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《压电与声光》1988,(3)
一、声表面波技术 108 沿两种材料间的ZnO层传播的界面声波——入野俊夫:《电子情报通信学会论文誌(日文),1987:J70-C(1)59—68 研究了在SiOz/ZnO/SiO_2、SiO_2/ZnO/硼硅酸玻璃和SiO_2/ZnO/(z-x)Si等一些三层结构中的ZnO薄膜上传播的SAW与ZnO膜厚的关系。亦分析了不同器件结构中的机电耦合系数,测得了延迟线的临界温度,根据实验结果可选择适于制作SAW器件的ZnO基片。 109 采用ZnO/ AlN/玻璃基片的高耦合高速度SAW—Shiosaki T.:1985 Ultrason Symp.Proc.,186—191 报道了与三层结构SAW器件中的SAW传播有关的各种特性。在Kovar玻璃基片上制作了AlN压 相似文献
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声表面波技术与电子战 总被引:1,自引:1,他引:0
本文介绍SAW器件在电子战(EW)系统中的应用。以声表面波滤波器组为核心的信道化接收机可以实现宽频的信道化接收和100%的截获概率(POI),可广泛应用于电子侦察(ELINT);以声表面波Chirp器件为核心的压缩接收机可有数百兆赫的带宽和2MHz—25kHz的频率分辨率,可以用于电子侦察和通信侦察,采用合适的结构亦可获得100%的POI。文章叙述了各种声表面波器件及声表面波声光(AO)器件在ESM、ECM、ECCM中的其它应用。文中还简单介绍了我所为EW研制的SAW器件。 相似文献
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声表面波(SAW)器件是利用压电材料将电信号转换成表面波在固体表面传播,在输出端将表面波再转换成电信号从而进行信号处理的器件。由于 SAW 信号处理系统的速度比最快的数字处理系统还要快两个数量级,并且具有非常大的信息容量,所以在信号处理和通信系统中占有十分重要的地位。本文就 SAW 器件中常见的 SAW 滤波器的原理、结构和主要特点,以及 SAW 滤波器的选用和使用注意事项及其应用状况与发展趋势作出了概述。 相似文献
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声表面波(SAW)器件是利用压电材料将电信号转换成表面波在固体表面传播,在输出端将表面波再转换成电信号从而进行信号处理的器件。由于SAW信号处理系统的速度比最快的数字处理系统还要快两个数量级,并且具有非常大的信息容量,所以在信号处理和通信系统中占有十分重要的地位。本文就SAW器件中常见的SAW滤波器的原理、结构和主要特点,以及SAW滤波器的选用和使用注意事项及其应用状况与发展趋势作出了概述。 相似文献
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制作传统声表面波(SAW)器件晶圆芯片表面的材料是Al,Al在空气中被氧化,极易生成致密的氧化铝(Al_2O_3)薄膜,由于Al_2O_3薄膜和Al及基底压电材料的刻蚀速率存在差异,会导致SAW的离子束调频过程复杂。该文介绍了一种用于SAW的离子束调频方法,采用该方法对制作的SAW器件进行离子束调频后,实现了目标频率的调高和调低,并进一步提高了频率集中度,从而解决了低频窄带SAW器件及2 GHz以上SAW高频器件频率精度难以提高的工艺难题。 相似文献
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