)!降低到Sm*Rn,极大改善了算法效率和并行检测所需时间.     

基于线阵电极电泳芯片的微全分析系统

介绍了用于生化分析的一种新型微分析系统,并根据模拟计算和现有实验参数给出了设计方案,包括电泳芯片的设计、工艺制作、微机控制系统以及初步实验结果.新型的基于线性阵列电极的微型电泳芯片将会大大降低电泳电压,减小实验中的热效应,能够灵活设定分离时间、长度、电压等电泳的各项条件,可满足多种分离需求.新型材料PDMS使芯片制备更简单,实验成功率更高.     

基于线阵电极电泳芯片的微全分析系统

介绍了用于生化分析的一种新型微分析系统 ,并根据模拟计算和现有实验参数给出了设计方案 ,包括电泳芯片的设计、工艺制作、微机控制系统以及初步实验结果。新型的基于线性阵列电极的微型电泳芯片将会大大降低电泳电压 ,减小实验中的热效应 ,能够灵活设定分离时间、长度、电压等电泳的各项条件 ,可满足多种分离需求。新型材料PDMS使芯片制备更简单 ,实验成功率更高     

探空集成传感器设计

微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量，降低成本，提高系统的可靠性，具有重要的科学意义。本文设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测微型集成传感器。考虑到MEMS加工工艺兼容性，分别采用空气导热检测法、铂电阻法和电容法对湿度、温度、压力进行检测，并且进行了理论计算，设计了加工工艺步骤，制作出雏形器件。     

STUDY OF CAPILLARY ELECTROPHORESIS ON MICROCHIP BASED ON MEMS

Using a standard photolithographical procedure,chenmical wet etching and thermal diffusion bonding technology,a chemical analysis device for Capillary Electrophoresis(CE) has been microfabricated on a planar glass substrate with a cross-column geometry.The channels on the microchip substrate are about 50um deep and 150um wide.By employing amino acids derived from 2,4-DiNitroFluoroBenzen(DNFB) on CE chip channels,the sample manipulating system is studied based on the principle of electrodynamics.     

利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究

SU 8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用 ,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一。SU 8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作 ,另一方面SU 8结构具有很好的侧面垂直结构 ,通过控制工艺参数 ,能够获得满意的SU 8胶结构。SU 8光刻胶已应用于LIGA技术的标准化掩模制造工艺和一些器件的研究工作。在SU8胶研究过程中 ,克服了许多技术难题 ,使得这一技术能够应用到实际的需要中。     

探空集成传感器设计

微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量 ,降低成本 ,提高系统的可靠性 ,具有重要的科学意义。本文设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测微型集成传感器。考虑到MEMS加工工艺兼容性 ,分别采用空气导热检测法、铂电阻法和电容法对湿度、温度、压力进行检测 ,并且进行了理论计算 ,设计了加工工艺步骤 ,制作出雏形器件     

生物芯片技术的发展与应用

美国《财富》杂志在９７年载文指出,在２０世纪科技史上有两件事值得大书特书,一是微电子芯片,它是计算机和许多家电的心脏,改变了我们的经济和文化生活;另一件事就是生物芯片,它将改变生命科学的研究方式,革新医学诊断和治疗,极大地提高人口的素质和健康水平。生物芯片即应用于生命科学和医学领域中用来进行高通量分析检测的器件。其加工制作采用了像集成电路制作过程中半导体光刻那样的微加工技术,生物芯片将生命科学中许多不连续的过程,如样品制备、化学反应和检测步骤移植到芯片中并使其连续化和微型化,这与当年将数间房屋大…     

PWM数字微型加速度计摆片温度应力研究

针对微加速度计摆片废品率高的问题,从摆片的加工工艺,分析了PWM数字微加速度计温度应力对摆片刚度的影响;发现当摆片工作在不同状态,在某些加工温差段,摆片的刚度出现奇异值,摆片变形已不再满足小变形条件,导致摆片无法正常工作。本文亦提出了改善措施。     

MEMS CAD系统IMEE的研究和开发

IMEE是一个自主研发的MEMSCAD系统 ,它包括节结点化的系统设计功能、工艺编辑、设计和三维模拟功能、参数化版图单元的版图设计功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线 ,贯穿整个设计过程 ,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题 ,实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外 ,该系统是跨平台的 ,即适用于UNIX也适用于WINDOWS操作系统 ,对其他MEMSCAD软件具有很好的兼容性 ,还支持用户自主扩展其他功能模块。     

微型传感器在汽车中的应用

本文简要分析了目前微型传感器在汽车中的应用情况,并对下一步的发展趋势进行了预测.