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随着太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,大尺寸超薄硅片多线切割技术的发展趋势将日益明显。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和高效率的要求。本文对硅片切割方法、游离磨料多线切割基本原理、线切割硅片材料去除机理以及切割工艺因素进行了综述。 相似文献
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游离磨料多线切割是目前加工太阳能硅片的主要方法。然而,该方法切痕较深,损伤层较厚,进一步增大硅片尺寸、减小硅片厚度难度很大。游离磨料电解磨削多线切割,复合了机械磨削和电化学加工方法,通过在加工过程中给硅锭和切割线施加电场产生阳极钝化或腐蚀,可以有效降低切割负载,提高切割效率,改善硅片的表面质量。以156 mm×56 mm(8寸)、电阻率(1~3?·cm)P型多晶硅片切割为例,初步试验结果表明,采用相同的切割参数和原材料,相对于游离磨料多线切割,电解磨削多线切割硅片的弯曲度降低了3μm,分布区间集中在0~9μm之间;采用20%的Na OH溶液腐蚀硅片,表面的隐裂和深沟槽较少出现,说明硅片的表面损伤程度减轻,有利于减少后续制绒减薄量。该方法和现有游离或固结磨料多线切割技术兼容性好,设备改造成本低,工程应用前景十分广阔。 相似文献
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首先从多线切割技术的相关概念出发,对其工作结构做出了分析,在给出多线切割工作示意图的基础上,指出切割线张力是需要重点控制的质量影响因素,而后进一步分析了切割线张力的形成以及切割线包绕辊张力计算模型,最后对目前工作中有效的张力控制方法做了简要阐述。 相似文献
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多线切割机走线系统的张力控制 总被引:2,自引:0,他引:2
随着集成电路和光伏产业的飞速发展,硅材料加工技术越来越受到重视,其中切割是硅材料加工的一道关键工序.介绍多线切割机走线系统的总体结构,说明它的工作原理,建立放线系统张力控制结构的运动学方程,分析产生张力波动的原因,提出相应的解决方法.设计张力控制系统的硬件平台,通过多电动机同步控制进行间接张力控制,提出一种基于相邻轴误差的多电动机同步控制方法,定义多电动机系统的跟踪误差和同步误差,引入相邻轴误差的概念,构造积分滑模面,设计控制转矩,保证多电动机的同步运动,减小张力的波动,保证钢丝线的张力稳定.试验结果表明所提出的张力控制方法十分有效,该张力控制系统具有张力波动范围小、控制精度高、调整方便的优点. 相似文献
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多线切割技术是针对硬脆材料难以加工所提出的一种新型切片技术,在成本控制的前提下,弥补了电火花切割在导电性差的硬脆材料加工方面的不足。设计了一种新型的线切割设备,研究了收放线轮速度同步控制、张力控制和布线控制,从机械结构优化方面进行了控制系统的开发。针对张力电机控制的复杂性,设计了基于空气弹簧的张力控制装置。通过Modbus总线协议开发了基于Lab VIEW的人机交互系统。金刚砂线切割设备产品测试结果表明设备结构设计合理,控制方案可靠性、稳定性好,满足控制系统的精度要求。 相似文献
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切割机械手由于工作环境恶劣,其接近距离难以可靠控制。本文提出用电容传感原理,通过电机驱动机构、达到接近距离准确、稳定控制的目的、这种方法已在切割机械手上成功应用。 相似文献
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简述拉矫机的工艺设备组成,从拉弯矫直变形过程入手,系统分析拉矫机的工作原理,讨论了拉矫机破鳞原理和改善板型原理,阐述了拉矫机的三个控制单元:延伸率、插入量和张力。带钢的延伸率不仅与弯曲辊的插入量相关,而且也受到张力的影响。如果要取得理想的破鳞效果和板型改善,需要对插入量和张力进行综合的控制。因此拉矫机的控制系统能够根据不同的材料或者不同尺寸而自动调整控制参量。在介绍拉矫机控制原理的基础上,亦简要的介绍了拉矫机的自动控制系统以及模式的选择。 相似文献
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