HSPC系列电容型绝对压力传感器

阿尔卑斯电气株式会社已经完成用于检测绝对压力的电容型压力传感器（HSPC系列）的开发工作，这种传感器可用于检测例如轮胎压力、气压和血压等。     

YZ-1型硅压阻型集成压力传感器

YZ-1型硅压阻型集成压力传感器可用于近程或远程流体压力的测定、显示，进而达到自控的目的．该产品的测压量程为0～1MPa．适用温度范围为．10～50℃或-20～40℃，以（100）硅片为基础村料．背面经各向异性腐蚀后产生方形杯，杯底构成弹性膜。YZ-1型硅压阻型集成压力传感器采用方形膜及有限力学优化设计．力敏电阻布置合理．充分利用应力效应，     

节能型蒸汽计量技术分析

鉴于常用孔板测量蒸汽流量时会造成较大的压力损失,提出采用Verabar型流量传感器取代孔板,可取得明显的节能效果。     

传感器件（37篇）

应用有机高分子的电阻式湿度传感器；红外线传感器；半导体压力传感器；电容式压力传感器；分布型光纤温度传感器     

基于电荷输出型压电传感器的冲击波超压存储测试系统

针对集成电路压电（ICP）型传感器抗振动和抗热冲击性能不足的问题,实验对比了高阻电荷型与 ICP 型压电传感器的抗振动以及抗热冲击干扰性能,发现电荷输出型相比于 ICP 型压电传感器对复杂测试环境有较好的抑制作用。采用电荷输出型压电传感器设计了存储测试装置及其抗振动、防潮的保护外壳。实验表明：设计的存储测试装置能可靠触发,可实现冲击波压力信号的采集、显示和回读。     

激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器

分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响,利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴在中空玻璃毛细管一端,最后插入单模光纤并封装成非本征(EFPI)光纤法—珀干涉型压力传感器。进行了静态气压测试实验,结果表明:在40～240kPa气压范围内,传感器压力灵敏度为11.9 nm/kPa,线性度为1.51%。     

安徽电子所研制成功KYX—G_1型压力传感器

安徽电子所经过一年半的时间研制成功KYX—G_1型压力传感器。这种传感器是采用先进的集成电路工艺,在硅园片上形成惠斯登电桥,当硅园片受压变形时,阻值发生变化,产生与之相应的电压或电流输出,实现力电转换,可用于气体、液体的压力测量及控制。它的研制成功,对于加速工业自动化,提高经济效益,将起到促进作用。     

基于CNTs/PDMS介电层的柔性压力传感特性研究

提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法.采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS软光刻工艺在PDMS柔性基底上制备了具有"V"型阵列微结构的Ag薄膜平行板电极,基于碳纳米管(CNTs)/PDMS聚合物的压电容特性,制备出电容式柔性压力传感器.针对不同尺寸的压力传感器进行对比测试,本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到3.98% kPa-1,具有良好的重复性,在智能穿戴和电子皮肤等方面有着广阔的应用前景.     

国外展望

工作温度达400℃的压力传感器塑料工业用的压力传感器,在质量和可靠性方面的要求越来越高。为满足这一需要,西德 MEKO—技术有限公司推出压力范围为100～1400巴的 SP821型压力传感器和膜片与测量系统之间装有可弯曲的铠装细管的 SP820型传感器。SPT822型除测量压力外,同时还可以通过拉出来的热电偶测量温度。所有型号的精度均为1%,最大量程700巴的传感器的超载能力是100%,量程1400巴的     

基于强度解调的Fabry－Perot型光纤MEMS压力传感器

运用微机械系统加工技术制作了一种新型法布里-珀罗干涉型光纤微机电系统压力传感器,该传感器通过测量反射光谱的移动测量压力.运用多腔干涉原理对该传感器进行理论以及模拟分析得出,通过改变压力传感器的尺寸可较容易的调节压力线性测量范围和灵敏度.实验结果表明,在压力线性测量范围[0.1～1.0]MBa内,灵敏度可达到12.71 nm/MPa(光谱移动/压力).     

干涉光非接触式读出压力传感器

本文介绍一种新型压力传感器,它有别于压阻型和电容型压力传感器,利用固定玻璃板和对压力敏感的硅弹性之间的Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ腔所产生的光线干涉原理制成。这种传感器可避免封装应力及热漂移对信号的影响,因而可在５００～１０００℃的高温下使用。     

文摘

本文叙述了一组小型压力传感器。这种小型压力传感器使用二氧化硅为衬底的硅应变片。硅应变片使用高掺杂,所以传感器的性能优良,工作温度为300℃。该传感器的性能可与相同尺寸的扩散型传感器相比。在封装过程中,用聚四氟乙烯导线和有机树脂可保证温度极限达300℃。     

MOS型固态图象传感器

1 固态图象传感器固态图象传感器按其结构可分为两大类:MOS型和CCD型图象传感器.前者由金属氧化物半导体器件构成,后者由电荷耦合器件构成.MOS型图象传感器质量很高,可用单极低压电源驱动.外围电路不复杂是其突出的优点.CCD型图象传感器噪声低,在很暗的环境条件下性能仍旧良好.当前市面上较好的摄象机包含了MOS和CCD两种图象传感器,因而具备良好的整机性能.     

BP01型压力传感器及其在便携式电子血压计中的应用

本文介绍了ＢＰ０１型压力传感器的主要性能参数及其在便携式电子血压计中的列,通过实例给出了应用电路的设计方法。     

LPS33W防水型MEMS压力传感器

LPS33W是一款具有化学兼容性、稳定性的高精度防水型MEMS压力传感器,适用于可穿戴健身追踪器、真空吸尘器和通用工业传感器。LPS33W在圆柱形金属封装(3.3mm直径X2.9mm)内涂覆一层粘性灌封胶,IPx8级防水,可耐受盐水、氯、漠、洗涤剂(洗手液、洗发水等)、电f液体和轻工化学品(正戊烷)。封装盖具有高耐腐蚀性,圆柱形外观在需要密封外壳的应用中易于与O形圈配合使用。     

业界动态

美国国家半导体2002年温度传感器设计大赛在京颁奖 华中科技大学在微位移光纤传感器领域的研究 三分钟测出胆固醇 可拉伸超薄传感器 新型Smart 温度敏感材料问世 美国西北大学的一个研究小组 单晶硅SOI高温压力传感器的研究 “嗅觉”灵敏的小型气体传感器 SiO2基薄膜气体传感器研究新进展 正电子发射层析成像技术的新用途 新型GY远传水表 QBL-650型标准表法气体流量标准装置 D7E型纯机械振动传感器溅射型应变式合金薄膜压力传感器 业界动态     

采用固态传感器技术的硅谐振变送器

在过程控制领域里，在各类控制系统配套的检测仪表中，流量、压力、液位的检测，主要是采用差压、压力变送器（目前虽然各种流量仪表在发展，但孔板等节流装置加差压变送器的检测仪表在实际应用中仍占三分之一以上人随着技术的进步，差压。压力变送器也在不断更新换代，其工作原理也由位移式、力平衡式、扩散硅电阻应变式、电容式而发展成现在采用固态传感器技术和微细加工技术的各种固态化的智能式变送器。本文将结合日本横河公司的硅谐振式的EJA系列变送器进行阐述。固态传感器技术又称物性型传感器技术，它与原来的结构型传感器技术有…     

基于F-P原理的非本征型光纤爆炸动压传感器设计

设计了一种非本征型光纤法布里-珀罗(F-P)爆炸压力传感器,传感器采用膜片式结构,采用三波长法对F-P信号进行解调.压力加载试验表明,研制的F-P压力传感器线性度较好,具有较高的频响特性,在实际的爆炸测试中不受电磁干扰影响,可用于爆炸动压测量.     

硅—兰宝石固态压力传感器通过鉴定

<正> 中科院上海冶金所与黑龙江省电子技术研究所共同研制的CLGY—Ⅰ型硅—兰宝石固态压力传感器,已于1985年10月在哈尔滨通过省级鉴定。该传感器以高介电强度的兰宝石隔离代替了传统的p-n结隔     

汽车用氧传感器de研究与进展

汽车尾气中的有害物主要有CO、HC、NOx、SOx以及一些微粒物质,给人类赖以生存的大气环境带来了严重的危害.用氧传感器对汽车发动机的空燃比进行调节,控制发动机中的燃烧过程,可以达到减少污染和节约能源的双重目的.目前适用于汽车空燃比控制的传感器主要有三种:氧化物半导体型(TiO2传感器)、浓差电池型(ZrO2氧传感器)、极限电流型.本文在介绍了这三种汽车用氧传感器的原理、结构的基础上,重点介绍了一种新型极限电流型氧传感器一致密扩散障碍层极限电流型氧传感器,并简要分析了其发展趋势.