蓝宝石衬底研磨加工中研磨盘材质的影响

采用W14、W3.5的B4C磨粒对蓝宝石衬底进行粗研磨和精密研磨的试验研究.对比分析铸铁、合成铜和合成锡盘粗研磨蓝宝石衬底的表面粗糙度和研磨表面均匀性,试验结果表明,铸铁研磨盘获得的蓝宝石衬底宏观表面均匀性和平面度均优于合成铜盘和合成锡盘,经铸铁研磨盘加工后的蓝宝石衬底面型峰谷值误差小于5 μm、中心线平均表面粗糙度Ra<0.82 μm.精密研磨试验结果表明,采用合成铜盘和W3.5B4C磨粒有效地改善了蓝宝石衬底表面的均匀性,获得了Ra<20 nm、面型峰谷值误差小于1.6 μm的均匀表面,为蓝宝石的超精密研磨奠定了良好的基础.     

基于双面研磨轨迹优化的LED用SiC衬底加工

本文研究了基于双面研磨轨迹优化的LED用SiC衬底加工方法。为了实现对碳化硅衬底的高效低损伤研磨加工,对碳化硅衬底的行星机构双面研磨轨迹进行了优化。通过选择适当的加工参数,使工件处于摆线中间的环带部分,将有助于对工件进行均匀研磨并提高材料去除率。实验表明:采用320号碳化硼磨料双面研磨碳化硅衬底90min后,可以获得Ra为0.579μm;材料去除率达到1.53μm/min。     

蜂窝状结构半固结磨料研磨盘的制备及应用

针对传统半固结研磨盘由于盘面较软使得加工衬底面形精度难以保证的问题,提出一种蜂窝状结构的半固结磨料研磨盘的设计与制备方法。该研磨盘采用环氧树脂蜂窝结构作为支撑“骨架”,减小研磨盘的变形,以保证研磨衬底的面形精度,同时采用含有金刚石磨粒的凝胶体作为半固结研磨介质实现对衬底的研磨加工,获得了较好的衬底表面质量。基于该原理制备了一套新型研磨盘,并用于蓝宝石衬底的双面研磨加工。试验结果表明,研磨后衬底表面粗糙度较小,表面划痕和裂纹少,能够获得较好的表面质量;相应地,研磨后蓝宝石衬底的面形精度不仅没有变差,反而得到很大的改善,研磨后衬底的翘曲度、弯曲度和总厚度偏差均大幅减小。另外,研磨效率也相对较高,材料去除率可达0.3～0.4 μm/min。试验结果证明了该新型结构研磨盘不仅可以获得较好的表面质量和较高的研磨效率,同时还可提高衬底的面形精度,可用于面形精度要求较高的薄片衬底零件的精密研磨加工。     

预置曲率研磨盘提高行星研磨技术去除函数稳定性

行星研磨技术由于提升磨削接触点相对速度,能够有效提高材料去除效率。但由于传统研磨盘不均匀磨损,导致研磨盘形状持续改变,从而影响了研磨过程中去除函数的稳定性和准确性,限制了该技术的应用。本文针对基于小磨头行星运动方式,通过建立构建磨损函数,预置研磨盘曲率半径,使研磨盘满足在加工单周期后各点去除量相等,从而提升去除函数稳定性。通过实验验证,研磨去除函数与模型仿真计算结果一致,验证了模型的准确性,利用优化后的研磨盘可获得高效稳定的去除函数。采用直径40 mm SiC研磨盘研磨SiC工件,实验结果表明:对比加工前后研磨盘磨损情况,面形变化小于1%,符合均匀去除要求;对比多组不同研磨阶段去除函数,体积去除率误差小于2.3%,满足光学研磨去除函数稳定性要求;在公转100 r·min~(-1),自转-100 r·min~(-1)条件下,体积去除率达到6.879 mm~3·min~(-1),比同样参数下的平转动研磨提高了40.9%的去除量。证明了行星研磨技术能够通过参数设计获得高稳定性的高效去除函数,为行星运动研磨技术应用于SiC镜片高效加工提了供可靠的理论指导。     

衬底基片精密加工过程中宏观质量控制

衬底基片的宏观质量包括外形完整性、翘曲度、尺寸精度等.在分析衬底基片精密加工工艺基础上,得出影响宏观质量的因素有:晶片切片方式、粘盘的方法、研磨抛光崩边、表层应力、抛光液的成份.提出采用线切割、真空粘盘,提高坯料的平整度.采用预加工保护倒角、嵌入式行星保持架,防止抛光崩边.根据不同的衬底基片选择合适的抛光垫,配置专用化学机械抛光液,使得衬底基片化学反应速度与机械去除速度协调.从而有效控制衬底基片的宏观质量.实现了衬底基片表面完整、翘曲度小于5微米、厚度误差小于3微米.     

LED用蓝宝石衬底抛光技术进展

蓝宝石单晶衬底具有优秀的物理化学性质,作为LED的主要衬底材料,其晶片表面质量要求非常高,而加工工艺在很大程度上决定了表面质量。对蓝宝石衬底加工的各种工艺原理作简要介绍,如化学机械抛光、磁流变抛光、浮法抛光等,指出这些加工方法的优缺点、发展进程等。目前蓝宝石衬底的抛光质量已经达到:表面粗糙度0.1nm,平面度0.5μm。随着生产工艺的不断进步,数字化、全自动、绿色无污染的抛光工艺是未来蓝宝石衬底加工的发展方向。     

圆度小于0.05μ的主轴加工工艺

本文介绍的主轴具有高硬度和高光洁度,轴各部分的同轴度小于0.5μ,φ60两轴颈处的物理和机械性能稳定、耐磨性能好,摩擦系数小等优点。叙述了主轴的加工工艺流程、精密研磨加工、轴颈圆度的测量等。     

精密零件的大批量研磨工艺

本文介绍用平行砂轮在德国产SLP602S型双盘研磨机上对大批量生产的铁基粉末冶金精密零件进行研磨加工的工艺，并提出了合理的砂轮粒度和硬度、研磨压力、研磨速度及研磨油的技术性能指标，同时给出了适宜于该种研磨加工的砂轮平面度自校正方法。     

磁力研磨调质45钢的工艺参数和表面形貌研究

开展磁力研磨加工方法对调质45钢的加工能力以及最优工艺参数的研究。实验采用SiC磨料和铸钢粉的混合物作为磁性磨料,钕铁硼永磁铁做磁极,利用正交试验方法从研磨液类型、磨料粒度、磨料比重、加工间隙和磁场强度5个因素分别4个水平进行实验设计,通过比较加工前后工件被加工区域表面粗糙度改善率(%ΔRa)进行磁力研磨工艺参数的优化。实验结果表明,磁力研磨加工调质45钢的优化后工艺参数为:油酸研磨液、360# SiC磨料、磨料比重30%、加工间隙1 mm、0.359~0.133T(?30 mm×20 mm永磁铁);经磁力研磨光整加工后,工件表面粗糙度由初始的1.941μm降至1.053μm;磁力研磨加工后工件表面的加工纹理得到有效降低。     

加速发展我国的精密和超精密加工技术

精密和超精密加工技术是机械制造最主要的发展方向之一。本文介绍了精密和超精密加工技术的最新发展情况,如金刚石超精密切削、精密磨削和研磨、精密和超精密机床、精密加工中的检测和误差补偿、精加工的环境条件等。最后提出对我国发展精密和超精密加工技术的一些意见。     

内置全启式弹簧安全阀弹簧防失效装置的设计

分析了安全阀在液化气体罐车等移动式压力容器上的工况条件与设备要求。论述了内置全启式弹簧安全阀的弹簧防失效装置的结构特点和使用效果。     

无人驾驶直升机旋翼操纵机构的设计

介绍了某型无人驾驶直升机主旋翼操纵机构的设计思想、主要特点及其主要部件的设计方法.经某型无人驾驶直升机装机使用近两年,证明操纵机构设计合理,完全满足使用要求.     

面对制造和面对装配的设计

介绍了基于降低成本和提高生产率的设计——面对制造的设计 (DFM)和面对装配的设计 (DFA) ,并提出了实施 DFM和 DFA技术的策略     

船用防爆电磁阀设计

根据电磁阀的应用场合及技术要求进行分析,对防爆型式、电磁铁、密封副进行优化设计,使该电磁阀在工作时具有低表面温度,并具有信号反馈功能,组装后进行了各项型式试验及性能试验。     

人的教育与人的课程——张楚廷课程理论特色及成因

张楚廷教授立足于＂人本主义哲学＂或＂人哲学＂思考教育与课程,提出了人的教育、人的课程、五I课程构想、结构改造主义课程观、人文引领的和谐课程走势等基本概念或命题。为防止人的异化、使人更像人、让人更高大,张教授主张加强人文课程、警惕和改造社会课程、科学课程。张楚廷课程理论具有内涵理解的深刻性、表现形式的多样性、内容特质的人本性、语言风格的诗话性、自我实践的广泛性、使用价值的普适性等鲜明特色。深沉的民族情怀、深切的教育情感、深厚的哲学情结、深长的生命情致是张楚廷能创立特色鲜明课程理论的主要成因。     

热控(自动控制)设备开展状态检修的可行性

介绍了火电厂热控(热工过程自动控制)设备检修面临的问题和挑战,自动控制设备的特点,开展状态检修的意义、条件和方法.     

简化达到优化、协调为了统一——从地方标准的制定看它们相互关联、相互渗透、相互依存的关系

简化、统一、协调、优化四原则是标准化长期活动的总结,在企业标准化活动中起着重要的指导作用。本文通过一项地方标准的制定和实施过程,阐述了四个基本原则都不是孤立存在和起作用,它们之间不仅密切关联,而且在企业标准化实践中相互渗透、相互依存,结合成一个有机整体。     

中央空调、分户计量热能表设计方案探讨

简述中央空调、分户计量能源消耗的数学模型及计量器具关键器件的选取方法，说明涉及民生的计量器具必须符合国家以及国际上的相关计量法律法规。     

秦山拉伸机的原理及加工要点

反应堆压力容器顶盖和筒体之间的结合面必须严格密封,螺栓拉伸机将螺栓拉长,同时拧好螺母,产生所需预紧力.     

对给定任务的机构参数优化

针对给定任务的机构参数优化问题,提出了一种由两款软件协同的联合仿真设计方法。首先,利用MATLAB/SimMechanics工具箱建立了平面四杆机构的机械系统模型;其次,借助于Isight-FD建立该优化问题的目标函数;最后,通过联合仿真分析得到了满足任务要求的一组最优参数。仿真结果表明,优化后的仿真曲线能够很好地逼近于给定的任务轨迹,保证了工作路径的拟合精度。该种联合仿真设计方法结合了不同种软件自身的优势,具有便捷、高效和直观的特点,对于其他不同样式的机构和结构参数优化具有指导和借鉴意义。